ระบบการสะสมทับถมแมกนีตรอนความหนาแน่นสูงสำหรับฟิล์มองค์ประกอบน้ำ, เครื่องสปัตเตอร์ PECVD
1 ชุด
MOQ
negotiable
ราคา
High Density Magnetron Sputtering  Deposition System For Hydrophobic Composition Film, PECVD Sputtering Machine
คุณสมบัติ คลังภาพ รายละเอียดสินค้า ขออ้าง
คุณสมบัติ
ข้อมูลพื้นฐาน
สถานที่กำเนิด: ทำในประเทศจีน
ชื่อแบรนด์: ROYAL
ได้รับการรับรอง: CE certification
หมายเลขรุ่น: RTSP1200
แสงสูง:

silver plating machine

,

ion plating system

การชำระเงิน
รายละเอียดการบรรจุ: มาตรฐานการส่งออกบรรจุในกล่อง / กล่องใหม่เหมาะสำหรับการขนส่งทางทะเล / ทางอากาศในระยะทางไกลและการขนส่ง
เวลาการส่งมอบ: 16 สัปดาห์
เงื่อนไขการชำระเงิน: L / C, D / A, D / P, T / T
สามารถในการผลิต: 6 ชุดต่อเดือน
ข้อมูลจำเพาะ
แหล่งที่มาของการสะสม: ยื่นแม่เหล็กสมดุล / ไม่สมดุล
แอพพลิเคชัน: ยานยนต์, เซมิคอนดักเตอร์, การเคลือบ SiC, การสะสมฟิล์ม DLC,
ความหนาของฟิล์ม: ช่วงจาก 100 นาโนเมตรถึง12μmความอดทนความหนา± 5%
ที่ตั้งโรงงาน: เมืองเซี่ยงไฮ้ ประเทศจีน
ที่ตั้งโรงงาน: เมืองเซี่ยงไฮ้ ประเทศจีน
บริการทั่วโลก: Poland - Europe; โปแลนด์ - ยุโรป; Iran- West Asia & Middle East, Turkey, India,
บริการทั่วโลก: Poland - Europe; โปแลนด์ - ยุโรป; Iran- West Asia & Middle East, Turkey, India,
บริการฝึกอบรม: การทำงานของเครื่องจักร บำรุงรักษา กระบวนการเคลือบ สูตร โปรแกรม
บริการฝึกอบรม: การทำงานของเครื่องจักร บำรุงรักษา กระบวนการเคลือบ สูตร โปรแกรม
การรับประกัน: การรับประกันแบบจำกัด 1 ปี ฟรีตลอดอายุการใช้งานสำหรับเครื่อง
OEM & ODM: พร้อมให้บริการ เราสนับสนุนการออกแบบและการผลิตตามสั่ง
OEM & ODM: พร้อมให้บริการ เราสนับสนุนการออกแบบและการผลิตตามสั่ง
รายละเอียดสินค้า
ฟิล์มองค์ประกอบ Hydrophobic และฟิล์มอื่น ๆ ที่ใช้งานได้ Sputtering Deposition System

การใช้งาน:

เครื่อง RTSP1213 เป็นระบบสปัตเตอร์แบบแบทช์สามารถฝากสารเคลือบแข็งต่างๆสารเคลือบผิวอ่อนฟิล์มผสมและฟิล์มหล่อลื่นที่เป็นของแข็งบนวัสดุพื้นผิวโลหะและที่ไม่ใช่โลหะ นำมาประยุกต์ใช้กับอุตสาหกรรมยานยนต์ไฮโดรเจนเซลล์เชื้อเพลิงผลิตภัณฑ์เล็คโทนิคส์การบินและอวกาศและอุตสาหกรรมพลังงานอื่น ๆ

คุณสมบัติ:

เพื่อปรับปรุงการนำของผิว

ความต้านทานการกัดกร่อนสูง

ความต้านทานต่อการสึกหรอสูง

ความแข็งสูง

ฟิล์มไฮโดรโฟบิกและฟิล์มชนิดอื่น ๆ

ใช้ได้สำหรับการเคลือบผสม: ฟิล์มโลหะและอโลหะ

ความหนาของฟิล์มตั้งแต่ 100nm ถึง12μm, ความทนทานต่อความหนา± 5%
การยึดเกาะที่แข็งแรง

ส่วนที่ทำอุณหภูมิต่ำช่วยลดความกระด้างของพื้นผิว

ประเภท:

การวางแนวแนวตั้งโครงรูปทรงหลายเหลี่ยม 2 ประตู (ด้านหน้าและด้านหลัง)

คุณสมบัติ:

  • ระบบที่เป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อมไม่มีน้ำเสียจากโรงงานอุตสาหกรรมมลพิษทางอากาศและเสียงรบกวน
  • การใช้งานง่าย: หน้าจอสัมผัส + PLC control และโปรแกรมซอฟต์แวร์ที่ไม่เหมือนใครสำหรับการทำงานแบบสัมผัสเพียงครั้งเดียว
  • เข้าสู่ระบบและสำรองข้อมูลได้ถึง 10 สูตร การทำซ้ำและความหลากหลายสูง
  • การออกแบบพิเศษของระบบ Carousel เพื่อความสม่ำเสมอในการสะสมฟิล์มสูง
  • ผลผลิตสูงและมีคุณภาพสูง
  • ระบบมีเสถียรภาพและเชื่อถือได้ใช้เวลา 365 วัน * 24 ชั่วโมง (การบำรุงรักษาและการซ่อมแซมตลอดเวลา)
  • ระบบสูบน้ำประสิทธิภาพ: สายท่อสูญญากาศที่สั้นลงเพื่อเพิ่มความเร็วท่อด้วยปั๊มแบรนด์ยุโรปที่รู้จักกันดี
  • การออกแบบที่กะทัดรัดมีพื้นที่ติดตั้งขั้นต่ำ

