เครื่องเคลือบผิวแบบ Magnetron สปัตเตอร์ ทดลอง / เครื่องเคลือบผิวขนาดเล็กแบบพกพาในแนวตั้ง
Royal Technology ได้ออกแบบและจัดหาระบบเคลือบสูญญากาศ Ultra-High-Vacuum สำหรับการเรียนการสอนและการวิจัยทางวิทยาศาสตร์และการพัฒนาเพื่อการศึกษาการเติบโตของฟิล์มที่แตกต่างกันสร้างฟิล์มบางนาโนที่มีนวัตกรรมมากขึ้นในอุตสาหกรรมการค้าของเรา ลูกค้าของเราต้องการ: Shanghai University of China, Machanster University of UK, Beijing Scientific University ฯลฯ
หน่วยการเคลือบสูญญากาศที่ใช้การทดลองการระเหยด้วยเรซิน: ด้วยการระเหยความร้อนด้วยความร้อนและเทคนิคการระเหยของอิเล็กตรอน -Beam Gun เพื่อสร้างฟิล์มที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าฟิล์มบาง ๆ ของตัวนำกึ่งฟิล์มออปติคอลและกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEM) อุปกรณ์เสริมเช่น: แหล่งไอออนหรือห้องโถงไอออนสำหรับการทำความสะอาดพลาสม่าก่อนการบำบัด, การสะสมพลาสมาช่วยให้สามารถสร้างภาพยนตร์ที่มีคุณภาพสูงฟิล์มคอมโพสิตฟิล์มอินทรีย์ ฯลฯ ตอบสนองการใช้งาน R & D ได้อย่างเต็มที่ ได้รับการต้อนรับจากนักวิจัย
Experimetal Magnetron สปัตเตอร์ หน่วยการเคลือบสูญญากาศ: DC, MF, RF สปัตเตอร์ cathodes สำหรับวัตถุประสงค์ในการวิจัยและพัฒนาจะได้รับฟิล์มชั้นเดียวฟิล์มอิเล็กทริกฟิล์มสารประกอบเซมิคอนดักเตอร์หลายชั้นฟิล์มคอมโพสิตและฟิล์มอิเล็กทริกเป็นต้น
Experimetal Magnetron สปัตเตอร์ หน่วยการเคลือบสูญญากาศ ประสิทธิภาพทางเทคนิค:
1 แรงดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 5.0 × 10-6 Torr
2. ใช้ความดันสุญญากาศ: 1.0 × 10-4 Torr.
3. เวลาในการสูบน้ำ: ตั้งแต่ 1 atm ถึง 1.0 x 10-4 Torr≤ 3 นาที (อุณหภูมิห้องแห้งและสะอาด)
4. Metalizing วัสดุ (สปัตเตอร์) Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... ฯลฯ
5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
โครงสร้างของหน่วยเคลือบสูญญากาศแม็กเน็ทเทอร์ทดลอง
1. ห้องสุญญากาศ
2. ปั๊มสูญญากาศระบบสูบ (Backing Pump Package)
3. เครื่องสูบน้ำสูญญากาศสูง (Diffusไอออน Pump)
4. ระบบควบคุมและการใช้ไฟฟ้า
5. ระบบสิ่งอำนวยความสะดวก Auxiliarry (ระบบย่อย)
6. ระบบการสะสม
กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้มอบโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมด