มือจับประตูโลหะผสมสังกะสี แมกนีตรอนสปัตติ้งสูญญากาศเคลือบหน่วย: DC, MF, RF sputtering แคโทดสำหรับวัตถุประสงค์ R & D สามารถรับ monolayer ฟิล์มอิเล็กทริกฟิล์มคอมโพสิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชั้นฟิล์มคอมโพสิตและภาพยนตร์อิเล็กทริก ฯลฯ

มือจับประตูโลหะผสมสังกะสี Magnetron Sputtering หน่วยเคลือบสูญญากาศประสิทธิภาพทางเทคนิค:

1 ความดันสูญญากาศที่ดีที่สุด: ดีกว่า 5.0 × 10-6 Torr

2. ความดันสูญญากาศในการใช้งาน: 1.0 × 10-4 Torr

3. เวลาสูบน้ำ: จาก 1 atm ถึง 1.0 × 10-4 Torr≤ 3 นาที (อุณหภูมิห้องแห้งห้องสะอาดและว่างเปล่า)

4. วัสดุ metalizing (sputtering) Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... ฯลฯ

5. รุ่นการทำงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง

มือจับประตูโลหะผสมสังกะสีแมกนีตรอนสปัตเตอร์สูญญากาศโครงสร้างหน่วยเคลือบ

1. ห้องสูญญากาศ

2. ระบบปั๊มสูญญากาศ Rouhging (แพคเกจสำรองปั๊ม)

3. ระบบปั๊มสูญญากาศสูง (ปั๊มกระจาย)

4. ระบบควบคุมไฟฟ้าและระบบปฏิบัติการ

5. ระบบสิ่งอำนวยความสะดวก Auxiliarry (ระบบย่อย)

6. ระบบการสะสม