ข้อกำหนดทางเทคนิค

  • ประสิทธิภาพ

1. แรงดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 8.0 * 10 -5 Pa;

  • ฐานความดันสุญญากาศ: 3.0 * 10 - 4 Pa

3. สูบน้ำลงเวลา: ตั้งแต่ atm ถึง 1.0 × 10 - 3 Pa≤15นาที (อุณหภูมิห้อง, แห้ง, ห้องที่สะอาดและว่างเปล่า)

4. แหล่งที่มาของการสะสม: คาปาซิเตอร์แรงดันสมดุล / ไม่สมดุล

5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง

6. การทำความร้อน: ตั้งแต่อุณหภูมิห้องจนถึงสูงสุด 450 ℃,

7. การทำความสะอาดด้วยพลาสม่าและการสะสมของพลาสม่า: แหล่งไอโอดีนที่เป็นเส้นใยแอโนด

8. ปิดวงแหวนแม่เหล็ก - ยื่น (ไม่สมดุล / ความสมดุลของคาโทด)

9. Bias แหล่งจ่ายไฟสำหรับการปลดปล่อยก๊าซเรืองแสง

  • โครงสร้าง

เครื่องเคลือบสูญญากาศประกอบด้วยระบบที่สมบูรณ์แบบที่ระบุด้านล่าง:

1. ห้องสุญญากาศ
1.1 ขนาด: เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 1200 มม

ความสูงภายใน: 1300 มม

1.2 วัสดุ: ช่องสูญญากาศ SUS304

ประตูและครีบ SUS304

หอเสริมโครงสร้าง: เหล็กกล้าไร้สนิม SS41 มีการทาสีผิวเคลือบ

แชสซีแชสซีเหล็กกล้าไร้สนิม SS41 ที่มีการทาสีผิวเคลือบ

1.3 สปัตเตอร์โล่: SUS304

1.4 หน้าต่างดู: บนประตูห้อง - 4 ชุด (2 ที่ประตูแต่ละบาน)

1.5 วาล์วระบายอากาศสูญญากาศ (รวมทั้งตัวกั้น)

1.6 ประตู: วัสดุ SUS304

2. ระบบปั๊มสูญญากาศ Ghing Vacuum :


ปั๊มสูญญากาศโรตารี่ปั๊มโรตารี่ + ปั๊มราก + ปั๊มโฮลดิ้ง (Leybold)

3. เครื่องสูบน้ำสูญญากาศสูง :

แม่เหล็กโมเลกุลระงับ (Leybold)

  • วาล์วประตู - 2 ชุด

4. ระบบควบคุมและปฏิบัติการไฟฟ้า - PLC + Touch Screen

4.1 วงจรหลัก: ไม่มีสวิตช์เครื่องฟิวส์, สวิทช์แม่เหล็กไฟฟ้า, C / T ในชุดข้อมูล

4.2 แหล่งจ่ายไฟสปัตเตอร์ + แหล่งจ่ายไฟของแหล่งจ่ายไอออน + แหล่งจ่ายไฟ (Bias Power Supply)

4.3 ระบบควบคุมการตกตะกอน

4.4 ระบบปฏิบัติการ: Touch Screen + PLC, ควบคุมสูตรและบันทึกข้อมูล, ปิดอัตโนมัติ, การอพยพอัตโนมัติ, เคลือบด้วยระบบอัตโนมัติ

4.5 ระบบการวัด

เครื่องวัดสุญญากาศ: Pirani + Penning gauge + เครื่องวัดสูญญากาศแบบครบวงจร - แบรนด์ในยุโรป

อุปกรณ์วัดอุณหภูมิ: เทอร์โมคัปเปิ้ล
MFC: ตัวควบคุมการไหลของมวล (4 วิธี), โหมดการแสดงผลแบบดิจิตอล - แบรนด์ในยุโรป

4.6 ระบบเตือนภัย: แรงดันลมอัด, การไหลของน้ำหล่อเย็น, การทำงานผิดพลาด

4.7 ตัวบ่งชี้กระแสไฟ: ไฟแสดงสถานะแรงดันและตัวบ่งชี้กระแสโหลด

5 . Deposition System

5.1 แหล่งที่มาของการสลายตัว: คาโทเท็ตปะเก็นแหล่งกำเนิดไอออน - แบรนด์ในยุโรป

5.2 วัสดุการสะสม: เป้าหมายคาร์บอน

6. ระบบย่อย

6.1 ระบบควบคุมแรงดันลมแบบกดลม

6.2 ระบบน้ำหล่อเย็น: ท่อน้ำไหลและระบบวาล์วสวิตช์

7. สิ่งแวดล้อมการทำงาน

เครื่องอัดอากาศ: 5 ~ 8kg / cm2

น้ำหล่อเย็น: น้ำในอุณหภูมิ: 20 ~ 25 ℃, 200 ลิตร / นาที,
ความดันน้ำ: 2 ~ 3 กก. / ซม.

กำลังไฟ: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, การใช้พลังงานเฉลี่ย: 40KW

พื้นที่ติดตั้ง: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm

ท่อไอเสีย: ระบายอากาศสำหรับปั๊มกล

กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้มอบโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมด

แนะนำผลิตภัณฑ์
ติดต่อกับพวกเรา
แฟกซ์ : 86-21-67740022
อักขระที่เหลืออยู่(20/3000)