|
| ชื่อแบรนด์: | ROYAL |
| เลขรุ่น: | RTSP |
| ขั้นต่ำ: | 1 ชุด |
| ความสามารถในการจําหน่าย: | 10 ชุดต่อเดือน |
เครื่องเคลือบ Tantalum PVD Sputtering Tantalum film deposited by DC Magnetron Sputtering เครื่องเคลือบ Tantalum PVD
ทานทัลม์ถูกใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และเป็นเคลือบป้องกันในหลายอุตสาหกรรม เนื่องจากความทนทานที่ดีต่อการละลาย
ฟิล์มทันทัลสเปตเตอร์ถูกใช้อย่างแพร่หลายใน
1อุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เนื่องจากฟิล์มสามารถกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจายกระจาย
2อุปกรณ์ทางการแพทย์ เช่น อุปกรณ์ฝังในร่างกาย สําหรับคุณสมบัติความเข้ากันได้อย่างสูง
3. การเคลือบบนส่วนที่ทนทานต่อการกัดกร่อน เช่น หุบน้ําร้อน, ร่างของวาล์ว, และเครื่องแนบ
Tantalum สปูเตอร์สามารถใช้ได้เช่นกัน เป็นอุปสรรคการต่อต้านการกัดกร่อนที่มีประสิทธิภาพถ้าการเคลือบเป็นต่อเนื่อง, มีความบกพร่องและติดกับพื้นฐาน.
RTAS1000 ข้อดีทางเทคนิค
1. พล็อกอิน ระบบการออกแบบบูรณาการสําหรับการติดตั้งอย่างรวดเร็ว
2. Siemens PLC,CPU; พร้อมอุตสาหกรรม PC การทํางานและการควบคุมฮาร์ดแวร์
3สามารถติดตามและวินิจฉัยได้จากระยะไกล
4. นุ่มนวล พร้อมปรับปรุง
5. คาโทดหลายตัวสําหรับความเร็วการฝังที่เร็ว
ประโยชน์เพิ่มเติมจากเครื่องจักร:
การออกแบบที่แข็งแกร่ง คุณภาพที่มั่นคง วงจรเร็ว เวลาวงจรเร็ว ความเร็วในการฝังสูง
| การตั้งค่าหลัก | |
| รูปแบบ | RTAS1000 |
| เทคโนโลยี | การพ่นแม็กเนตรอนแบบ DC + การเคลือบคลุมคาโทด |
| วัสดุห้อง | สแตนเลส (S304) |
| ขนาดห้อง | Φ1000*1000mm (H) |
| แบบห้อง | รูปแบบ D ห้องทรงกระบอก |
| ระบบเรคหมุนและ JIG | ระบบขับเคลื่อนดาวเทียม หรือ ระบบขับเคลื่อนกลาง |
| พลังงานไฟฟ้า | DC Sputtering Power Supply: 2 ~ 4 ชุด Bias Power Supply: 1 ชุด Arc Power Supply: 11 ชุด |
| วัสดุการฝาก | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu เป็นต้น |
| แหล่งฝากเงิน |
คาโทดกระจายแผ่น + คาโทดวงกลม หมายเหตุ: เครื่องสปัด DC แบบกระบอกสามารถใช้ได้ |
| การควบคุม | PLC ((เครื่องควบคุมโลจิกที่สามารถเขียนโปรแกรมได้) + หน้าจอสัมผัส (รูปแบบการทํางานด้วยมือ + อัตโนมัติ + ครึ่งอัตโนมัติ) |
| ระบบปั๊ม | เครื่องปั๊มกระบะหมุน: SV300B - 1 ชุด (Leybold) |
| ปั๊มราก: WAU1001 - 1 ชุด (Leybold) | |
| ปั๊มเก็บ: D60C - 1 ชุด (Leybold) | |
| ปั๊มโมเลกุลแขวนแม่เหล็ก: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
| เครื่องควบคุมการไหลของแก๊ส | 4 ช่องทาง, ผลิตในจีน, เซฟนสตาร์ (ซีรีส์ CS, ) แบบดิจิตอล (Ar, N2, O2, C2H2) |
| วัคคิวัมเมจ | รูปแบบ: ZDF-X-LE ผลิตในจีน |
| ระบบความปลอดภัย | การล็อคความปลอดภัยมากมาย เพื่อปกป้องผู้ใช้งานและผู้ใช้เครื่อง |
| การทําความร้อน | เครื่องทําความร้อน: 20KW ความร้อนสูงสุด: 450°C |
| การเย็น | เครื่องทําความเย็นอุตสาหกรรม (น้ําเย็น) |
| พาวเวอร์แม็กซ์ | 100KW (ประมาณ) |
| การใช้พลังงานเฉลี่ย | 45 KW (ประมาณ) |
| น้ําหนักรวม | T (ประมาณ) |
| รอยเท้า | (L*W*H) 4000 * 4000 * 3600 MM |
| พลังงานไฟฟ้า | สาย AC 380V/3 ช่วง/50HZ / 5 |
คาโทดกระบอกสปูเตอร์ คาโทดกระจายกระจายเรียบ
โปรดติดต่อเราเพื่อรายละเอียดเพิ่มเติม โครงการ Royal Technology มีเกียรติที่จะให้บริการคุณ
ดาวน์โหลดหนังสือพิมพ์ โปรดคลิกที่นี่ระบบการฝัง Magnetron Sputtering.pdf
การใช้ระบบ Magnetron Sputtering Deposition
