|
| ชื่อแบรนด์: | ROYAL |
| เลขรุ่น: | RTSP1200 |
| ขั้นต่ำ: | 1 ชุด |
| ราคา: | โปร่ง |
| เงื่อนไขการจ่ายเงิน: | L/C, T/T |
| ความสามารถในการจําหน่าย: | 10 ชุดต่อเดือน |
แม็กเนตรอนสปัทเทอริง ใช้อย่างแพร่หลายในการฝากโลหะที่ทนไฟ เช่น ทันทัล, ไทเทเนียม, วอลฟ์สเทน,นิโอบีਅਮ ซึ่งต้องใช้อุณหภูมิการฝากที่สูงมากและโลหะมีค่า: ทองคําและเงิน และยังใช้ในการฝากของโลหะที่ละลายต่ํากว่า เช่น ทองแดง อลูมิเนียม นิเคิล โครม เป็นต้น
ทานทัลม์ ใช้กันมากที่สุดในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์อุตสาหกรรมเป็นเคลือบป้องกัน เนื่องจากความทนทานที่ดีต่อการบด.
การใช้งานของฟิล์มบาง Tantalum Sputtered:
1อุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เนื่องจากฟิล์มสามารถกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจาย
5อุตสาหกรรมครึ่งตัวนํา ชิปอิเล็กทรอนิกส์
ข้อดีทางเทคนิค
ระบบการฝังทองทองทองแบบมาตรฐานของ Royal Technology: RTSP1000
| การตั้งค่าหลัก | |
| รูปแบบ | RTSP1200 |
| เทคโนโลยี |
การกระจายแม็กเนทรออน DC ที่กระจาย การเคลือบคลุมคลุมคาโทด (สําหรับตัวเลือก, กําหนดโดยกระบวนการเคลือบ), แหล่งรังสีไอออน |
| วัสดุห้อง | สแตนเลส (S304) |
| ขนาดห้อง | Φ1200*1300mm (H) |
| แบบห้อง | รูปแบบ D ห้องทรงกระบอก |
| ระบบเรคหมุนและ JIG | ระบบขับเคลื่อนดาวเทียม หรือ ระบบขับเคลื่อนกลาง |
| พลังงานไฟฟ้า |
จําหน่ายพลังงาน DC Sputtering: 2 ~ 4 ชุด แหล่งไอออน: 1 ชุด |
| วัสดุการฝาก | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu เป็นต้น |
| แหล่งฝากเงิน | คาโทดกระจายแผ่น + คาโทดวงกลม |
| การควบคุม | PLC ((เครื่องควบคุมโลจิกที่สามารถเขียนโปรแกรมได้) + IPC (แบบทํางานด้วยมือ + อัตโนมัติ + ครึ่งอัตโนมัติ) |
| ระบบปั๊ม | เครื่องปั๊มกระบอกหมุน: SV300B 1 ชุด (Leybold) |
| ปั๊มราก: WAU1001 1 ชุด (Leybold) | |
| ปั๊มเก็บ: D60C 1 ชุด (Leybold) | |
| ปั๊มโมเลกุลการแขวนคล้องแม่เหล็ก MAG2200 2 sest (Leybold) |
|
| เครื่องควบคุมการไหลของแก๊ส | 2 ช่อง: Ar และ N2 |
| วัคคิวัมเมจ | Inficon หรือ Leybold |
| ระบบความปลอดภัย | การล็อคความปลอดภัยมากมาย เพื่อปกป้องผู้ใช้งานและผู้ใช้เครื่อง |
| การทําความร้อน | เครื่องทําความร้อน: 20KW ความร้อนสูงสุด: 450°C |
| การเย็น | เครื่องทําความเย็นอุตสาหกรรม (น้ําเย็น) |
| พาวเวอร์แม็กซ์ | 100KW (ประมาณ) |
| การใช้พลังงานเฉลี่ย | 45 KW (ประมาณ) |
| น้ําหนักรวม | T (ประมาณ) |
| รอยเท้า | (L*W*H) 4000 * 4000 * 3600 MM |
| พลังงานไฟฟ้า |
สาย AC 380V/3 ช่วง/50HZ / 5 |
กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดการใช้งานและรายละเอียดเพิ่มเติม
