นาฬิกาสาย สูญญากาศเคลือบอุปกรณ์ MF / DC Sputtering Cathodes
สายพานสูญญากาศเคลือบอุปกรณ์
คำสำคัญ: PVD Hard Coatings, กระบวนการ PECVD, ฟิล์ม DLC, เพชรเช่นเดียวกับฟิล์มคาร์บอน, ฟิล์ม Sputtering Optical, Gencoa Magnetron Sputtering Cathode, แหล่งไอออน, PA PVD
RTAC950-SP คุณสมบัติการออกแบบ:
ข้อกำหนดทางเทคนิค
1. ความดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 8.0 * 10 - 4 Pa;
3. สูบน้ำลงเวลา: ตั้งแต่ atm ถึง 1.0 × 10 - 3 Pa≤15นาที (อุณหภูมิห้อง, แห้ง, ห้องที่สะอาดและว่างเปล่า)
4. แหล่งที่มาของการสะสม: cathode magnetron spuntering Gencoa, cathode arcelled, แหล่งกำเนิดไอออน
5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
6. การทำความร้อน: ตั้งแต่อุณหภูมิห้องจนถึงสูงสุด 500 ℃,
9. แหล่งไอออนสำหรับกระบวนการ PECVD และ PA PVD
เครื่องเคลือบสูญญากาศประกอบด้วยระบบที่สมบูรณ์แบบที่ระบุด้านล่าง:
1. ห้องสุญญากาศ
1.1 ขนาด: ลึก 950 มม
ความสูงภายใน: 1350 มม
1.2 วัสดุ: ช่องสูญญากาศ SUS304
ประตูและครีบ SUS304
หอเสริมโครงสร้าง: เหล็กกล้าไร้สนิม SS41 มีการทาสีผิวเคลือบ
แชสซีแชสซีเหล็กกล้าไร้สนิม SS41 ที่มีการทาสีผิวเคลือบ
1.3 Chamber Shield: SUS304
1.4 หน้าต่างดู: บนประตูห้อง -2
1.5 วาล์วระบายอากาศสูญญากาศ (รวมทั้งตัวกั้น)
1.6 ประตู: 2 ชุดด้านหน้าและด้านหลังวัสดุ SUS304
2. เครื่องสูบน้ำสูญญากาศหยาบ:
น้ำมันปั๊มสูญญากาศโรตารี่ใบพัด + โฮลดิ้งปั๊ม
3. เครื่องสูบน้ำสูญญากาศสูง:
Turbo Molecular Pump - 2 ชุด
4. ระบบควบคุมและปฏิบัติการไฟฟ้า - PLC + ระบบสัมผัสหน้าจอ:
ซัพพลายเออร์:
PLC: มิตซูบิชิ, รุ่น: FX-IN60MR-001 SERIES
ส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์: SCHNEIDER, OMRON
ระบบป้องกันความปลอดภัย: interlocks ความปลอดภัยจำนวนมากเพื่อป้องกันผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์ (น้ำก๊าซปัจจุบันอุณหภูมิ ฯลฯ )
ระบบกระบวนการเคลือบผิว : กระบวนการอัตโนมัติและการควบคุม บันทึกไว้ในหน่วยความจำอัตโนมัติเป็นเวลา 3 เดือน ข้อมูลการเคลือบสูตรพิเศษ: การทำงานของกระแส / แรงดันไฟฟ้าเป้าหมาย, การไหลของมวล, ความดันสูญญากาศ, อุณหภูมิ, เวลาในการเคลือบจะถูกบันทึกไว้เพื่อการวิเคราะห์เพื่อเพิ่มคุณภาพของการเคลือบ
4.1 วงจรหลัก: ไม่มีสวิตช์เครื่องฟิวส์, สวิทช์แม่เหล็กไฟฟ้า, C / T ในชุดข้อมูล
4.2 แหล่งจ่ายไฟ: กำลังสปิตเซอร์แบบ MF + กำลังไฟ DC Arc + แหล่งจ่ายไฟแบบ Bias
4.3 ระบบควบคุมการสะสม
4.4 ระบบปฏิบัติการ: Touch Screen + PLC, ควบคุมสูตรและบันทึกข้อมูล, ปิดอัตโนมัติ, การอพยพอัตโนมัติ, เคลือบด้วยระบบอัตโนมัติ
4.5 ระบบการวัด
เครื่องวัดสุญญากาศ: Pirani + Penning gauge + เครื่องวัดสูญญากาศแบบครบวงจร - แบรนด์ในยุโรป
อุปกรณ์วัดอุณหภูมิ: เทอร์โมคัปเปิ้ล
MFC: ตัวควบคุมการไหลของมวล (4 วิธี),
4.6 ระบบเตือนภัย: แรงดันลมอัด, การไหลของน้ำหล่อเย็น, การทำงานผิดพลาด
4.7 ตัวบ่งชี้กระแสไฟ: ไฟแสดงสถานะแรงดันและตัวบ่งชี้กระแสโหลด
5 . Deposition System
5.1 แหล่งที่มาของการสะสม: สปัตเตอร์แคโทด + แหล่งที่มาของ Arc + แหล่งไอออน
5.2 วัสดุการสะสม: ITO, ไทเทเนียม, โครเมี่ยม, อลูมิเนียม, สเตนเลส, ไทเทเนียมเป็นต้น
6. ระบบย่อย
6.1 ระบบควบคุมแรงดันลมแบบกดลม
6.2 ระบบน้ำหล่อเย็น: ท่อน้ำไหลและระบบวาล์วสวิตช์
7. สภาพแวดล้อมในการทำงาน
เครื่องอัดอากาศ: 5 ~ 8kg / cm2
น้ำหล่อเย็น: น้ำในอุณหภูมิ: 20 ~ 25 ℃, 200 ลิตร / นาที,
ความดันน้ำ: 2 ~ 3 กก. / ซม.
กำลังไฟ: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, การใช้พลังงานเฉลี่ย: 60KW
พื้นที่ติดตั้ง: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950 มม
ท่อไอเสีย: ระบายอากาศสำหรับปั๊มกล
การประยุกต์ใช้งาน
กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้มอบโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมด
