สรุป:

RTEP1616-SP เครื่องวัดสุญญากาศได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับอีเอ็มซีป้องกันฟิล์มบางและวัสดุฝังตัวของ NCVM fillm ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์สื่อสารคอมพิวเตอร์โน้ตบุ๊คอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภคอุปกรณ์ภายในบ้านอุปกรณ์การบินและอวกาศและสินค้าทางทหาร

ลูกค้าของเรา ได้แก่ ซัมซุงแอ็ปเปิ้ลเลโนโวผู้ผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ของหัวเว่ย

ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางของห้องมีขนาด 1600 มม. และสูง 1600 มม. สามารถรองรับความหลากหลายของผลิตภัณฑ์

คุณสมบัติฉายภาพยนตร์ของ EMI

1) ความหนาของฟิล์ม: 1.5 ~ 3 ไมครอนขึ้นอยู่กับความต้องการ

2) ความต้านทานฟิล์ม: (โอห์ม) ดีกว่า0.5Ω

3) การยึดเกาะ: เทป 3M810> 5B

EMI ป้องกันกระบวนการเคลือบฟิล์ม

4) DC Sputtering สแตนเลส

5) การสะสมของทองแดงโดยการระเหยความร้อน

6) DC Sputtering สแตนเลสฝาครอบเต็มรูปแบบบนชั้นฟิล์ม Cu

คุณสมบัติของ Metalizer ป้องกันด้วยคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้า

1) โครงสร้างแบบ 2 ประตูและความเร็วการสูบน้ำที่รวดเร็วสำหรับการผลิตที่มีประสิทธิภาพสูง
2) แผงควบคุมหน้าจอสัมผัสที่ใช้งานง่ายพร้อมปุ่มควบคุม PLC

3) การออกแบบโปรแกรมซอฟต์แวร์ที่เป็นมิตรกับมนุษยชาติเพื่อการผลิตที่มั่นคงและมีคุณภาพสูง

4) อัตราการใช้กำลังการผลิตสูงมากทำให้ต้นทุนการผลิตต่ำ

5) ความสม่ำเสมอที่ดีและการยึดเกาะที่ดีเยี่ยม

6) แนวคิดการออกแบบขั้นสูงเพื่อประสิทธิภาพที่ดีขึ้นเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตและอัตราที่มีคุณภาพ

7) อุปกรณ์ต้นกำเนิดไอออนสำหรับการทำความสะอาดพลาสมาและการรักษาพื้นผิวเพื่อปรับปรุงการยึดเกาะ

ข้อดีของ PVD Vacuum Metallizing:

เสร็จสิ้นการฝากโดยใช้กระบวนการสีเขียวเป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมปราศจากมลภาวะ
ประสิทธิภาพสูงและความสม่ำเสมอที่ยอดเยี่ยม
ผลิตปริมาณมากต้นทุนต่ำโซลูชันที่เหมาะสำหรับความต้องการในการผลิตขนาดใหญ่

ประเภท:

• แนวตั้ง, กระบอก, โครงสร้างแบบ 2 ประตู, ด้านหน้าเปิด

ข้อกำหนดทางเทคนิค:

• ประสิทธิภาพ

1. แรงดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 5.0 × 10 ^-6 Torr

2. ใช้ความดันสูญญากาศ: 1.0 × 10 ^-4 Torr

3. สูบน้ำลงเวลา: ตั้งแต่ 1 atm ไปจนถึง 1.0 x 10 ^-4 Torr≤5นาที (อุณหภูมิห้องแห้งและสะอาด)

4. Metalizing วัสดุ (evaporation): สแตนเลส, ทองแดง

5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง

• โครงสร้าง

เครื่องเคลือบสูญญากาศประกอบด้วยระบบที่สมบูรณ์แบบที่ระบุด้านล่าง:

1. ห้องสุญญากาศ

1.1 ขนาด: เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 1600 มม

ความสูงภายใน: 1600 มม

ความสูงที่เป็นประโยชน์: 1265mm

ความสูงทั้งหมด: 1420 มม

1.2 วัสดุ: ห้องสุญญากาศ SUS304

ประตูและครีบ SUS304

หอเสริมโครงสร้าง: เหล็กกล้าไร้สนิม SS41 มีการทาสีผิวเคลือบ

แชสซีแชสซีเหล็กกล้าไร้สนิม SS41 ที่มีการทาสีผิวเคลือบ

1.3 การฉีดพ่นและการระเหยของตัวทำละลาย: SUS304

1.4 หน้าต่างดู: บนประตูห้อง

1.5 วาล์วระบายอากาศสูญญากาศ (รวมทั้งตัวกั้น)

1.6 บานตู้: SUS304 วัสดุเส้นผ่านศูนย์กลาง 1600mm ความสูงภายใน: 1600mm

1.7 ระบบการขับขี่แบบ Deposition: ขับตรงกลางได้สูงสุด 1400mm * 1265mm

1.8 มอเตอร์ขับ: 1 / 2HP

1.9 พลังการระเหย: 1 ชุด / ประตู

DC Sputtering Power: 1 ชุด

สเปตัทแคโทดขนาด: 125 * 1400 มม

2. ระบบสูบจ่ายสุญญากาศ

2.1 ปั๊มสูญญากาศโรตารีโรตารีที่ปิดสนิทน้ำมัน - Leybold

a: ความเร็วในการสูบน้ำ: 640 m³ / ชม

2.2 รากปั๊ม - Leybold

a: ความเร็วในการสูบน้ำ: 4400 m³ / ชม

2.3 Roughing Valve Valve: รุ่นลม

2.4 สายท่อสูญญากาศ: วัสดุ SUS304 ขนาด 6 "และ 8"

2.5 วาล์วระบายอากาศสูญญากาศ: 3/8 "แบบแม่เหล็กไฟฟ้า

3. ระบบสูบน้ำสูญญากาศสูง

3.1 เครื่องกระจายน้ำมัน: RTDP-36

ความเร็วในการสูบน้ำ: 40000 ลิตร / เอ

ข แรงดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 10 ^{- 7} แรงม้า

ค กำลังทำความร้อน: 3 เฟส, 21 กิโลวัตต์

d ปริมาณน้ำมัน: 9 ลิตร

3.2 ดักเย็น: 36 "ระบายความร้อนด้วยน้ำหลังการไหลของน้ำมัน

3.3 วาล์วสูญญากาศสูง: นิวแมติก

3.4 วาล์ว Fore-line: นิวแมติก

4. ระบบควบคุมและการใช้ไฟฟ้า

4.1 วงจรหลัก: ไม่มีสวิตช์เครื่องฟิวส์, สวิทช์แม่เหล็กไฟฟ้า,
C / T ในชุดข้อมูล

4.2 Power ระเหย

4.3 ระบบควบคุมการระเหย

4.4 การสปัตเตอร์ไฟฟ้าแบบ DC

4.5 ระบบควบคุม: PLC + หน้าจอสัมผัสอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง

4.6 ระบบปฏิบัติการ: หน้าจอสัมผัส + จอแสดงผล

4.7 ระบบวัดแรงดันสูญญากาศ

เครื่องวัดสุญญากาศ: Leybold Center Two - 1 set

เครื่องวัดระยะเต็ม: 760 Torr ~ 10 ^{- 7} Torr - 1 ชุด

4.8 ระบบเตือนภัย:

แรงดันลมอัดลดลง: เสียงปลุก

การไหลของน้ำเย็นลดลง: เสียงปลุก

การทำงานผิดพลาด: เสียงปลุก

4.9 ตัวบ่งชี้กระแสไฟ: ตัวบ่งชี้แรงดันและตัวบ่งชี้กระแสโหลด

5. ระบบย่อย

ระบบควบคุมแรงดันลมอัดแบบ 5.1 Air Compressed Valve Control System

5.2 ระบบน้ำหล่อเย็น: ท่อน้ำไหลและระบบวาล์วสวิตช์

5.3 Polycold (-120 ~ -145 ℃) Cryopump - 1 ชุด

รุ่น: MaxCool - 2500L

กำลังรับน้ำหนักสูงสุด :: 2500W

ความเร็วในการสูบน้ำ: 14000 ลิตร / เอ

6. ระบบการสะสม

6.1 แหล่งกำเนิดสปัตเตอร์

Sputtering Target "125mm * 1400mm * 12 ~ 14 มม. - 1 ชุด

ข ชัตเตอร์ - 1 ชุด

ค ตัวควบคุมการไหลของมวล: แก๊ส Ar - 1 ชุด

d แหล่งจ่ายไฟสำหรับสปัตเตอร์: DC 60KW - 1 ชุด

6.2 แหล่งการระเหย

แหล่งการระเหยของทังสเตน

ข แหล่งจ่ายการระเหย: 20kVA

ค อุปกรณ์ต้นกำเนิดไอออนและแหล่งจ่ายไฟ

7. สภาพแวดล้อมในการทำงาน

เครื่องอัดอากาศ: 5 ~ 8 กก. / เซนติเมตร ²

น้ำหล่อเย็น: น้ำในอุณหภูมิ: 20 ~ 25 ℃, 200 ลิตร / นาที,
ความดันน้ำ: 2 ~ 3 กก. / ซม. ²

กำลังไฟ: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 160kVA

พื้นที่ติดตั้ง: (L * W * H) 6500 * 5500 * 2700 มม

ท่อไอเสีย: ระบายอากาศสำหรับปั๊มกล

เราได้พยายามออกแบบและพัฒนากระบวนการเคลือบที่เหมาะสมที่สุดสำหรับชิ้นส่วน 3D ต่างๆซึ่งตรงตามข้อกำหนดการผลิตของลูกค้าของเรา ดังนั้นเราจึงนำเสนอโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมดสำหรับการเคลือบอีเอ็มไอ

หากต้องการระบบเคลือบแบบกำหนดเองโปรดแบ่งปันความคิดและความคิดของคุณกับทีมของเราและส่งข้อกำหนดผลิตภัณฑ์ของคุณเราจะทำงานร่วมกันเพื่อค้นหาแนวทางที่ดีที่สุด

กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้มอบโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมด