ชื่อแบรนด์: | ROYAL |
เลขรุ่น: | อาร์แทค1800 |
ขั้นต่ำ: | 18 ชุด |
ราคา: | โปร่ง |
เงื่อนไขการจ่ายเงิน: | L / C, D / A, D / P, T / T |
ความสามารถในการจําหน่าย: | 22 ชุดต่อเดือน |
คุณสมบัติของอุปกรณ์เคลือบ PVD เซรามิก
1. ห้องสูญเสื่อมเป็นตั้งประตูเปิดเดียว, 304 ผลิตจากสแตนเลส, ห้องสูญเสื่อมวงกว้างภายในจาก φ1400mm-Φ2000mm;
2ระบบสูญเสียด้วยปั๊มหมุนสปิ้น, ปั๊มรากและปั๊มกระจายน้ํามันหรือโครงสร้างปั๊มโมเลกุล
3ระบบเคลือบใช้แม่เหล็กความถี่ระยะกลาง 1-2 เพื่อควบคุมแหล่งพลังงานกระจาย มีแม่เหล็กไม่สมดุล 1-2 คู่เพื่อควบคุมเป้าหมาย และมีแหล่ง弧 14-40
4. แหล่งพลังงานประสิทธิภาพสูง
5. ระบบการก๊าซิฟิชั่นใช้ผลิตในประเทศหรือนําเข้าวัดระบายน้ําหนักก๊าซ, วัดระบายน้ําหนักก๊าซ
6. การตั้งระบบควบคุมไฟฟ้าวงจรไฟฟ้าอ้วน, ตัดการจําหน่ายน้ํา, ติดอุปกรณ์เตือนเสียง-แสง;
7ระบบควบคุม (จอสัมผัส + PLC), ปราเมตรรายละเอียดการแสดงเวลาจริง, การควบคุมการผลิตทั้งหมดโดยอัตโนมัติอย่างสมบูรณ์แบบกระบวนการ, และปราเมตรเทคโนโลยีความจําอัตโนมัติ
อุปกรณ์เคลือบ PVD - RTAC1618 รายละเอียด
รูปแบบ | RTAC1618 | ||
สาร | สแตนเลส (S304) | ||
ขนาดห้อง | Φ1600*1800mm (H) | ||
ระบบปั๊ม | เครื่องปั๊มระบายน้ําหมุนพิสตัน (เครื่องจักรกล) | ||
เครื่องปั๊มระบายความร้อนแบบหมุน | |||
แป๊มปั๊มแวคิวัมราก | |||
ปั๊มระบาย | |||
เทคโนโลยี | การเคลือบอิออน (แหล่ง multi-arc) | ||
เป้าหมายทั่วไป | โครม ไทเทเนียม ซิรคอนิਅਮ TiAl | ||
ก๊าซ | เครื่องวัดกระแสน้ําหนักก๊าซ (Ar, N2) อาร์กอน ไนโตรเจน | ||
การควบคุม | PLC ((เครื่องควบคุมโลจิกที่สามารถเขียนโปรแกรมได้) | ||
ระบบความปลอดภัย | การล็อคความปลอดภัยมากมาย เพื่อปกป้องผู้ใช้งานและอุปกรณ์ | ||
การเย็น | รีไซเคิลน้ําเย็น | ||
การทําความร้อน | เครื่องทําความร้อนสูงถึง 300 °C | ||
พาวเวอร์แม็กซ์ | 150KW (ประมาณ) | ||
การใช้พลังงานเฉลี่ย | 70KW (ประมาณ) |
อุปกรณ์เคลือบ PVD เซรามิกใช้เทคโนโลยีการเคลือบไอออน เพื่อระเหยโลหะแข็ง เช่น ไทเทเนียมโครมโดยแหล่ง arc cathodic และบดโลหะที่เป็นยอนบนพื้นผิวของผลิตภัณฑ์เพื่อผลิต Nano หนังบางในสภาพแวดล้อมความว่างสูงด้วยก๊าซปฏิกิริยา เช่น ไนโตรเจน เพื่อสร้างสีต่างๆ
ขนาดเครื่องจักรที่กําหนดเองอื่นๆ ก็มีขึ้นอยู่กับขนาดของผลิตภัณฑ์ที่กําหนดและความต้องการของกําลัง
รุ่น | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
ขนาดภายในห้อง | 1000x800 มม. | 1000x1200 มิลลิเมตร | 1200x1500 มม. | 1400x1600 มิลลิเมตร | ขนาด 1600x1600 มิลลิเมตร | ||||||
ประเภทของปั๊มพลังงาน | พลังงานไฟฟ้าอาร์ค พลังงานไฟฟ้าไฟฟ้าไฟฟ้าไฟฟ้าไฟฟ้าไฟฟ้าไฟฟ้า | ||||||||||
โครงสร้างห้องสูญเสีย | โครงสร้างประตูหน้าแนวตั้ง ระบบการออกอากาศด้านหลัง และห้องเย็นน้ํา 2 ชั้น | ||||||||||
วัสดุของห้องว่าง | สแตนเลส 304/316L | ||||||||||
วัคิวัมสูงสุด | 6.0x10-4Pa (ห้องลด, ทําความสะอาด, แห้ง) | ||||||||||
ความเร็วการปั๊มระยะว่าง | จากบรรยากาศถึง 8.0*10-3Pa ≤15 นาที | ||||||||||
ระบบปั๊มระบายความร้อน | ปั๊มระบายหรือปั๊มโมเลกุล + ปั๊มราก + ปั๊มกลไก + ปั๊มถือ (รุ่นเฉพาะสามารถเลือกตามความต้องการของลูกค้า) | ||||||||||
แหล่ง Arc | 6 หน่วย หรือ 8 หน่วย | 8 หน่วย หรือ 10 หน่วย | 10 หน่วย หรือ 12 หน่วย | 14 หน่วย หรือ 16 หน่วย | 16 หน่วย หรือ 18 หน่วย | ||||||
พลังงานไฟฟ้า Bias | 20KW/ชุด | 20KW/ชุด | 30KW/ชุด | 40KW/ชุด | 50KW/ชุด | ||||||
แบบขับรถ | การหมุนและหมุนของดาวเคราะห์ การควบคุมความเร็วความถี่ที่เปลี่ยนแปลง (ควบคุมและปรับ) | ||||||||||
ระบบทําความร้อน | สามารถควบคุมและปรับได้จากอุณหภูมิห้องถึง 450 °C (ควบคุมอุณหภูมิ PID) | ||||||||||
MFC | ระบบควบคุมและแสดงการไหลของก๊าซกระบวนการแบบ 3 เส้นทางหรือ 4 เส้นทาง ระบบการก๊าซอัตโนมัติแบบเลือก | ||||||||||
ระบบเย็น | ระบบเย็นระบายน้ํา, หอคอยน้ําเย็น หรือ เครื่องเย็นน้ําอุตสาหกรรม หรือ ระบบเย็นลึก (บริการโดยลูกค้า) | ||||||||||
ระบบควบคุม | รูปแบบการบูรณาการมือ/อัตโนมัติ การทํางานด้วยจอสัมผัส การควบคุมโดย PLC หรือคอมพิวเตอร์ | ||||||||||
พลังงานรวม | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
ระเบิดและป้องกัน | เตือนการขาดน้ํา, มากกว่าปัจจุบันและความแรงดันเกิน, วงจรเปิดและสถานการณ์ผิดปกติอื่น ๆ ของปั๊ม, เป้าหมายและอื่น ๆ และดําเนินการมาตรการป้องกันที่เกี่ยวข้องและฟังก์ชันไฟฟ้า interlock | ||||||||||
พื้นที่อุปกรณ์ | W2.5m*L3.5m | W3m*L4m | W4m*L5m | W4.5m*L6m | W5m*L7m | ||||||
ปริมาตรเทคนิคอื่น ๆ | ความดันน้ํา ≥0.2MPa ความร้อนน้ํา ≤25°C ความดันอากาศ 0.5-0.8MPa | ||||||||||
ความเห็น | การตั้งค่าเฉพาะของอุปกรณ์เคลือบสามารถออกแบบได้ตามความต้องการกระบวนการของผลิตภัณฑ์เคลือบ |
ไฟล์เซรามิก ตัวอย่างเคลือบ PVD
โปรดติดต่อเราเพื่อรายละเอียดเพิ่มเติม โครงการ Royal Technology มีเกียรติที่จะให้บริการคุณ