|
| ชื่อแบรนด์: | ROYAL |
| เลขรุ่น: | RTSP1200 |
| ขั้นต่ำ: | 1 ชุด |
| ราคา: | โปร่ง |
| เงื่อนไขการจ่ายเงิน: | L / C, D / A, D / P, T / T |
| ความสามารถในการจําหน่าย: | 6 ชุดต่อเดือน |
การใช้งาน:
เครื่อง RTSP1213 เป็นระบบสปัตเตอร์แบบแบทช์สามารถฝากสารเคลือบแข็งต่างๆสารเคลือบผิวอ่อนฟิล์มผสมและฟิล์มหล่อลื่นที่เป็นของแข็งบนวัสดุพื้นผิวโลหะและที่ไม่ใช่โลหะ นำมาประยุกต์ใช้กับอุตสาหกรรมยานยนต์ไฮโดรเจนเซลล์เชื้อเพลิงผลิตภัณฑ์เล็คโทนิคส์การบินและอวกาศและอุตสาหกรรมพลังงานอื่น ๆ
คุณสมบัติ:
เพื่อปรับปรุงการนำของผิว
ความต้านทานการกัดกร่อนสูง
ความต้านทานต่อการสึกหรอสูง
ความแข็งสูง
ฟิล์มไฮโดรโฟบิกและฟิล์มชนิดอื่น ๆ
ใช้ได้สำหรับการเคลือบผสม: ฟิล์มโลหะและอโลหะ
ความหนาของฟิล์มตั้งแต่ 100nm ถึง12μm, ความทนทานต่อความหนา± 5%
การยึดเกาะที่แข็งแรง
ส่วนที่ทำอุณหภูมิต่ำช่วยลดความกระด้างของพื้นผิว
ประเภท:
การวางแนวแนวตั้งโครงรูปทรงหลายเหลี่ยม 2 ประตู (ด้านหน้าและด้านหลัง)
คุณสมบัติ:
ข้อกำหนดทางเทคนิค
1. แรงดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 8.0 * 10 -5 Pa;
3. สูบน้ำลงเวลา: ตั้งแต่ atm ถึง 1.0 × 10 - 3 Pa≤15นาที (อุณหภูมิห้อง, แห้ง, ห้องที่สะอาดและว่างเปล่า)
4. แหล่งที่มาของการสะสม: คาปาซิเตอร์แรงดันสมดุล / ไม่สมดุล
5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
6. การทำความร้อน: ตั้งแต่อุณหภูมิห้องจนถึงสูงสุด 450 ℃,
7. การทำความสะอาดด้วยพลาสม่าและการสะสมของพลาสม่า: แหล่งไอโอดีนที่เป็นเส้นใยแอโนด
8. ปิดวงแหวนแม่เหล็ก - ยื่น (ไม่สมดุล / ความสมดุลของคาโทด)
9. Bias แหล่งจ่ายไฟสำหรับการปลดปล่อยก๊าซเรืองแสง
เครื่องเคลือบสูญญากาศประกอบด้วยระบบที่สมบูรณ์แบบที่ระบุด้านล่าง:
1. ห้องสุญญากาศ
1.1 ขนาด: เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 1200 มม
ความสูงภายใน: 1300 มม
1.2 วัสดุ: ช่องสูญญากาศ SUS304
ประตูและครีบ SUS304
หอเสริมโครงสร้าง: เหล็กกล้าไร้สนิม SS41 มีการทาสีผิวเคลือบ
แชสซีแชสซีเหล็กกล้าไร้สนิม SS41 ที่มีการทาสีผิวเคลือบ
1.3 สปัตเตอร์โล่: SUS304
1.4 หน้าต่างดู: บนประตูห้อง - 4 ชุด (2 ที่ประตูแต่ละบาน)
1.5 วาล์วระบายอากาศสูญญากาศ (รวมทั้งตัวกั้น)
1.6 ประตู: วัสดุ SUS304
2. ระบบปั๊มสูญญากาศ Ghing Vacuum :
ปั๊มสูญญากาศโรตารี่ปั๊มโรตารี่ + ปั๊มราก + ปั๊มโฮลดิ้ง (Leybold)
3. เครื่องสูบน้ำสูญญากาศสูง :
แม่เหล็กโมเลกุลระงับ (Leybold)
4. ระบบควบคุมและปฏิบัติการไฟฟ้า - PLC + Touch Screen
4.1 วงจรหลัก: ไม่มีสวิตช์เครื่องฟิวส์, สวิทช์แม่เหล็กไฟฟ้า, C / T ในชุดข้อมูล
4.2 แหล่งจ่ายไฟสปัตเตอร์ + แหล่งจ่ายไฟของแหล่งจ่ายไอออน + แหล่งจ่ายไฟ (Bias Power Supply)
4.3 ระบบควบคุมการตกตะกอน
4.4 ระบบปฏิบัติการ: Touch Screen + PLC, ควบคุมสูตรและบันทึกข้อมูล, ปิดอัตโนมัติ, การอพยพอัตโนมัติ, เคลือบด้วยระบบอัตโนมัติ
4.5 ระบบการวัด
เครื่องวัดสุญญากาศ: Pirani + Penning gauge + เครื่องวัดสูญญากาศแบบครบวงจร - แบรนด์ในยุโรป
อุปกรณ์วัดอุณหภูมิ: เทอร์โมคัปเปิ้ล
MFC: ตัวควบคุมการไหลของมวล (4 วิธี), โหมดการแสดงผลแบบดิจิตอล - แบรนด์ในยุโรป
4.6 ระบบเตือนภัย: แรงดันลมอัด, การไหลของน้ำหล่อเย็น, การทำงานผิดพลาด
4.7 ตัวบ่งชี้กระแสไฟ: ไฟแสดงสถานะแรงดันและตัวบ่งชี้กระแสโหลด
5 . Deposition System
5.1 แหล่งที่มาของการสลายตัว: คาโทเท็ตปะเก็นแหล่งกำเนิดไอออน - แบรนด์ในยุโรป
5.2 วัสดุการสะสม: เป้าหมายคาร์บอน
6. ระบบย่อย
6.1 ระบบควบคุมแรงดันลมแบบกดลม
6.2 ระบบน้ำหล่อเย็น: ท่อน้ำไหลและระบบวาล์วสวิตช์
7. สิ่งแวดล้อมการทำงาน
เครื่องอัดอากาศ: 5 ~ 8kg / cm2
น้ำหล่อเย็น: น้ำในอุณหภูมิ: 20 ~ 25 ℃, 200 ลิตร / นาที,
ความดันน้ำ: 2 ~ 3 กก. / ซม.
กำลังไฟ: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, การใช้พลังงานเฉลี่ย: 40KW
พื้นที่ติดตั้ง: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm
ท่อไอเสีย: ระบายอากาศสำหรับปั๊มกล
กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้มอบโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมด
