|
| ชื่อแบรนด์: | ROYAL |
| เลขรุ่น: | RTAC-SP |
| ขั้นต่ำ: | 1 ชุด |
| ราคา: | โปร่ง |
| เงื่อนไขการจ่ายเงิน: | L / C, D / A, D / P, T / T |
| ความสามารถในการจําหน่าย: | 12 ชุดต่อเดือน |
เครื่องเคลือบ Au Gold Magnetron บนแผ่นซิลิคอนเวเฟอร์สไลด์แก้วแผ่นเซรามิค
Au Gold Magnetron การพ่นบนซิลิคอนเวเฟอร์
สรุป:
คุณสมบัติการสปัทเตอร์ของทองคำ:
1. ชั้นยึดเป็นสิ่งสำคัญเพื่อเพิ่มพื้นผิวและการยึดเกาะของฟิล์มโลหะ Royal Technology ได้พัฒนาสูตรการเคลือบผิวที่ครบถ้วนขึ้นอยู่กับแอพพลิเคชั่นที่แตกต่างกันและสนับสนุนลูกค้าด้วยคำแนะนำอย่างมืออาชีพ
2. ความขรุขระ (RMS - รากเฉลี่ยสแควร์) <40Åคาดสำหรับส่วนใหญ่ของโปรแกรมประยุกต์ สำหรับการใช้งานสแกนบางอย่างอาจมีความขรุขระต่ำโดยทั่วไปประมาณ 1.5 ~ 4 นาโนเมตร
4. พื้นผิวที่มีการสึกกร่อนของทอง: พื้นผิวที่สะอาดจำเป็นสำหรับการใช้งานที่ใช้การปรับพื้นผิวทอง ขึ้นอยู่กับกระบวนการ PVD ที่ใช้ระดับของสูญญากาศในระบบความบริสุทธิ์เดิมของแหล่งทอง (มากกว่า 99.99% โดยทั่วไป)
คำสำคัญ: การสะสมฟิล์มบาง Au nano-gold, magnetron spattering ฟิล์มบาง ๆ , PVD gold sputtering, Gold Metallizing System
การใช้งาน:
ห้องปฏิบัติการของมหาวิทยาลัยแผนก R & D ของผู้ผลิตวัสดุโลหะ PVD ศูนย์บริการเคลือบสูญญากาศซึ่งส่วนใหญ่ใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าและวิทยาศาสตร์สำหรับตัวอย่างกล้องจุลทรรศน์เป็นต้น
ข้อกำหนดทางเทคนิค:
| MODEL | RTAC0808-SP |
| เทคโนโลยี | DC Sputtering + แหล่งไอออน (สำหรับตัวเลือก) |
| วัสดุ | สแตนเลส (S304) |
| ขนาดห้อง | Φ800 * H800mm |
| ประเภทของห้อง | กระบอกแนวตั้ง 1 ประตู |
| ระบบ ROTARY RACK | ขับขีปนาวุธ / กลาง |
| วัสดุที่ใช้ในการปันส่วน | ทอง, อลูมิเนียม, เงิน, ทองแดง, โครเมี่ยม, สแตนเลส, นิกเกิล, ไทเทเนี่ยม |
| แหล่งข้อมูลการหักล้าง | รูปทรงกระบอก / Planar Sputtering Cathodes: 2 หรือ 3 สำหรับตัวเลือก + แหล่งกำเนิด Arc 3 ตัว |
| การควบคุมก๊าซที่ทำปฏิกิริยา | MFC, 2/4 วิธี |
| ควบคุม | PLC (โปรแกรมควบคุม Logic Controller) + หน้าจอสัมผัส |
| PUMP SYSTEM | SV300B - 1 ชุด (Leybold) 300m³ / ชม |
| ปั๊มราก - 1 ชุด, 150 ลิตร / เอ | |
| ปั๊มโฮลดิ้ง - 1 ชุด, 60m³ / ชม | |
| Turbo Molecular Pump: - 1 ชุด, 3500 ลิตร / เอส | |
| แหล่งจ่ายไฟ | แหล่งจ่ายไฟอคติ: 1 * 24 KW กำลังสปิตเซอร์ไฟ DC: 2 * 24 กิโลวัตต์ |
| ระบบความปลอดภัย | interlocks ความปลอดภัยจำนวนมากเพื่อปกป้องผู้ประกอบการ และอุปกรณ์ |
| COOLING | รีไซเคิลน้ำหล่อเย็น |
| ร้อน | เครื่องทำความร้อน 9 กิโลวัตต์ |
| POWER ELECTRICAL | 480V / 3 เฟส / 60HZ (ตามมาตรฐาน USA) |
| 460V / 3 เฟส / 50HZ (ตามมาตรฐาน Asia) | |
| 380V / 3 เฟส / 50HZ (สอดคล้องกับ EU-CE) | |
| รอยเท้า | L3200 * * * * * * * * W2600 H2000mm |
| น้ำหนักรวม | 3.0 T |
| CYCLE TIME | 30 ~ 40 นาที (ขึ้นอยู่กับวัสดุรองพื้น, เรขาคณิตพื้นผิวและสภาวะแวดล้อม) |
| POWER MAX .. | 50KW |
| ประหยัดค่าใช้จ่ายโดยรวม (APPROX.) | 20KW |
PVD ชุบทอง
กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้มอบโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมด
