ชิ้นส่วนโลหะสีน้ำเงินแมกนีตรอนสปัตเตอริงเครื่องเคลือบ MF IP อุปกรณ์การชุบ PVD สีน้ำเงิน

ชิ้นส่วนโลหะสีน้ำเงิน MF Sputtering System เป็นเครื่องรวบรวมแหล่งสะสมหลายแหล่งรวมกับกราไฟท์ทั่วไปเจ็ทแบล็กสีน้ำเงินสี ฯลฯ ตกแต่งบนชิ้นส่วนโลหะวัตถุสแตนเลส โดยเฉพาะอย่างยิ่งใช้สำหรับสินค้าหรูหราระดับไฮเอนด์เช่น: อิเล็กทรอนิกส์: สมาร์ทโฟน, กล้อง, แล็ปท็อป, กอล์ฟ, ช้อน, ส้อม, มีด, มือจับประตู, faucets; เครื่องประดับของแหวนนิ้ว, สร้อยคอ, หูแหวน, กำไล ฯลฯ

ชิ้นส่วนโลหะสีฟ้าระบบ MF Sputtering มีแหล่งสะสมหลายแหล่ง:
Steered Circular Arc source สำหรับการระเหยของโลหะแข็ง;

2 คู่ของ MF แคโทดสปัตเตอริ่งที่ไม่สมดุลสำหรับการสะสมชั้นฟิล์มบางของกราไฟท์

Bias Power Supply สำหรับ ion bomboardment สร้างพื้นที่พลาสม่าสำหรับการบำบัดล่วงหน้า

หน่วยแหล่งกำเนิดไอออนเชิงเส้นแบบแอโนด (สำหรับอุปกรณ์เสริม) การประมวลผล PACVD และ PECVD

Cryopump (Polycold) สำหรับการกลั่นตัวของโมเลกุลน้ำ (สำหรับอุปกรณ์เสริม)

MF Sputtering คืออะไร

เมื่อเปรียบเทียบกับ DC และ RF sputtering Mid-Frequency Sputtering ได้กลายเป็นเทคนิคสปัตเตอร์ฟิล์มบางหลักสำหรับการผลิตจำนวนมากของการเคลือบโดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการสะสมฟิล์มของการเคลือบฟิล์มอิเล็กทริกและไม่นำไฟฟ้าบนพื้นผิวเช่นการเคลือบแสง ฟิล์มคอมโพสิตวัสดุ ฯลฯ

มันกำลังแทนที่ RF sputtering เนื่องจากมันทำงานด้วย kHz มากกว่า MHz สำหรับอัตราการสะสมที่เร็วกว่ามากและยังสามารถหลีกเลี่ยงพิษเป้าหมายในระหว่างการสะสมฟิล์มบาง ๆ เช่น DC

MF สปัตเตอร์มีเป้าหมายอยู่เสมอด้วยสองชุด สองแคโทดใช้กับกระแส AC สลับไปมาระหว่างกันซึ่งทำความสะอาดพื้นผิวเป้าหมายด้วยการกลับด้านแต่ละครั้งเพื่อลดประจุที่เกิดขึ้นบนไดอิเล็กตริกที่นำไปสู่การเกิดประกายไฟซึ่งสามารถพ่นหยดลงในพลาสม่า ซึ่งเป็นสิ่งที่เราเรียกว่าเป้าหมายการเป็นพิษ

ประสิทธิภาพของระบบสปัตเตอริง MF

1. ความดันสูญญากาศที่ดีที่สุด: ดีกว่า 5.0 × 10 ^{- 6} Torr

2. ความดันสูญญากาศในการใช้งาน: 1.0 × 10 ^{- 4} Torr

3. เวลาสูบน้ำ: จาก 1 atm ถึง 1.0 × 10 ^{- 4} Torr≤ 3 นาที (อุณหภูมิห้อง, แห้ง, ห้องสะอาดและว่างเปล่า)

4. วัสดุ Metalizing (สปัตเตอร์ + Arc ระเหย): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, ฯลฯ

5. รุ่นการทำงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง

โครงสร้างระบบ MF สปัตเตอร์

เครื่องเคลือบสูญญากาศมีระบบเสร็จสมบูรณ์ที่สำคัญด้านล่าง:

1. ห้องสูญญากาศ

2. ระบบปั๊มสูญญากาศ Rouhging (แพคเกจสำรองปั๊ม)

3. ระบบปั๊มสูญญากาศสูง (Magnetic Molecular Pump)

4. ระบบควบคุมไฟฟ้าและระบบปฏิบัติการ

5. ระบบสิ่งอำนวยความสะดวก Auxiliarry (ระบบย่อย)

6. ระบบการสะสม: แคโทด MF สปัตเตอร์, แหล่งจ่ายไฟ MF, อคติแหล่งจ่ายไฟไอออนสำหรับตัวเลือก

ชิ้นส่วนโลหะสีฟ้าตกแต่ง MF ระบบสปัตเตอร์ขนาด:

ขนาดภายในห้อง: Dia 1200 mm ~ 1600mm
ความสูงภายในห้อง: 1250mm ~ 1300mm

ขนาดเครื่องที่กำหนดเองนั้นยังมีอยู่ตามความต้องการ specular ของผลิตภัณฑ์ 3D

MF Sputtering System ข้อมูลจำเพาะ RTAC1250-SPMF

กรุณาติดต่อเราสำหรับรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology ได้รับเกียรติให้บริการโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจร