เครื่องวัดการแผ่รังสีแสง / เครื่องแก้วสูญญากาศหลอดแก้ว
กระจกสะท้อนแสง lighiting ระเหยความร้อนเครื่องคุณสมบัติสูงมีดังนี้:
1 เคลือบด้านบนสำหรับความสม่ำเสมอสูงของฟิล์มฝาก
2. อุปกรณ์ต้นกำเนิดไอออนเพื่อทำความสะอาดพลาสม่าด้วยก๊าซ Ar เพื่อเพิ่ม ionizatio เพื่อให้ฟิล์มมีความแข็งแรง
3. อุปกรณ์ Polycold สำหรับอุปกรณ์เสริม (cryopump device สามารถลดรอบการผลิตได้อย่างมาก) เพื่อตรวจจับโมเลกุลของน้ำและละอองน้ำมันสำหรับสภาวะสูญญากาศสูง
4. แหล่งการระเหยมีตัวเลือกหลายตัว: E-beam Gun / Tungsten filament / หรือทั้งสองแหล่ง มีความยืดหยุ่นสำหรับวัสดุสะท้อนแสงต่างๆ
สภาพสูญญากาศสูงเพื่อนำวัสดุระเหยออกจากผิว
คุณสมบัติการออกแบบ:
ข้อกำหนดทางเทคนิค:
1. แรงดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 5.0 × 10 - 6 Torr
2. ใช้ความดันสูญญากาศ: 1.0 × 10-4 Torr.
3. สูบน้ำลงเวลา: ตั้งแต่ 1 atm ถึง 1.0 × 10 - 4 Torr≤3นาที (อุณหภูมิห้องแห้งและสะอาดห้อง)
4. วัสดุที่ทำให้เกิดการระเหย (metaping): Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... เป็นต้น
5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
เครื่องระเหยความร้อนแบบสะท้อนแสง
กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้มอบโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมด