การปรับแต่งเพื่อตอบสนองความต้องการพิเศษของคุณ
มาตรฐานเพื่อลดต้นทุนการผลิตของคุณ
-- เรามุ่งเน้นที่แอปพลิเคชัน More
 
2-MultiTech- DLC IPG เคลือบฟิล์มดำ.pdfโปรดดาวน์โหลดโบรชัวร์ที่นี่สำหรับข้อมูลเพิ่มเติม
 

MF Sputtering คืออะไร?

เมื่อเทียบกับการสปัตเตอร์ DC และ RF การสปัตเตอร์ความถี่กลางได้กลายเป็นเทคนิคการสปัตเตอร์ฟิล์มบางหลักสำหรับการผลิตจำนวนมากของการเคลือบ โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการสะสมฟิล์มเคลือบฟิล์มไดอิเล็กทริกและไม่นำไฟฟ้าบนพื้นผิวเช่นการเคลือบแสง แผงเซลล์แสงอาทิตย์ หลายชั้น , ฟิล์มวัสดุคอมโพสิต ฯลฯ
มันกำลังแทนที่การสปัตเตอร์ RF เนื่องจากทำงานด้วย kHz มากกว่า MHz สำหรับอัตราการสะสมที่เร็วขึ้นมาก และยังสามารถหลีกเลี่ยงพิษเป้าหมายในระหว่างการสะสมฟิล์มบางแบบผสมเช่น DC

เป้าหมายการสปัตเตอร์ MF มีอยู่สองชุดเสมอแคโทดสองตัวถูกใช้โดยกระแสไฟ AC สลับไปมาระหว่างกัน ซึ่งจะทำความสะอาดพื้นผิวเป้าหมายด้วยการพลิกกลับแต่ละครั้งเพื่อลดประจุที่สร้างขึ้นบนไดอิเล็กทริกที่นำไปสู่การอาร์กซึ่งสามารถพ่นละอองเข้าไปในพลาสมาและป้องกันการเติบโตของฟิล์มบางที่สม่ำเสมอ--- ซึ่งเราเรียกว่า Target Poisoning
 

แหล่งที่มาของการสะสม
Steered Circular Arc สำหรับการระเหยของเป้าหมายที่เป็นโลหะแข็ง
2/4/6 คู่ของ MF กระบอกสปัตเตอร์แคโทดสำหรับการสะสมชั้นฟิล์มบางกราไฟท์;
ไบแอสพาวเวอร์ซัพพลายสำหรับไอออนบอมบอร์ดเพื่อสร้างพื้นที่พลาสมาสำหรับการบำบัดล่วงหน้า
Anode Linear Ion Source Unit (สำหรับอุปกรณ์เสริม) การประมวลผล PACVD และ PECVD;
Cryopump ( Polycold) สำหรับการควบแน่นของโมเลกุลของน้ำ (สำหรับตัวเลือก)

โมดูลอื่นๆ
1. ห้องสุญญากาศ
2. ระบบปั๊มสุญญากาศ Rouhging (แพ็คเกจปั๊มสำรอง)
3. ระบบปั๊มสุญญากาศสูง (ปั๊มโมเลกุลแขวนลอยด้วยแม่เหล็ก)
4. ระบบควบคุมและใช้งานไฟฟ้า
5. ระบบสิ่งอำนวยความสะดวกเสริม (ระบบย่อย)
6. ระบบการสะสม: MF sputtering cathode, MF power supply, Bias Power Supply Ion source สำหรับอุปกรณ์เสริม

ประสิทธิภาพของเครื่องเคลือบ

1. แรงดันสุญญากาศขั้นสูงสุด: ดีกว่า 5.0×10-6ธอร์.
2. แรงดันสุญญากาศในการทำงาน: 1.0×10-4ธอร์.
3. เวลาสูบน้ำ: ตั้งแต่ 1 atm ถึง 1.0×10-4Torr≤ 3 นาที (อุณหภูมิห้อง, แห้ง, ห้องสะอาดและว่างเปล่า)
4. วัสดุที่เป็นโลหะ (สปัตเตอร์ + การระเหยอาร์ค): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC เป็นต้น
5. รุ่นการทำงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง

 
การกำหนดค่าเหล่านี้เป็นมาตรฐานสำหรับตลาดที่กำลังพัฒนาเฉพาะและสารเคลือบพิเศษใหม่ การกำหนดค่าและการปรับเปลี่ยนที่กำหนดเองมีให้ตามคำขอ
 
 
 
การว่าจ้างโปรแกรมการติดตั้งระบบสุญญากาศ
 

 
 
 
โปรดติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติที่ได้นำเสนอโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจรแก่คุณ