ทองเงินและทองแดง เครื่องพ่น PVD Ceramic

อุปกรณ์ประกอบการพ่นทองคํา Au, เครื่องประกอบการพ่น PVD ของ Silver/Gold, ระบบประกอบการพ่น PVD ของ conductive film 

สรุป:กระบวนการ DPC- Direct Plating Copper เป็นเทคโนโลยีเคลือบที่ทันสมัยที่นําไปใช้กับอุตสาหกรรม LED / semiconductor / อิเล็กทรอนิกส์ การใช้งานทั่วไปคือเซรามิก Radiating Substrateการฝากฟิล์มแบบคูเปอร์ที่นําทางบนอะลูมิเนียมอ๊อกไซด์ (Al2O3), AlN substrate โดยเทคโนโลยี PVD vacuum sputtering เมื่อเปรียบเทียบกับการผลิตแบบดั้งเดิม

วิธีการ: DBC LTCC HTCC ค่าผลิตที่ต่ํากว่ามากเป็นลักษณะสูงของมัน

ทีมงานเทคโนโลยีของราชอาณาจักรช่วยลูกค้าของเรา ในการพัฒนากระบวนการ DPC อย่างสําเร็จ ด้วยเทคโนโลยีการพ่น PVD

คําสําคัญ:อะไหล่ปิดเซรามิก, กระบวนการ DPC, ระบบพ่น PVD ทองแดง, ชิปเซรามิก LED ด้วยการเคลือบคูเปอร์, Al₂O₃, AlN แผ่นวงจรเซรามิก, Al2O3 แผ่นบน LED, ครึ่งตัวนํา

การใช้DPC:

· HBLED

· สับสราตสําหรับเซลล์ประกอบพลังแสงอาทิตย์

· แพคเกจครึ่งตัวนําพลังงานรวมถึงการควบคุมมอเตอร์รถยนต์

· อิเล็กทรอนิกส์บริหารพลังงานรถยนต์ไฮบริดและไฟฟ้า

· แพ็คเกจสําหรับ RF

· อุปกรณ์ไมโครเวฟ

ผลงานของเทคโนโลยี DPC

วัสดุพื้นฐานต่าง ๆ: เซรามิก (Al3O2, AlN), แก้วและ Si

• ค่าผลิตต่ํากว่ามาก
• ผลงานการจัดการความร้อนและการถ่ายทอดความร้อนที่โดดเด่น
• การจัดสรรที่แม่นยําและการออกแบบรูปแบบ
• การติดต่อโลหะที่แข็งแรง

ลักษณะ:

• ความสามารถในการทํางานสูงถึง 2.2 m2 ของเซรามิก substrate ต่อรอบ
• การติดแน่นอย่างแข็งแรงด้วยอุปกรณ์ทําความร้อนที่แข็งแรงและการทําความสะอาดแหล่งพลาสมา
• การออกแบบที่คอมแพคต์ และมีทางเข้าที่ง่ายสําหรับการปรับปรุงและงานบํารุงรักษา
• อัตโนมัติเต็มที่ PLC+Touch Screen ระบบควบคุมเพียงแตะเดียว
• ประสิทธิภาพสูงกับการใช้พลังงานที่ต่ํากว่า การประหยัดต้นทุนการผลิตสูงสุด 50%

รายละเอียดเทคนิค

• ผลงาน

1. ความดันระยะว่างสูงสุด: ดีกว่า 9.0 * 10^-5พ่อ

• ความดันระยะว่างพื้นฐาน: 3.0*10^-2พ่อ

3. ปั๊มลง เวลา: จาก atm ถึง 1.0 × 10^-3Pa≤15 นาที (อุณหภูมิห้อง, ห้องแห้ง, สะอาดและว่างเปล่า)

4แหล่งการฝัง: กาโธสปูเตอร์แม็กเนตรอน Gencoa, กาโธอาร์คที่ควบคุม, แหล่งไอออน

5แบบการทํางาน: เต็มอัตโนมัติ / ครึ่งอัตโนมัติ / มือ

6การทําความร้อน: จากอุณหภูมิห้องสูงสุด 500 °C

9แหล่งไอออนสําหรับกระบวนการ PECVD และ PA PVD

• โครงสร้าง

เครื่องเคลือบระบายความว่างมีระบบครบครันที่สําคัญที่ระบุด้านล่าง:

