รายละเอียด:
เครื่องเคลือบโลหะสูญญากาศ RTEP1616-SP ได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับ EMI ป้องกันฟิล์มบางและการสะสมของฟิลม์ NCVM ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์โทรคมนาคม, คอมพิวเตอร์, โน๊ตบุ๊ค, อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์, เครื่องใช้ในบ้าน, การบินและทหาร
ลูกค้าของเราคือ: Sumgsung, Apple, Lenovo, Huawei ผู้ผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางห้อง 1600 มม. และความสูง 1600 มม. สามารถรองรับผลิตภัณฑ์ได้หลากหลาย
คุณสมบัติของ EMI Shielding Film
1) ความหนาของฟิล์ม: 1.5 ~ 3 ไมครอนขึ้นอยู่กับความต้องการ
2) ความต้านทานของฟิล์ม: (โอห์ม) ดีกว่า0.5Ω
3) การยึดเกาะ: เทป 3M810> 5B
กระบวนการเคลือบฟิล์มป้องกัน EMI
4) DC Sputtering สแตนเลส
5) การสะสมทองแดงโดยการระเหยด้วยความร้อน
6) DC สปัตเตอร์สแตนเลส, ปกเต็มบนชั้นฟิล์ม Cu
คุณสมบัติของ Metalizer
1) โครงสร้าง 2 ประตูและความเร็วในการสูบน้ำที่รวดเร็วเพื่อให้ได้ผลผลิตสูง
2) แผงหน้าจอสัมผัสที่ใช้งานง่ายพร้อมการควบคุม PLC
3) การออกแบบโปรแกรมซอฟต์แวร์ที่เป็นมิตรกับมนุษย์เพื่อการผลิตที่มั่นคงและมีคุณภาพสูง
4) อัตราการใช้เป้าหมายที่สูงขึ้นทำให้มั่นใจได้ว่าต้นทุนการผลิตต่ำ
5) ความสม่ำเสมอที่ดีและการยึดเกาะที่ดีเยี่ยม
6) แนวคิดการออกแบบขั้นสูงเพื่อประสิทธิภาพที่ดีขึ้นเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตและอัตราที่เหมาะสม
7) อุปกรณ์แหล่งกำเนิดไอออนสำหรับการทำความสะอาดพลาสม่าและการทำกิจกรรมพื้นผิวเพื่อปรับปรุงการยึดเกาะ
PVD สูญญากาศ Metallizing ข้อดี:
เสร็จสิ้นการฝากโดยใช้กระบวนการสีเขียวเป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมปลอดมลภาวะ;
ประสิทธิภาพสูงและความสม่ำเสมอที่ยอดเยี่ยม
ปริมาณการผลิตสูงต้นทุนต่ำทางออกที่ดีสำหรับความต้องการการผลิตจำนวนมาก
ประเภท:
ข้อกำหนดทางเทคนิค:
1. ความดันสูญญากาศที่ดีที่สุด: ดีกว่า 5.0 × 10 -6 Torr
2. ความดันสูญญากาศในการใช้งาน: 1.0 × 10 -4 Torr
3. สูบน้ำเวลา: จาก 1 atm ถึง 1.0 × 10 -4 Torr≤5นาที (อุณหภูมิห้องแห้งห้องสะอาดและว่างเปล่า)
4. วัสดุ metalizing (การระเหย): สแตนเลส, ทองแดง
5. รุ่นการทำงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
เครื่องเคลือบสูญญากาศมีระบบเสร็จสมบูรณ์ที่สำคัญด้านล่าง:
1. ห้องสูญญากาศ
1.1 ขนาด: เส้นผ่านศูนย์กลางด้านใน 1600 มม
ความสูงด้านใน: 1600 มม
ความสูงที่เป็นประโยชน์: 1265 มม
ความสูงรวม: 1420 มม
1.2 วัสดุ: เครื่องดูดฝุ่น SUS304
บานประตูและหน้าแปลน SUS304
โครงสร้างห้องเสริมสร้าง: เหล็กอ่อน SS41 ด้วยการรักษาพื้นผิวทาสี
แชสซีแชมเบอร์ SS41 เหล็กอ่อนพร้อมการทาสีผิวสำเร็จ
1.3 โล่สปัตเตอร์และการระเหย: SUS304
1.4 หน้าต่างดู: ที่ประตูห้อง
1.5 วาล์วสุญญากาศสำหรับระบายห้อง (รวมถึงตัวเก็บเสียง)
1.6 ประตู: วัสดุ SUS304 ขนาดเส้นผ่าศูนย์กลาง 1600 มม. ความสูงภายใน: 1600 มม
1.7 ระบบขับเคลื่อนการสะสม: ศูนย์กลางการขับขี่สูงสุด 1400mm * 1265mm
1.8 การขับขี่มอเตอร์: 1 / 2HP
1.9 พลังการระเหย: 1 ชุด / ประตู
