ระบบการสะสมฟิล์มบาง PVD สปัตเตอร์และการเคลือบสูญญากาศการระเหยด้วยความร้อนผลผลิตสูงเครื่องเคลือบ PVD

PVD ฟิล์มทินเนอร์ Deposition System การสเปรย์และความร้อนระเหยอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ

PVD ระบบการฝากฟิล์มบาง ๆ , การเคลือบผิวด้วยเครื่องสุญญากาศและการพ่นไอน้ำด้วยความร้อน

PVD ระบบการให้ฟิล์มบางมีแหล่งสะสมของแหล่งการระเหยของทังสเตนและแหล่งกำเนิดการสปัตเตอร์ DCron magnetron (RF sputtering cathodes เป็นตัวเลือก) อุปกรณ์นี้มักใช้ในการฝากฟิล์มบาง ๆ บนชิ้นส่วนพลาสติกแก้วโลหะหรือฟอยล์โดยใช้วัสดุประเภทฝากเงินเช่นโลหะบริสุทธิ์ Al, Cr, Cu, Ag, Au, Ti เป็นต้นแหล่งที่มาของการระเหยโดยทั่วไปจะได้รับฟิล์มบางที่สะท้อนแสงสูงในผลิตภัณฑ์ พื้นผิวหรือฟิล์มที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าหรือให้ภาพลักษณ์ที่เป็นโลหะ ยกเว้นว่าแหล่งกำเนิดของสปัตเตอร์จะรวมตัวกันของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์และวัสดุฉนวนรวมทั้งตัวนำไฟฟ้าที่โปร่งใสเป็นต้น

การจัดวางระบบระบบฟิล์มบาง PVD:

ประสิทธิภาพ

1. แรงดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 5.0 × 10 ^-6 Torr

2. ใช้ความดันสูญญากาศ: 1.0 × 10 ^-4 Torr.

3. สูบน้ำลงเวลาจาก 1 atm ถึง 1.0 × 10 ^-4 Torr≤3นาที (อุณหภูมิห้อง แห้งและสะอาดห้องว่าง)

4. วัสดุที่ทำให้เกิดการระเหย (metaping): Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... เป็นต้น

5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง

l โครงสร้าง

เครื่องเคลือบสูญญากาศประกอบด้วยระบบที่สมบูรณ์แบบที่ระบุด้านล่าง:

1. ห้องสุญญากาศ
1.1 ขนาด: เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 1600 มม

ความสูงภายใน 1600 มม

1.2 วัสดุ: สูญญากาศ SUS304 (SS41 เหล็กอ่อนสำหรับตัวเลือก)

ประตูและครีบ SUS304 (เหล็กอ่อน SS41 สำหรับตัวเลือก)

หอเสริมโครงสร้าง: เหล็กกล้าไร้สนิม SS41 มีการทาสีผิวเคลือบ

แชสซีแชสซีเหล็กกล้าไร้สนิม SS41 ที่มีการทาสีผิวเคลือบ

1.3 โล่: SUS304

  1.4 หน้าต่างดู: บนประตูห้อง

1.5 วาล์วระบายอากาศสูญญากาศรวมทั้งอุปกรณ์ลดเสียง

1.6 วัสดุประตู SUS304

2. ระบบสูบจ่ายสุญญากาศ

3. ระบบสูบน้ำสูญญากาศสูง

4. ระบบควบคุมและปฏิบัติการไฟฟ้า - PLC + หน้าจอสัมผัส

4.1 วงจรหลัก: ไม่มีสวิตช์เครื่องฟิวส์, สวิทช์แม่เหล็กไฟฟ้า, C / T ในชุดข้อมูล

4.2 พลังงานการระเหย: 35kVA

4.3 ระบบควบคุมการระเหย

4.4 ระบบปฏิบัติการ: Touch Screen + PLC, ควบคุมสูตรและบันทึกข้อมูล, ปิดอัตโนมัติ, การอพยพอัตโนมัติ, เคลือบด้วยระบบอัตโนมัติ

4.5 ระบบวัดแรงดันสูญญากาศ

เครื่องวัดสุญญากาศ: Pirani + Penning gauge

เครื่องวัดอุณหภูมิ: 760 แรงบิด ~ 5 * 10 ^{-4 แรง} บิด

4.6 ระบบเตือนภัย: แรงดันลมอัด, การไหลของน้ำหล่อเย็น, การทำงานผิดพลาด

4.7 ตัวบ่งชี้กระแสไฟ: ไฟแสดงสถานะแรงดันและตัวบ่งชี้กระแสโหลด

5. ระบบการสะสม

5.1 แหล่งการระเหยของแสงทังสเตน

5.2 วัสดุการระเหยความร้อน: สาย, แหวน, แท่ง ฯลฯ

5.3 แหล่งเครื่องฉีดน้ำ (DC / MF power driven)

6. ระบบย่อย

6.1 ระบบควบคุมแรงดันลมแบบกดลม

6.2 ระบบระบายความร้อน - ท่อน้ำไหลและระบบวาล์วสวิตช์

เรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับเครื่องและแอพพลิเคชันที่พร้อมใช้งานได้โปรดติดต่อเราตอนนี้