1. ระบบสเปรย์ UHV ติดตั้ง

• DC สปัตเตอร์ gun เพื่อเก็บวัสดุกึ่งตัวนำและไม่เป็นสื่อกระแสสลับ (Si, SiO2, Al2O3, Si3N4, Cr2O3, ITO และวัสดุอื่น)
• RF สปัตเตอร์ gun เพื่อนำวัสดุอลูมิเนียมเงินทอง ฯลฯ
• DC และแหล่งจ่ายไฟ RF สามารถแลกเปลี่ยนความยืดหยุ่น

2. การใช้ UHV สปัตเตอร์ system ของ

• เคลือบผิวด้วยวัสดุพอลิเมอร์ไม้เนื้อผ้าที่อุณหภูมิต่ำกว่า 100 องศาเซลเซียส

การนำวัสดุเคลือบที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าบนแก้วเซรามิคและวัสดุอื่น ๆ ที่เป็นฉนวน

3. ประสิทธิภาพทางเทคนิค:

3 แรงดันสูญญากาศที่ 1: ดีกว่า 5.0 × 10 ^{- 6} Torr

3. 2. ความดันสูญญากาศในการใช้งาน: 1.0 × 10 ^{- 4} Torr.

3. ระยะเวลาในการสูบน้ำ: ตั้งแต่ 1 atm ถึง 1.0 x 10-4 Torr≤ 3 นาที (อุณหภูมิห้องแห้งและสะอาด)

3. Metalizing วัสดุ (สปัตเตอร์) Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... ฯลฯ

3. รูปแบบการดำเนินงาน: แบบอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง

4. โครงสร้าง

เครื่องเคลือบสูญญากาศ UHV สปัตเตอร์ มีระบบที่สมบูรณ์แบบที่ระบุไว้ด้านล่าง:

1. ห้องสุญญากาศ

2. ปั๊มสูญญากาศแบบรูจิ่ง (ชุดปั๊มสำรอง)

3. เครื่องสูบน้ำสูญญากาศสูง (Diffusไอออน Pump)

4. ระบบควบคุมและการใช้ไฟฟ้า

5. ระบบสิ่งอำนวยความสะดวก Auxiliarry (ระบบย่อย)

6. ระบบการสะสม

สำหรับข้อกำหนดเพิ่มเติมโปรดติดต่อเรา สอบถามรายละเอียดเพิ่มเติมได้รับการต้อนรับ