DC Sputtering Power: 1 ชุด
ขนาดแคโทดสปัตเตอร์: 125 * 1400 มม
2. ระบบสูบน้ำสูญญากาศ Rouhging
2.1 ปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุนน้ำมัน - เลย์โบลด์
a: ความเร็วสูบน้ำ: 640 m³ / ชม
2.2 Roots Pump - Leybold
a: ความเร็วสูบน้ำ: 4400 m³ / ชม
2.3 วาล์วสุญญากาศแบบหยาบ: แบบลม
2.4 สายท่อสูญญากาศ: วัสดุขนาด 6” และ 8” SUS304
2.5 วาล์วระบายสูญญากาศ: รุ่นแม่เหล็กไฟฟ้า 3/8”
3. ระบบปั๊มสูญญากาศสูง
3.1 ปั๊มกระจายน้ำมัน: RTDP-36
ความเร็วสูบน้ำ: 40000L / S
ข ความดันสุญญากาศขั้นสูง: ดีกว่า 10 - 7 Torr
ค. พลังงานความร้อน: 3 เฟส 21KW
d ปริมาณการใช้น้ำมัน: 9 ลิตร
3.2 กับดักความเย็น: 36”, น้ำหล่อเย็นกับน้ำมันไหลกลับ
3.3 วาล์วสูญญากาศสูง: ลม
3.4 Fore-line Valve: pneumatic
4. ระบบควบคุมไฟฟ้าและระบบปฏิบัติการ
4.1 วงจรหลัก: สวิตช์ตัดวงจรไม่มีฟิวส์, สวิตช์แม่เหล็กไฟฟ้า,
C / T ในประเภทชุด
4.2 พลังการระเหย
4.3 ระบบควบคุมการระเหย
4.4 Power Sputtering Power รุ่น DC
4.5 ระบบควบคุม: PLC + Touch Screen อัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
4.6 ระบบปฏิบัติการ: Touch Screen + Display
4.7 ระบบวัดความดันสุญญากาศ
เกจวัดสูญญากาศ: Leybold Center Two - 1 ชุด
เกจวัด Full Range: 760 Torr ~ 10 - 7 Torr - 1 ชุด
4.8 ระบบเตือนภัย:
ความกดอากาศต่ำกว่าปกติ: เสียงปลุก
การไหลของน้ำหล่อเย็นลดลง: เสียงปลุก
ความผิดพลาด: เสียงปลุก
4.9 ตัวบ่งชี้การใช้พลังงาน: ตัวบ่งชี้แรงดันไฟฟ้าและตัวบ่งชี้กระแสโหลด
5. ระบบย่อย
5.1 ระบบควบคุมวาล์วอัดอากาศ
5.2 ระบบน้ำหล่อเย็น: ท่อน้ำไหลและระบบสวิทช์วาล์ว
5.3 Polycold (-120 ~ -145 ℃) Cryopump - 1 ชุด
รุ่น: MaxCool- 2500L
โหลดสูงสุด :: 2500W
ความเร็วสูบน้ำ: 14000L / S
6. ระบบการสะสม
6.1 Sputtering Source
Sputtering Target” 125mm * 1400mm * 12 ~ 14mm - 1 ชุด
ข ชัตเตอร์ - 1 ชุด
ค. Mass Flow Controller: Ar gas - 1 ชุด
d แหล่งจ่ายไฟสปัตเตอร์: DC 60KW - 1 ชุด
6.2 แหล่งที่มาของการระเหย
แหล่งระเหยของทังสเตน
ข พาวเวอร์ซัพพลายการระเหย: 20kVA
ค. อุปกรณ์แหล่งกำเนิดไอออนและแหล่งจ่ายไฟ
7. สภาพแวดล้อมการทำงาน
อัดอากาศ: 5 ~ 8kg / cm 2
น้ำหล่อเย็น: อุณหภูมิของน้ำ: 20 ~ 25 ℃, 200 ลิตร / นาที
แรงดันน้ำ: 2 ~ 3 กก. / ซม. 2
พลังงาน: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 160kVA
พื้นที่ติดตั้ง: (L * W * H) 6500 * 5500 * 2700 มม
ไอเสีย: Vent สำหรับปั๊มเชิงกล
เราได้พยายามออกแบบและพัฒนากระบวนการเคลือบที่เหมาะสมที่สุดสำหรับชิ้นส่วน 3 มิติที่แตกต่างกันซึ่งตรงตามความต้องการการผลิตของลูกค้า ดังนั้นเราจึงนำเสนอโซลูชั่นการเคลือบแบบสมบูรณ์สำหรับการเคลือบอีเอ็ม
หากต้องการระบบการเคลือบที่กำหนดเองโปรดแบ่งปันความคิดและความคิดของคุณกับทีมงานของเราและส่งข้อมูลจำเพาะผลิตภัณฑ์ของคุณเราจะทำงานร่วมกันเพื่อแยกแยะทางออกที่ดีที่สุด
กรุณาติดต่อเราสำหรับรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology ได้รับเกียรติให้บริการโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจร
