ระบบฝังแม็กเนทรออนสปเตอร์

การใช้งาน:

เครื่อง RTSP1213 เป็นระบบแบบสปัตเตอร์แบบแบทช์สามารถฝากสารเคลือบแข็งต่าง ๆ สารเคลือบผิวอ่อนนุ่มสารผสมและฟิล์มหล่อลื่นแข็งบนพื้นผิววัสดุที่เป็นโลหะและไม่ใช่โลหะ นำไปใช้กับอุตสาหกรรมของรถยนต์เซลล์เชื้อเพลิงไฮโดรเจนผลิตภัณฑ์โฟโตนิกส์การบินและอวกาศและอุตสาหกรรมพลังงานใหม่อื่น ๆ

คุณสมบัติ:

เพื่อปรับปรุงการนำไฟฟ้าของพื้นผิว;

ความต้านทานการกัดกร่อนสูง

ความต้านทานการสึกหรอสูง

ความแข็งสูง

ฟิล์มผสมน้ำและฟิล์มหน้าที่อื่น ๆ

มีจำหน่ายสำหรับการเคลือบแบบผสม: ฟิล์มโลหะและไม่ใช่โลหะ

ความหนาของฟิล์มตั้งแต่ 100 นาโนเมตรถึง12μmความอดทนความหนา± 5%
การยึดเกาะที่แข็งแกร่ง

การชุบผิวชิ้นส่วนที่มีอุณหภูมิต่ำ

ประเภท:

การวางแนวตั้ง, โครงสร้างรูปทรงหลายเหลี่ยม, 2 ประตู (ด้านหน้าและด้านหลัง)

คุณสมบัติ:

• ระบบที่เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมไม่มีน้ำเสียจากอุตสาหกรรมมลพิษทางอากาศและเสียง
• ใช้งานง่าย: หน้าจอสัมผัส + การควบคุม PLC และโปรแกรมซอฟต์แวร์ที่ไม่ซ้ำใครสำหรับการใช้งานด้วยการกดครั้งเดียวมากกว่า 80% ปลุกปัญหาการยิง
• สูตรการประมวลผลเข้าสู่ระบบและสำรองข้อมูลมากถึง 10 รายการ; การทำซ้ำสูงและความหลากหลาย
• การออกแบบพิเศษของระบบ Carousel เพื่อความสม่ำเสมอของการสะสมฟิล์ม
• ผลผลิตสูงและมีคุณภาพสูง
• ระบบที่เสถียรและเชื่อถือได้ใช้งานได้ 365 วัน * 24 ชั่วโมง (การบำรุงรักษาและซ่อมแซมหมดเวลา)
• ระบบสูบน้ำที่มีประสิทธิภาพ: สายท่อสูญญากาศที่สั้นลงสำหรับความเร็วในการสูบสูงสุดด้วยปั๊มยี่ห้อยุโรปที่มีชื่อเสียง
• การออกแบบที่กะทัดรัดใช้พื้นที่ติดตั้งขั้นต่ำ

ข้อกำหนดทางเทคนิค

• ประสิทธิภาพ

1. ความดันสูญญากาศที่ดีที่สุด: ดีกว่า 8.0 * 10 ^-5 Pa;

• ความดันสุญญากาศพื้นฐาน: 3.0 * 10 ^{- 4} Pa

3. สูบน้ำเวลา: จาก atm ถึง 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15นาที (อุณหภูมิห้อง, แห้ง, ห้องสะอาดและว่างเปล่า)

4. แหล่งที่มาของการสะสม: แคโทดสปัตเตอร์แบบสมดุล / ไม่สมดุล

5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง

6. เครื่องทำความร้อน: จากอุณหภูมิห้องสูงสุด 450 ℃,

7. การทำความสะอาดพลาสม่าและการทับถมของพลาสมาช่วย: แหล่งกำเนิดไอออนเชิงเส้นแอโนด

8. ปิดแม่เหล็ก - วนรอบยื่น (ไม่สมดุล / แคโทดสมดุล)

9. แหล่งจ่ายไฟไบอัสสำหรับการปล่อยแสง

• โครงสร้าง

เครื่องเคลือบสูญญากาศมีระบบที่สำคัญเสร็จสมบูรณ์อยู่ด้านล่าง:

1. ห้องสูญญากาศ
1.1 ขนาด: เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 1200 มม

ความสูงด้านใน: 1300 มม

1.2 วัสดุ: ห้องสูญญากาศ SUS304

บานประตูและหน้าแปลน SUS304

โครงสร้างห้องเสริมสร้าง: เหล็กอ่อน SS41 ด้วยการรักษาพื้นผิวทาสี

แชสซีแชมเบอร์ SS41 เหล็กอ่อนพร้อมการทาสีผิวสำเร็จ

1.3 โล่สปัตเตอร์: SUS304

1.4 หน้าต่างมุมมอง: ที่ประตูห้อง - 4 ชุด (2 ในแต่ละประตู)