1ห้องสูญเสีย

1.1 ขนาด: กว้างภายใน: 1200mm

ความสูงภายใน: 1500mm

1.2 วัสดุ: ห้องว่าง SUS304

ประตูและฟลานจ์ SUS304

โครงสร้างเสริมห้อง: เหล็กอ่อน SS41 พร้อมการบํารุงผิวสี

ชาซีห้อง SS41 เหล็กอ่อนที่มีการบํารุงผิว painted

1.3 กองป้องกัน: SUS304

1.4 หน้าต่าง: 2 ประตู

1.5 วาล์วระบายอากาศห้องว่าง (รวมกับเครื่องเงียบเสียง)

1ประตู: วัสดุ SUS304

2รางกลิ่นระบบปั๊มระบายความว่าง:

น้ํามันหมุนปั๊มระบายน้ํามัน + พั๊มยึด
 

3. ระบบปั๊มระยะสูง: ปั๊มโมเลกุลแขวนเหล็ก - 2 ชุด

4ระบบควบคุมและปฏิบัติการไฟฟ้า ระบบปฏิบัติการจอสัมผัส PLC +

จําหน่าย:

PLC: มิตซูบิชิ + หน้าจอสัมผัส (ผลิตในจีน)

ส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์:

ระบบป้องกันความปลอดภัย:การล็อคความปลอดภัยมากมาย เพื่อปกป้องผู้ใช้งานและอุปกรณ์ (น้ํา, ก๊าซกระแส, อุณหภูมิ เป็นต้น)

ระบบกระบวนการเคลือบ: อัตโนมัติกระบวนการและการควบคุม

4.1 วงจรหลัก: เครื่องสลับตัดไฟฟิวส์ที่ไม่มีไฟฟิวส์ เครื่องสลับไฟฟ้าแม่เหล็ก C/T ในแบบซีรี

4.2 พลังงานไฟฟ้า: พลังงานการพ่น DC/MF + พลังงาน Arc DC + พลังงานไฟฟ้า Bias

4.3 ระบบควบคุมการฝัง

4.4 ระบบการทํางาน: หน้าจอสัมผัส + PLC การควบคุมสูตรและบันทึกข้อมูล การปิดอัตโนมัติ การถอนอัตโนมัติ การเคลือบอัตโนมัติ

4.5 ระบบวัด

ความดันระยะว่าง: เครื่องวัดระยะว่าง: Pirani + เครื่องวัด Penning + เครื่องวัดระยะว่างแบบเต็ม -- ยี่ห้อยุโรป

อุปกรณ์วัดอุณหภูมิ: เทอร์โมคอปเปอร์
MFC: เครื่องควบคุมการไหลของมวล ( 4 ทาง)

4.6 ระบบเตือน: ความดันอากาศดัน การไหลของน้ําเย็น การทํางานผิด

4.7 ตัวชี้อัตราภาระแรง: ตัวชี้อัตราความตึงและตัวชี้อัตรากระแสแรง

5ระบบการฝากเงิน

5.1 แหล่งการฝัง: แคโทดสปเตอร์ + แหล่ง Arc + แหล่งไอออน

5.2 วัสดุการฝาก: ทองแดง, อลูมิเนียม, โครม, เงิน, ทองคํา, SS, ไทเทเนียม เป็นต้น
 

6.ระบบย่อย

6.1 ระบบควบคุมวาล์วอากาศดัน

6.2 ระบบน้ําเย็น:ท่อระบายน้ําและระบบวาล์วสวิทช์

7สภาพแวดล้อมในการทํางาน

อากาศกด: 5 ~ 8kg / cm2

น้ําเย็น: อุณหภูมิน้ําใน: 20 ~ 25 °C, 200 ลิตร/นาที
ความดันน้ําใน: 2 ~ 3 กิโลกรัม / ซม 2

พลังงาน: 3 ช่วง 380V 50Hz ((60Hz), 130kVA, การบริโภคพลังงานเฉลี่ย: 60KW

พื้นที่ติดตั้ง: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

การออกอากาศ: การออกอากาศสําหรับปั๊มกลไก

โปรดติดต่อเราเพื่อรายละเอียดเพิ่มเติม โครงการ Royal Technology มีเกียรติที่จะให้บริการคุณ