การชุบทองเครื่องลายคราม, กระเบื้องเซรามิกเคลือบสีเงิน, เครื่องชุบ Pvd สำหรับโมเสก

การใช้งาน:

เครื่อง RTSP1213 เป็นระบบแบบสปัตเตอร์แบบแบทช์สามารถฝากสารเคลือบแข็งต่าง ๆ สารเคลือบผิวอ่อนนุ่มสารผสมและฟิล์มหล่อลื่นแข็งบนพื้นผิววัสดุโลหะและอโลหะ นำไปใช้กับ Mosaic อุตสาหกรรมยานยนต์เซลล์เชื้อเพลิงไฮโดรเจนผลิตภัณฑ์โฟโตนิกส์การบินและอวกาศและอุตสาหกรรมพลังงานใหม่อื่น ๆ

คุณสมบัติ:

เพื่อปรับปรุงการนำไฟฟ้าของพื้นผิว;

ความต้านทานการกัดกร่อนสูง

ความต้านทานการสึกหรอสูง

ความแข็งสูง

ฟิล์มผสมน้ำและฟิล์มหน้าที่อื่น ๆ

มีจำหน่ายสำหรับการเคลือบแบบผสม: ฟิล์มโลหะและไม่ใช่โลหะ

ช่วงความหนาของฟิล์มตั้งแต่ 100nm ถึง12μmความอดทนความหนา± 5%
การยึดเกาะที่แข็งแกร่ง

การชุบเคลือบผิวชิ้นส่วนต่ำ

ประเภท:

การวางแนวตั้ง, โครงสร้างรูปทรงหลายเหลี่ยม, 2 ประตู (ด้านหน้าและด้านหลัง)

คุณสมบัติ:

• ระบบที่เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมไม่มีน้ำเสียจากอุตสาหกรรมมลพิษทางอากาศและเสียง
• ใช้งานง่าย: หน้าจอสัมผัส + การควบคุม PLC และโปรแกรมซอฟต์แวร์ที่ไม่ซ้ำกันสำหรับการใช้งานด้วยการกดครั้งเดียวมากกว่า 80% ปลุกปัญหาการยิง
• การล็อกอินและสำรองข้อมูลสูตรการประมวลผลสูงสุด 10 รายการ; การทำซ้ำสูงและความหลากหลาย
• การออกแบบพิเศษของระบบ Carousel เพื่อความสม่ำเสมอของการสะสมฟิล์ม
• ผลผลิตสูงและมีคุณภาพสูง
• ระบบที่เสถียรและเชื่อถือได้ใช้งานได้ 365 วัน * 24 ชั่วโมง (การบำรุงรักษาและซ่อมแซมหมดเวลา)
• ระบบสูบน้ำที่มีประสิทธิภาพ: สายท่อสูญญากาศที่สั้นลงสำหรับความเร็วในการสูบสูงสุดด้วยปั๊มยี่ห้อยุโรปที่รู้จักกันดี
• การออกแบบที่กะทัดรัดใช้พื้นที่ติดตั้งขั้นต่ำ

ข้อกำหนดทางเทคนิค

• ประสิทธิภาพ

1. ความดันสูญญากาศที่ดีที่สุด: ดีกว่า 8.0 * 10 ^-5 Pa

• ความดันสุญญากาศพื้นฐาน: 3.0 * 10 ^{- 4} Pa

3. สูบน้ำเวลา: จาก atm ถึง 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15นาที (อุณหภูมิห้อง, แห้ง, ห้องสะอาดและว่างเปล่า)

4. แหล่งที่มาของการสะสม: แคโทดสปัตเตอร์แบบสมดุล / ไม่สมดุล

5. รุ่นการทำงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง

6. เครื่องทำความร้อน: จากอุณหภูมิห้องสูงสุด 450 ℃,

7. การทำความสะอาดพลาสม่าและการพลาสม่าช่วยในการสะสม: แหล่งขั้วบวกไอออนเชิงเส้น

8. ปิดแม่เหล็ก - วนรอบยื่น (ไม่สมดุล / แคโทดสมดุล)

