คุณสมบัติ การออกแบบ :
ข้อกำหนดทางเทคนิค:
1. แรงดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 5.0 × 10 -6 Torr
2. ใช้ความดันสูญญากาศ: 1.0 × 10 -4 Torr.
3. สูบน้ำลงเวลา: ตั้งแต่ 1 atm ไปจนถึง 1.0 x 10 -4 Torr≤3นาที (อุณหภูมิห้องแห้งและสะอาด)
4. วัสดุที่ทำให้เกิดการระเหย (metaping): Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... เป็นต้น
5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
เครื่องเคลือบสูญญากาศประกอบด้วยระบบที่สมบูรณ์แบบที่ระบุด้านล่าง:
1. ห้องสุญญากาศ
1.1 ขนาด: เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 1600 มม
ความสูงภายใน: 1600 มม
1.2 วัสดุ: สูญญากาศ SUS304 (SS41 เหล็กอ่อนสำหรับตัวเลือก)
ประตูและครีบ SUS304 (เหล็กอ่อน SS41 สำหรับตัวเลือก)
หอเสริมโครงสร้าง: เหล็กกล้าไร้สนิม SS41 มีการทาสีผิวเคลือบ
แชสซีแชสซีเหล็กกล้าไร้สนิม SS41 ที่มีการทาสีผิวเคลือบ
1.3 Evaporation Shield: SUS304
1.4 หน้าต่างดู: บนประตูห้อง
1.5 วาล์วระบายอากาศสูญญากาศ (รวมทั้งตัวกั้น)
1.6 ประตู: วัสดุ SUS304
2. ปั๊มสูญญากาศแบบรูจิ่ง (ชุดปั๊มสำรอง)
3. ระบบปั๊มสูญญากาศสูง (Diffusion Pump + อุปกรณ์ดักจับความเย็น)
4. ระบบควบคุมและปฏิบัติการไฟฟ้า - PLC + Touch Screen
4.1 วงจรหลัก: ไม่มีสวิตช์เครื่องฟิวส์, สวิทช์แม่เหล็กไฟฟ้า, C / T ในชุดข้อมูล
4.2 พลังงานการระเหย: 35kVA
4.3 ระบบควบคุมการระเหย
4.4 ระบบปฏิบัติการ: Touch Screen + PLC, ควบคุมสูตรและบันทึกข้อมูล, ปิดอัตโนมัติ, การอพยพอัตโนมัติ, เคลือบด้วยระบบอัตโนมัติ
4.5 ระบบวัดแรงดันสูญญากาศ
เครื่องวัดสุญญากาศ: Pirani + Penning gauge
เครื่องวัดอุณหภูมิ: 760 แรงบิด ~ 5 * 10 -4 แรง บิด
4.6 ระบบเตือนภัย: แรงดันลมอัด, การไหลของน้ำหล่อเย็น, การทำงานผิดพลาด
4.7 ตัวบ่งชี้กระแสไฟ: ไฟแสดงสถานะแรงดันและตัวบ่งชี้กระแสโหลด
5 . Deposition System
5.1 แหล่งการระเหยของแสงทังสเตน
5.2 วัสดุการระเหยความร้อน: สาย, แหวน, แท่ง ฯลฯ
6. ระบบย่อย
6.1 ระบบควบคุมแรงดันลมแบบกดลม
6.2 ระบบน้ำหล่อเย็น: ท่อน้ำไหลและระบบวาล์วสวิตช์
6.3 Polycold (-120 ~ -145 ℃) Brooks Cryopump สำหรับตัวเลือก
เครื่องอัดอากาศ: 5 ~ 8kg / cm2
น้ำหล่อเย็น: น้ำในอุณหภูมิ: 20 ~ 25 ℃, 200 ลิตร / นาที,
ความดันน้ำ: 2 ~ 3 กก. / ซม.
กำลังไฟ: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 140kVA
พื้นที่ติดตั้ง: (L * W * H) 6500 * 5500 * 2700 มม
ท่อไอเสีย: ระบายอากาศสำหรับปั๊มกล
อื่น ๆ 2 ประตูแบบสุญญากาศ Metallizing Equipmen รุ่น t:
รุ่น | ขนาด (mm) | Substrate Jigs (จำนวน) | กำลังการระเหย (kVA) | Plasma (kVA) | รอบเวลา | พลังงานไฟฟ้า |
RTEP1012 | Φ1000xH1200 | 6,8,10 | 20 | 7 | 10 '~ 15' ขึ้นอยู่กับผลิตภัณฑ์ | 3Phase / AC380V, 50HZ 3Ph, 220 ถึง 440V, 60HZ |
RTEP1416 | Φ1400xH1600 | 6, 8,16 | 30 | 7 | ||
RTEP1418 | Φ1400xH1800 | 6,16 | 35 | 10 | ||
RTEP1616 | Φ1600xH1600 | 8.16 | 35 | 10 | ||
RTEP1618 | Φ1600xH1800 | 8.16 | 35 | 10 | ||
RTEP1820 | Φ1800xH2000 | 6 | 40 | 10 | ||
RTEP2022 | Φ2000xH2200 | 10,12,16 | 40 | 10 |