เครื่องเคลือบสูญญากาศใช้การควบคุม PLC ขั้นสูงและติดตั้งมาตรวัดสูญญากาศกะอัตโนมัติและตัวควบคุมการไหล 3 ตัว สลับแหล่งจ่ายไฟส่วนโค้งและคอมพิวเตอร์ควบคุมอุณหภูมิอัตโนมัติ PLD
อุปกรณ์ของเราใช้กันอย่างแพร่หลายในเซรามิก, โมเสค, ฮาร์ดแวร์, นาฬิกา, โทรศัพท์มือถือ, ของเล่นอิเล็กทรอนิกส์, ตกแต่งและสาขาอื่น ๆ
คุณสมบัติหลัก
1. แผ่นกระเบื้องเคลือบฟิล์มทองคำหรือสีเงินมีความสว่างและละเอียดอ่อนพร้อมการเคลือบอย่างรวดเร็ว
2. ดีดัดแปลงบำรุงรักษาง่ายงานที่มั่นคง
3. การออกแบบและผลิตอุปกรณ์พิเศษที่ไม่ได้มาตรฐานจะขึ้นอยู่กับผลิตภัณฑ์ของลูกค้าการผลิตและข้อกำหนดเฉพาะบนแผ่นฟิล์ม
4. เป้าหมาย Magnetron เป้าหมายความถี่กลางคู่แฝดและอื่น ๆ สามารถติดตั้งเพิ่มเติมได้
| MODEL | RTAS1000 | |||||||
| เทคโนโลยี | DC magnetron สปัตเตอริง + ขั้วบวกอาร์คทับถม | |||||||
| วัสดุห้อง | สแตนเลส (S304) | |||||||
| ขนาดห้อง | Φ1000 * 1000 มม. (H) | |||||||
| ประเภทห้อง | ห้องรูปแปดเหลี่ยมปกติ 2 ประตู | |||||||
| ROTATION RACK & JIG SYSTEM | 6 (8) ดาวเทียม, สูงสุด น้ำหนัก: 400 กก | |||||||
| พาวเวอร์ซัพพลาย | จำนวน of Sputtering: 2 * 24 KW Bias ของ Power Supply: 1 * 24W AE power supply สำหรับตัวเลือก Ion Source Power 2 เซ็ต, AE power supply สำหรับตัวเลือก | |||||||
| วัสดุการฝาก | Ti, Au, Ag ฯลฯ | |||||||
| แหล่งเงินฝาก | 2 คู่ (4 ชิ้น) แคโทดสปัตเตอร์ + 2 แหล่งไอออนที่เคลือบพื้นที่: Dia800mm * H550mm; พื้นที่ความสม่ำเสมอ: ± 10 ~ 15% | |||||||
| ควบคุม | PLC (Programmable Logic Controller) + หน้าจอสัมผัส (แบบแมนนวล + อัตโนมัติ + โมเดลการทำงานกึ่งอัตโนมัติ) | |||||||
| ระบบปั๊ม | ปั๊มใบพัดแบบหมุน: SV200 - 1 ชุด (Leybold) | |||||||
| Roots Pump: WAU501 - 1 ชุด (เลย์โบลด์) | ||||||||
| โฮลดิ้งปั๊ม: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
| Magnetric Rotor Suspension โมเลกุลปั๊ม: MAG2200 - 2 ชุด (เลย์โบลด์) | ||||||||
| GAS MASS FLOW CONTROLLER | 3 ช่องสัญญาณ Made in America (MKS brand) | |||||||
| สูญญากาศวัด | รุ่น: ZDF-X-LE ผลิตในประเทศจีน | |||||||
| แหล่งกำเนิดไอออนเชิงเส้น | 2 ชิ้นก่อนการทำความสะอาดพลาสม่า + การสะสมช่วย | |||||||
| ระบบความปลอดภัย | ความปลอดภัยเชื่อมต่อกันมากมายเพื่อปกป้องผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์ | |||||||
| ร้อน | เครื่องทำความร้อน: 20KW แม็กซ์ อุณหภูมิ: 400 ℃ | |||||||
| คูลลิ่ง | เครื่องทำความเย็นอุตสาหกรรม (น้ำเย็น) | |||||||
| POWER MAX | 100KW (ประมาณ) | |||||||
| การใช้พลังงานเฉลี่ย | 45 KW (ประมาณ) | |||||||
| น้ำหนักรวม | T (ประมาณ.) | |||||||
| รอยเท้า | (L * W * H) 4000 * 4000 * 4000 MM | |||||||
| พลังงานไฟฟ้า | AC 380V / 3 เฟส / 50HZ | |||||||
กรุณาติดต่อเราสำหรับรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology ได้รับเกียรติให้บริการโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจร
