เครื่องชุบ PVD อลูมิเนียมออกไซด์, ผลิตภัณฑ์ชุบทองแดงโดยตรง, อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ Multi-Arc

คำสำคัญ: ผลิตภัณฑ์อลูมิเนียมชุบโดยตรง, กระบวนการ PECVD, ฟิล์ม DLC, เพชรเช่นเดียวกับฟิล์มคาร์บอน, ฟิล์มสปัตเตอร์ริ่ง, Gencoa Magnetron Sputtering Cathode, แหล่งกำเนิดไอออน, PA PVD

คุณสมบัติการออกแบบ RTAC950-SP:

• ความยืดหยุ่น: แหล่งกำเนิดอาร์คและสปัตเตอร์, อุปกรณ์แหล่งกำเนิดไอออนเชิงเส้นครีบติดตั้งเป็นมาตรฐานสำหรับการแลกเปลี่ยนที่ยืดหยุ่น
• ความสามารถรอบตัว: มีให้สำหรับการฝากที่หลากหลายของโลหะพื้นฐานและโลหะผสม, การเคลือบแบบออพติคอล, การเคลือบแบบนุ่ม ฟิล์มผสมและฟิล์มหล่อลื่นที่เป็นของแข็งบนวัสดุพื้นผิวโลหะและไม่ใช่โลหะ
• การออกแบบตรงไปข้างหน้า: โครงสร้าง 2 ประตูเปิดด้านหน้าและด้านหลังเพื่อการบำรุงรักษาง่าย

ข้อกำหนดทางเทคนิค

• ประสิทธิภาพ

1. ความดันสูญญากาศที่ดีที่สุด: ดีกว่า 8.0 * 10 ^{- 4} Pa;

• ความดันสุญญากาศพื้นฐาน: 3.0 * 10 ^{- 2} Pa

3. สูบน้ำเวลา: จาก atm ถึง 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15นาที (อุณหภูมิห้อง, แห้ง, ห้องสะอาดและว่างเปล่า)

4. แหล่งที่มาของการสะสม: Gencoa magnetron สปัตเตอร์แคโทดนำแคโทดอาร์คแหล่งกำเนิดไอออน

5. รุ่นการทำงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง

6. เครื่องทำความร้อน: จากอุณหภูมิห้องสูงสุด 500 ℃,

9. แหล่งกำเนิดไอออนสำหรับกระบวนการ PECVD และ PA PVD

• โครงสร้าง

เครื่องเคลือบสูญญากาศมีระบบเสร็จสมบูรณ์ที่สำคัญด้านล่าง:

1. ห้องสูญญากาศ
1.1 ขนาด: ความลึกด้านใน 950 มม

ความสูงด้านใน: 1350 มม

1.2 วัสดุ: ห้องสูญญากาศ SUS304

บานประตูและหน้าแปลน SUS304

โครงสร้างห้องเสริมสร้าง: เหล็กอ่อน SS41 ด้วยการรักษาพื้นผิวทาสี

แชสซีแชมเบอร์ SS41 เหล็กอ่อนพร้อมการทาสีผิวสำเร็จ

1.3 Chamber Shield: SUS304

1.4 หน้าต่างดู: ที่ประตูห้อง -2

1.5 วาล์วสุญญากาศสำหรับระบายห้อง (รวมถึงตัวเก็บเสียง)

1.6 ประตู: 2 ชุดด้านหน้าและด้านหลังวัสดุ SUS304

2. ระบบปั๊มสุญญากาศหยาบ:
ปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุนน้ำมัน + ปั๊มลม

3. ระบบสูบน้ำสูญญากาศสูง:

ชุดปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ 2 ชุด

4. ระบบควบคุมไฟฟ้าและการดำเนินงาน - PLC + หน้าจอสัมผัสระบบปฏิบัติการ:

ซัพพลายเออร์:

PLC: มิตซูบิชิ, รุ่น: FX-IN60MR-001 SERIES

ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์: SCHNEIDER, OMRON

ระบบป้องกันความปลอดภัย: อุปกรณ์เชื่อมต่อความปลอดภัยจำนวนมากเพื่อปกป้องผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์ (น้ำ, ก๊าซในปัจจุบัน, อุณหภูมิ ฯลฯ )

กระบวนการเคลือบระบบ : กระบวนการอัตโนมัติ & การควบคุม บันทึกในหน่วยความจำอัตโนมัติเป็นเวลา 3 เดือน ข้อมูลสูตรการเคลือบที่โดดเด่น: การดำเนินการเป้าหมายปัจจุบัน / แรงดันไฟฟ้า, การไหลของมวล, ความดันสุญญากาศ, อุณหภูมิ, เวลาเคลือบจะถูกบันทึกไว้สำหรับการวิเคราะห์เพื่อเพิ่มคุณภาพการเคลือบ

4.1 วงจรหลัก: สวิตช์เบรกเกอร์แบบไม่มีฟิวส์, สวิตช์แม่เหล็กไฟฟ้า, C / T เป็นชนิดอนุกรม

4.2 Power Supply: MF sputtering power + DC Arc power + Bias Power Supply

4.3 ระบบควบคุมการสะสม

4.4 ระบบปฏิบัติการ: หน้าจอสัมผัส + PLC, การควบคุมสูตรและบันทึกข้อมูล, ปิดอัตโนมัติ, การอพยพอัตโนมัติ, การเคลือบอัตโนมัติ

4.5 ระบบการวัด

ความดันสูญญากาศ: เครื่องวัดสุญญากาศ: Pirani + เครื่องวัดความดัน + เครื่องวัดสูญญากาศแบบเต็มรูปแบบ - แบรนด์ยุโรป

อุปกรณ์วัดอุณหภูมิ: เทอร์โมคัปเปิล
MFC: ตัวควบคุมการไหลของมวล (4 วิธี),

4.6 ระบบเตือนภัย: แรงดันอากาศอัด, ระบายความร้อนด้วยน้ำ, การทำงานผิดพลาด

4.7 ตัวบ่งชี้พลังงานไฟฟ้า: ไฟแสดงสถานะแรงดันไฟฟ้าและไฟกระแสโหลด

5 . ระบบการสะสม

5.1 แหล่งที่มาของการสะสม: แคโทดแบบสปัตเตอร์ + แหล่งอาร์ค + แหล่งไอออน

5.2 การสะสมวัสดุ: ITO, ไทเทเนียม, โครเมี่ยม, อลูมิเนียม, สแตนเลส, TiAl ฯลฯ

6. ระบบย่อย

6.1 ระบบควบคุมวาล์วอัดอากาศ

6.2 ระบบน้ำหล่อเย็น: ท่อน้ำไหลและระบบสวิทช์วาล์ว

7. สภาพแวดล้อมการทำงาน

อัดอากาศ: 5 ~ 8kg / cm2

น้ำหล่อเย็น: อุณหภูมิของน้ำ: 20 ~ 25 ℃, 200 ลิตร / นาที
แรงดันน้ำ: 2 ~ 3 กก. / ซม. 2,

พลังงาน: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, การใช้พลังงานเฉลี่ย: 60KW

พื้นที่ติดตั้ง: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950 มม

ไอเสีย: Vent สำหรับปั๊มเชิงกล

กรุณาติดต่อเราสำหรับรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology ได้รับเกียรติให้บริการโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจร