เครื่องเคลือบ DC และ MF Magnetron Sputtering, Deep Black PVD Coating Solutions
แมกนีตรอนสปัตเตอร์เคลือบ
การเคลือบพลาสม่า
แมกนีตรอนสปัตเตอริงเป็นกระบวนการเคลือบพลาสมาโดยวัสดุสปัตเตอร์จะถูกขับออกเนื่องจากการทิ้งระเบิดของไอออนไปยังพื้นผิวเป้าหมายห้องสุญญากาศของเครื่องเคลือบ PVD นั้นเต็มไปด้วยก๊าซเฉื่อย เช่น อาร์กอนโดยการใช้ไฟฟ้าแรงสูงทำให้เกิดการคายประจุแบบเรืองแสง ซึ่งส่งผลให้เกิดการเร่งความเร็วของไอออนไปยังพื้นผิวเป้าหมายและเคลือบด้วยพลาสมาอาร์กอนไอออนจะขับวัสดุสปัตเตอร์ออกจากพื้นผิวเป้าหมาย (สปัตเตอร์) ส่งผลให้ชั้นเคลือบสปัตเตอร์บนผลิตภัณฑ์ที่อยู่ด้านหน้าของเป้าหมาย เทคโนโลยีแมกนีตรอนสปัตเตอร์มีลักษณะดังนี้:
แบบอย่าง | RTAC1250-SPMF | ||||||
เทคโนโลยี | MF แมกนีตรอนสปัตเตอร์ + การชุบไอออน | ||||||
วัสดุ | สแตนเลส (S304) | ||||||
ขนาดห้อง | Φ1250 * H1250mm | ||||||
ประเภทห้อง | กระบอกสูบแนวตั้ง 1 ประตู | ||||||
ระบบสปัตเตอร์ | ออกแบบมาเฉพาะสำหรับการเคลือบฟิล์มดำบาง | ||||||
เอกสารการฝากเงิน | อลูมิเนียม, เงิน, ทองแดง, โครเมี่ยม, สแตนเลส, นิกเกิล |
||||||
แหล่งเงินฝาก | 2 ชุด MF เป้าหมายสปัตเตอร์ทรงกระบอก MF + 8 Steered Cathodic Arc Sources + Ion Source สำหรับอุปกรณ์เสริม | ||||||
แก๊ส | MFC- 4 วิธี, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
ควบคุม | PLC(Programmable Logic Controller) + | ||||||
ระบบปั๊ม | SV300B - 1 ชุด (เลย์โบลด์) | ||||||
WAU1001 - 1 ชุด (เลย์โบลด์) | |||||||
D60T- 1 ชุด (เลย์โบลด์) | |||||||
ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ: 2* F-400/3500 | |||||||
ก่อนการรักษา | แหล่งจ่ายไฟอคติ: 1*36 KW | ||||||
ระบบความปลอดภัย | อินเตอร์ล็อคเพื่อความปลอดภัยจำนวนมากเพื่อปกป้องผู้ปฏิบัติงาน | ||||||
คูลลิ่ง | น้ำเย็น | ||||||
พลังงานไฟฟ้า | 480V/3 เฟส/60HZ (ตามมาตรฐานสหรัฐอเมริกา) | ||||||
460V/3 เฟส/50HZ (ตามมาตรฐานเอเชีย) | |||||||
380V/3 เฟส/50HZ (ตามมาตรฐาน EU-CE) | |||||||
รอยเท้า | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
น้ำหนักรวม | 7.0 T | ||||||
รอยเท้า | (L*W*H) 5000*4000 *4000 MM | ||||||
รอบเวลา | 30 ~ 40 นาที (ขึ้นอยู่กับวัสดุพื้นผิว เรขาคณิตของพื้นผิวและสภาพแวดล้อม) |
||||||
เพาเวอร์แม็กซ์.. | 155 กิโลวัตต์ | ||||||
พลังเฉลี่ย การบริโภค (ประมาณ) |
75 กิโลวัตต์ |
โปรดติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติที่ได้นำเสนอโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจรแก่คุณ