9. แหล่งจ่ายไฟไบอัสสำหรับการปล่อยแสง

• โครงสร้าง

เครื่องเคลือบสูญญากาศมีระบบเสร็จสมบูรณ์ที่สำคัญด้านล่าง:

1. ห้องสูญญากาศ
1.1 ขนาด: เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 1200 มม

ความสูงด้านใน: 1300 มม

1.2 วัสดุ: ห้องสูญญากาศ SUS304

บานประตูและหน้าแปลน SUS304

โครงสร้างห้องเสริมสร้าง: เหล็กอ่อน SS41 ด้วยการรักษาพื้นผิวทาสี

แชสซีแชมเบอร์ SS41 เหล็กอ่อนพร้อมการทาสีผิวสำเร็จ

1.3 โล่สปัตเตอร์: SUS304

1.4 หน้าต่างมุมมอง: ที่ประตูห้อง - 4 ชุด (2 ประตูแต่ละบาน)

1.5 วาล์วสุญญากาศสำหรับระบายห้อง (รวมถึงตัวเก็บเสียง)

1.6 ประตู: วัสดุ SUS304

2. Rou ghing ระบบปั๊มสุญญากาศ :

น้ำมันปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุน + ปั๊มราก + ปั๊มโฮลดิ้ง (Leybold)

3. ระบบสูบน้ำสูญญากาศสูง :

แม่เหล็กระงับโมเลกุลปั๊ม (Leybold)

• วาล์วประตู - 2 ชุด

4. การควบคุมไฟฟ้าและระบบปฏิบัติการ - PLC + หน้าจอสัมผัส

4.1 วงจรหลัก: สวิตช์เบรกเกอร์แบบไม่มีฟิวส์, สวิตช์แม่เหล็กไฟฟ้า, C / T เป็นชนิดอนุกรม

4.2 แหล่งจ่ายไฟสปัตเตอร์ + แหล่งพลังงานไอออน + แหล่งจ่ายไฟไบอัส (พลังงานขั้นสูง)

4.3 ระบบควบคุมการทับถม

4.4 ระบบปฏิบัติการ: หน้าจอสัมผัส + PLC, การควบคุมสูตรและบันทึกข้อมูล, ปิดอัตโนมัติ, การอพยพอัตโนมัติ, การเคลือบอัตโนมัติ

4.5 ระบบการวัด

ความดันสูญญากาศ: เครื่องวัดสุญญากาศ: Pirani + เครื่องวัดความดัน + เครื่องวัดสูญญากาศแบบเต็มรูปแบบ - แบรนด์ยุโรป

อุปกรณ์วัดอุณหภูมิ: เทอร์โมคัปเปิล
MFC: Mass Flow Controller (4 วิธี), โหมดการแสดงผลดิจิตอล - แบรนด์ยุโรป

4.6 ระบบเตือนภัย: แรงดันอากาศอัด, ระบายความร้อนด้วยน้ำ, การทำงานผิดพลาด

4.7 ตัวบ่งชี้พลังงานไฟฟ้า: ไฟแสดงสถานะแรงดันไฟฟ้าและไฟกระแสโหลด

5 . ระบบการสะสม

5.1 แหล่งที่มาสะสม: แคโทดสปัตเตอร์แหล่งกำเนิดไอออน - แบรนด์ยุโรป

5.2 วัสดุสะสม: เป้าหมายคาร์บอน

6. ระบบย่อย

6.1 ระบบควบคุมวาล์วอัดอากาศ

6.2 ระบบน้ำหล่อเย็น: ท่อน้ำไหลและระบบสวิทช์วาล์ว

7. สภาพแวดล้อมการทำงาน

อัดอากาศ: 5 ~ 8kg / cm2

น้ำหล่อเย็น: อุณหภูมิของน้ำ: 20 ~ 25 ℃, 200 ลิตร / นาที
แรงดันน้ำ: 2 ~ 3 กก. / ซม. 2,

พลังงาน: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, การใช้พลังงานเฉลี่ย: 40KW

พื้นที่ติดตั้ง: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200 มม

ไอเสีย: Vent สำหรับปั๊มเชิงกล

กรุณาติดต่อเราสำหรับรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology ได้รับเกียรติให้บริการโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจร