การชุบเงินแบบ PVD โดยตรงบนตัวกรองไดอิเล็กตริกเซรามิกเป็นเทคโนโลยีการเคลือบขั้นสูงที่ใช้กับสถานีฐาน 5G และเซมิคอนดักเตอร์อื่นๆ สำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์การใช้งานทั่วไปอย่างหนึ่งคือพื้นผิวการแผ่รังสีเซรามิกการทับถมของฟิล์มนำไฟฟ้าเงิน/ทองแดงบนอะลูมิเนียมออกไซด์ (Al2O3) ซึ่งเป็นพื้นผิว AlN โดยเทคโนโลยีสปัตเตอร์สุญญากาศแบบ PVD มีข้อได้เปรียบเหนือสิ่งอื่นใดเมื่อเทียบกับวิธีการผลิตแบบดั้งเดิม: DBC LTCC HTCC ซึ่งมีต้นทุนการผลิตที่ต่ำกว่ามากทีมงานของ Royal Technology ร่วมมือกับลูกค้าของเราเพื่อพัฒนากระบวนการ PVD Silver Plating โดยใช้เทคโนโลยีสปัตเตอริงซึ่งสามารถแทนที่กระบวนการแปรงเงินเหลวแบบธรรมดาได้สำเร็จ
การใช้งานทั่วไป
สำหรับการสมัครเพิ่มเติม โปรดติดต่อ Royal Tech
ระบบสปัตเตอริงแบบแบตช์ RTAS1215 เป็นเวอร์ชันอัปเกรด ระบบใหม่ล่าสุดมีข้อดีหลายประการ:
กระบวนการที่มีประสิทธิภาพสูงขึ้น
1. การเคลือบสองด้านสามารถใช้ได้โดยการออกแบบฟิกซ์เจอร์การหมุนเวียน
2. ถึง 8 หน้าแปลนแคโทดระนาบมาตรฐานสำหรับหลายแหล่ง
3. ความจุสูงถึง 2.2 ㎡ ชิปเซรามิกต่อรอบ
4. ระบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ, PLC + หน้าจอสัมผัส, ระบบควบคุมแบบสัมผัสเดียว
ลดต้นทุนการผลิต
1. พร้อมกับ 2 ชุดปั๊มโมเลกุลระงับแม่เหล็ก เวลาเริ่มต้นอย่างรวดเร็ว การบำรุงรักษาฟรี
2. กำลังความร้อนสูงสุด
3. รูปทรงแปดเหลี่ยมของห้องสำหรับการใช้พื้นที่ที่เหมาะสม แหล่งอาร์คมากถึง 8 แห่งและแคโทดสปัตเตอริง 4 แห่งเพื่อการเคลือบอย่างรวดเร็ว
ข้อกำหนดทางเทคนิค
รุ่น: RTSP-Ag1215
ความสูงของห้อง (มม.): 1500
เส้นผ่านศูนย์กลางห้อง (มม.): φ1200
หน้าแปลนติดตั้งแคโทดสปัตเตอร์: 4
หน้าแปลนติดตั้งแหล่งกำเนิดไอออน: 1
หน้าแปลนติดตั้ง Arc Cathodes: 8
ดาวเทียม (มม.): 16 x Φ150
กำลังไบแอสพัลซิ่ง (KW): 36
กำลังสปัตเตอร์ (KW): DC36 + MF36
กำลังอาร์ค (KW): 8 x 5
แหล่งพลังงานไอออน (KW): 5
กำลังความร้อน (KW): 36
ความสูงของการเคลือบที่มีประสิทธิภาพ (มม.): 1020
ปั๊มโมเลกุลแบบแขวนแม่เหล็ก: 2 x 3300 L/S
ปั๊มราก: 1 x 1,000 ลบ.ม./ชม
ปั๊มใบพัดหมุน: 1 x 300 ลบ.ม./ชม
ปั๊มโฮลดิ้ง: 1 x 60m³/h
ความจุ: 2.2 ㎡
พื้นที่ติดตั้ง (ยาว x กว้าง x สูง) มม.: 4200*6000*3500
ภายใน
เวลาในการสร้าง: ตั้งแต่ปี 2559
จำนวน: 3 ชุด
สถานที่: ประเทศจีน
เมื่อเทียบกับความต้องการมหาศาลของตลาด ผลผลิตของระบบแบทช์ต่ำเราได้ทุ่มเทพัฒนาระบบการสปัตเตอร์ในสายการผลิต (ยังคงสปัตเตอริงสายการทับถม) ด้วยอุปกรณ์โหลด/ขนถ่ายหุ่นยนต์โดยอัตโนมัติท่านใดสนใจระบบนี้ สามารถสอบถามสเปคเพิ่มเติมกับช่างของเราได้นะครับ