แม็กเนตรอนสปัทเทอริง ใช้อย่างแพร่หลายในการฝากโลหะที่ทนไฟ เช่น ทันทัล, ไทเทเนียม, วอลฟ์สเทน,นิโอบีਅਮ ซึ่งต้องใช้อุณหภูมิการฝากที่สูงมากและโลหะมีค่า: ทองคําและเงิน และยังใช้ในการฝากของโลหะที่ละลายต่ํากว่า เช่น ทองแดง อลูมิเนียม นิเคิล โครม เป็นต้น
ทานทัลม์ ใช้กันมากที่สุดในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์อุตสาหกรรมเป็นเคลือบป้องกัน เนื่องจากความทนทานที่ดีต่อการบด.
การใช้งานของฟิล์มบาง Tantalum Sputtered:
1อุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เนื่องจากฟิล์มสามารถกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจาย
ข้อดีทางเทคนิค
ระบบการฝังทองทองทองแบบมาตรฐานของ Royal Technology: RTSP1000
การตั้งค่าหลัก | |
รูปแบบ | RTSP1000 |
เทคโนโลยี |
การกระจายแม็กเนทรออน DC ที่กระจาย การเคลือบเส้นโค้ง cathodic (สําหรับตัวเลือก, กําหนดโดยกระบวนการเคลือบ) |
วัสดุห้อง | สแตนเลส (S304) |
ขนาดห้อง | Φ1000*1600mm (H) |
แบบห้อง | รูปแบบ D ห้องทรงกระบอก |
ระบบเรคหมุนและ JIG | ระบบขับเคลื่อนดาวเทียม หรือ ระบบขับเคลื่อนกลาง |
พลังงานไฟฟ้า |
จําหน่ายพลังงาน DC Sputtering: 2 ~ 4 ชุด แหล่งไอออน: 1 ชุด |
วัสดุการฝาก | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu เป็นต้น |
แหล่งฝากเงิน | คาโทดกระจายแผ่น + คาโทดวงกลม |
การควบคุม | PLC ((เครื่องควบคุมโลจิกที่สามารถเขียนโปรแกรมได้) + IPC (แบบทํางานด้วยมือ + อัตโนมัติ + ครึ่งอัตโนมัติ) |
ระบบปั๊ม | เครื่องปั๊มกระบอกหมุน: SV300B 1 ชุด (Leybold) |
ปั๊มราก: WAU1001 1 ชุด (Leybold) | |
ปั๊มเก็บ: D60C 1 ชุด (Leybold) | |
ปั๊มโมเลกุลการแขวนคล้องแม่เหล็ก MAG2200 2 sest (Leybold) |
|
เครื่องควบคุมการไหลของแก๊ส | 2 ช่อง: Ar และ N2 |
วัคคิวัมเมจ | Inficon หรือ Leybold |
ระบบความปลอดภัย | การล็อคความปลอดภัยมากมาย เพื่อปกป้องผู้ใช้งานและผู้ใช้เครื่อง |
การทําความร้อน | เครื่องทําความร้อน: 20KW ความร้อนสูงสุด: 450°C |
การเย็น | เครื่องทําความเย็นอุตสาหกรรม (น้ําเย็น) |
พาวเวอร์แม็กซ์ | 100KW (ประมาณ) |
การใช้พลังงานเฉลี่ย | 45 KW (ประมาณ) |
น้ําหนักรวม | T (ประมาณ) |
รอยเท้า | (L*W*H) 4000 * 4000 * 3600 MM |
พลังงานไฟฟ้า |
สาย AC 380V/3 ช่วง/50HZ / 5 |
ภายใน:
เวลาสร้าง: 2018
สถานที่: จีน
กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดการใช้งานและรายละเอียดเพิ่มเติม