Ni PVD Sputtering Coating Plant, Cr Vacuum Metallizing System, อุปกรณ์ชุบสูญญากาศ Sn / Ag, โรงงานชุบทองแดง

โครงสร้างอุปกรณ์:

เครื่อง RTAC1215-SP เป็นประเภทแปดส่วน ซึ่งประกอบด้วยปั๊มสุญญากาศ ห้องสุญญากาศซึ่งติดตั้งอาร์คแคโทด 8 อาร์ค แหล่งกำเนิดไอออนเชิงเส้น 1 แหล่ง แคโทด DC สปัตเตอร์ 2 ชุด และแคโทดสปัตเตอร์ MF 1 คู่แหล่งที่มาของไอออน หน้าแปลนติดตั้งแคโทดแบบสปัตเตอร์เป็นแบบสแตนด์ไลซ์ ซึ่งสามารถแลกเปลี่ยนได้อย่างยืดหยุ่นตามความต้องการของกระบวนการเคลือบจริงๆ

การใช้งาน:

1. อุตสาหกรรม DPC สำหรับชิ้นส่วนปิดผนึกเซรามิก, กระบวนการ DPC, ระบบสปัตเตอร์ทองแดง PVD, ชิปเซรามิก LED พร้อมชุบคูเปอร์, อัล₂โอ₃, แผงวงจรเซรามิก AlN, แผ่น Al2O3 บน LED, เซมิคอนดักเตอร์

2. ฟิล์มโลหะเงิน Ni, Chrome, ทอง, อลูมิเนียม, In, Sn เป็นต้นและ TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN เป็นต้น

ข้อดี:

1. การผลิตที่ประหยัดต้นทุน

2. Humanization ของสถานีงาน (การออกแบบตามหลักสรีรศาสตร์ของสถานีงาน การลดพื้นที่ เสียงรบกวน และอันตรายจากอุบัติเหตุ)

3. ผลผลิตคุณภาพสูง

4. การยึดเกาะที่แข็งแรงด้วยอุปกรณ์ทำความร้อนที่มีประสิทธิภาพและการทำความสะอาดแหล่งพลาสม่า

5. การออกแบบที่กะทัดรัดและง่ายต่อการอัพเกรดและบำรุงรักษา

6. ระบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ PLC + หน้าจอสัมผัสระบบควบคุมแบบสัมผัสเดียว

7. ประสิทธิภาพสูงโดยใช้พลังงานน้อย สูงสุดประหยัดต้นทุนการผลิต 50%

ข้อกำหนดทางเทคนิค:

• ประสิทธิภาพ

1. แรงดันสุญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 9.0*10^-5ป่า;

• แรงดันสุญญากาศพื้นฐาน: 3.0*10^-2ปะ

3. ปั๊มลงเวลา: จาก atm ถึง 1.0×10^-3Pa≤15นาที (อุณหภูมิห้อง, ห้องแห้ง, ห้องสะอาดและว่างเปล่า)

4. แหล่งที่มาของการสะสม: Gencoa แมกนีตรอนสปัตเตอร์แคโทด, แคโทดอาร์ค, แหล่งกำเนิดไอออน

5. รุ่นการทำงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง

6. เครื่องทำความร้อน: จากอุณหภูมิห้องถึงสูงสุด500 ℃,

9. แหล่งไอออนสำหรับกระบวนการ PECVD และ PA PVD

• โครงสร้าง

เครื่องเคลือบสูญญากาศประกอบด้วยระบบคีย์ที่สมบูรณ์ตามรายการด้านล่าง:

1. ห้องสุญญากาศ
1.1 ขนาด: เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน: 1200mm

ความสูงภายใน: 1500mm

1.2 วัสดุ: ห้องสุญญากาศ SUS304

ประตูและหน้าแปลน SUS304

โครงสร้างเสริมความแข็งแกร่งของหอการค้า: เหล็กอ่อน SS41 พร้อมการเคลือบผิวสำเร็จด้วยสี