1.5 วาล์วสุญญากาศสำหรับระบายห้อง (รวมถึงตัวเก็บเสียง)

1.6 ประตู: วัสดุ SUS304

2. Rou ghing ระบบปั๊มสุญญากาศ :

น้ำมันปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุน + ปั๊มราก + ปั๊มโฮลดิ้ง (Leybold)

3. ระบบสูบน้ำสูญญากาศสูง :

แม่เหล็กระงับโมเลกุลปั๊ม (Leybold)

• วาล์วประตู - 2 ชุด

4. การควบคุมไฟฟ้าและระบบปฏิบัติการ - PLC + หน้าจอสัมผัส

4.1 วงจรหลัก: สวิตช์เบรกเกอร์แบบไม่มีฟิวส์, สวิตช์แม่เหล็กไฟฟ้า, C / T เป็นชนิดอนุกรม

4.2 แหล่งจ่ายไฟสปัตเตอร์ + แหล่งจ่ายพลังงานไอออน + แหล่งจ่ายไฟไบอัส (พลังงานขั้นสูง)

4.3 ระบบควบคุมการทับถม

4.4 ระบบปฏิบัติการ: หน้าจอสัมผัส + PLC, การควบคุมสูตรและการบันทึกข้อมูล, ปิดอัตโนมัติ, การอพยพอัตโนมัติ, การเคลือบอัตโนมัติ

4.5 ระบบการวัด

ความดันสูญญากาศ: เกจวัดสูญญากาศ: Pirani + Penning gauge + เกจสูญญากาศแบบเต็มรูปแบบ - แบรนด์ยุโรป

อุปกรณ์วัดอุณหภูมิ: เทอร์โมคัปเปิล
MFC: Mass Flow Controller (4 วิธี), โหมดการแสดงผลดิจิตอล - แบรนด์ยุโรป

4.6 ระบบเตือนภัย: แรงดันอากาศอัด, ระบายความร้อนด้วยน้ำ, การทำงานที่ผิดพลาด

4.7 ตัวบ่งชี้กำลังไฟ: ไฟแสดงสถานะแรงดันไฟฟ้าและไฟกระแสโหลด

5 . ระบบการสะสม

5.1 แหล่งที่มาสะสม: แคโทดสปัตเตอร์แหล่งกำเนิดไอออน - แบรนด์ยุโรป

5.2 วัสดุสะสม: เป้าหมายคาร์บอน

6. ระบบย่อย

6.1 ระบบควบคุมวาล์วอัดอากาศ

6.2 ระบบน้ำหล่อเย็น: ท่อน้ำไหลและระบบสวิทช์วาล์ว

7. สภาพแวดล้อมการทำงาน

อัดอากาศ: 5 ~ 8kg / cm2

น้ำหล่อเย็น: อุณหภูมิของน้ำ: 20 ~ 25 ℃, 200 ลิตร / นาที
แรงดันน้ำ: 2 ~ 3 กก. / ซม. 2,

พลังงาน: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, การใช้พลังงานเฉลี่ย: 40KW

พื้นที่ติดตั้ง: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200 มม

ไอเสีย: Vent สำหรับปั๊มเชิงกล

ทำไมต้องเป็นเรา

1. เครื่องจักรการผลิตขั้นสูง (การกัด, การเชื่อม, การตัด, การทดสอบการรั่วของสูญญากาศ) รวมกับขั้นตอนการผลิตที่ได้มาตรฐานและการทดสอบที่เข้มงวดทำให้ Royal Technology สามารถผลิตระบบการเคลือบที่มีคุณภาพสูงเชื่อถือได้และต้นทุนต่ำ

2. คุณภาพการบริการและการส่งมอบที่ตรงเวลาเป็นหลักการสำคัญของธุรกิจของ Royal Technology กลยุทธ์ของการจ้างส่วนประกอบอย่างง่ายเปิดเผยกับผู้ผลิตมืออาชีพช่วยให้เราสามารถมุ่งเน้นความสนใจไปยังส่วนที่สำคัญและส่วนประกอบ R & D, การผลิต

3. นโยบายการควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวดและการเลือกซัพพลายเออร์ที่ผ่านการรับรองอย่างเข้มงวดทำให้ลูกค้าของ Royal Technology ได้รับอุปกรณ์ที่ทันสมัยและมีคุณภาพสูงในราคาที่เหมาะสมที่สุด

กรุณาติดต่อเราสำหรับรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology ได้รับเกียรติให้บริการโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจร

หากต้องการดาวน์โหลดโบรชัวร์ที่เสร็จสมบูรณ์โปรดคลิกที่นี่: R&D เครื่องเคลือบสูญญากาศ - PECVD + PVD depositio ...