| การใช้งาน | Magnetron สปัตเตอร์ Sources แหล่งจ่ายไฟฟ้าแบบ Magnetron สปัตเตอร์ Cathodes ที่มีความสมดุลและไม่สมด |
|---|---|
| วัสดุการสะสม | Ti, Cr, Zr, Al, Cu, Ag, Au, ITO เป็นต้น |
| โมเดลการขับขี่ | MF, DC, RF |
| ที่ตั้งโรงงาน | เมืองเซี่ยงไฮ้ ประเทศจีน |
| ที่ตั้งโรงงาน | เมืองเซี่ยงไฮ้ ประเทศจีน |