แชสซีแชมเบอร์ SS41 เหล็กอ่อนพร้อมการเคลือบผิวสำเร็จทาสี

1.3 แชมเบอร์ชิลด์ : SUS304

1.4 ดูหน้าต่าง: 2 ที่ประตู

1.5 วาล์วระบายห้องสุญญากาศ (รวมตัวเก็บเสียง)

1.6 ประตู: วัสดุ SUS304

2. ระบบปั๊มสุญญากาศแบบหยาบ:
ปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุนน้ำมัน + ปั๊มโฮลดิ้ง

• ระบบสูบน้ำสูญญากาศสูง:

ปั๊มโมเลกุลแขวนลอยแม่เหล็ก - 2 ชุด

4. ระบบควบคุมและใช้งานไฟฟ้า- ระบบปฏิบัติการ PLC+ ทัชสกรีน:

ซัพพลายเออร์:

PLC: Mitsubishi + Touch Screen (ผลิตในจีน)

ส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์: ชไนเดอร์, ออมรอน

ระบบป้องกันความปลอดภัย:อินเตอร์ล็อคเพื่อความปลอดภัยจำนวนมากเพื่อปกป้องผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์ (น้ำ ก๊าซปัจจุบัน อุณหภูมิ ฯลฯ)

ระบบกระบวนการเคลือบ: กระบวนการอัตโนมัติและการควบคุม

4.1 วงจรหลัก: สวิตช์เบรกเกอร์ไม่มีฟิวส์, สวิตช์แม่เหล็กไฟฟ้า, C/T ในชุดประเภท

4.2 พาวเวอร์ซัพพลาย: DC/MF sputtering power + DC Arc power + Bias Power Supply

4.3 ระบบควบคุมการตกตะกอน

4.4 ระบบปฏิบัติการ: หน้าจอสัมผัส + PLC, การควบคุมสูตรและการบันทึกข้อมูล, การปิดเครื่องอัตโนมัติ, การอพยพอัตโนมัติ, การเคลือบอัตโนมัติ

4.5 ระบบการวัด

แรงดันสุญญากาศ : เกจสุญญากาศ: ปิรานี + เกจเพนนิ่ง + เกจสุญญากาศแบบเต็มช่วง - แบรนด์ยุโรป

เครื่องวัดอุณหภูมิ: เทอร์โมคัปเปิล
MFC: Mass Flow Controller ( 4 วิธี ),

4.6 ระบบเตือนภัย: แรงดันอากาศอัด , การไหลของน้ำหล่อเย็น, การทำงานผิดพลาด

4.7 ไฟแสดงสถานะโหลด: ไฟแสดงสถานะแรงดันและไฟแสดงสถานะโหลด

5.ระบบการสะสม

5.1 แหล่งที่มาของการสะสม: แคโทดสปัตเตอร์ + แหล่งกำเนิดอาร์ค + แหล่งกำเนิดไอออน

5.2 วัสดุสะสม: ทองแดง อลูมิเนียม โครเมียม เงิน ทอง SS ไทเทเนียมเป็นต้น

6.ระบบย่อย

6.1 ระบบควบคุมวาล์วอัดอากาศ

6.2 ระบบน้ำหล่อเย็น:ท่อน้ำไหลและระบบวาล์วสวิตซ์

• สภาพแวดล้อมในการทำงาน

อัดอากาศ: 5~8kg/cm2

น้ำหล่อเย็น: อุณหภูมิในน้ำ: 20~25℃, 200 ลิตร/นาที,
แรงดันน้ำ: 2 ~ 3 กก./cm2,

กำลังไฟ: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 130kVA การใช้พลังงานเฉลี่ย: 60KW

พื้นที่ติดตั้ง: (L*W*H)4400*3200*2950mm

ท่อไอเสีย: ช่องระบายอากาศสำหรับปั๊มกล

โปรดติดต่อเราสำหรับข้อมูลจำเพาะเพิ่มเติม Royal Technology สนับสนุนคุณด้วยโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจร