|
| ชื่อแบรนด์: | ROYAL |
| เลขรุ่น: | RTSP1215-MF |
| ขั้นต่ำ: | 1 ชุด |
| ราคา: | โปร่ง |
| เงื่อนไขการจ่ายเงิน: | L / C, D / A, D / P, T / T |
| ความสามารถในการจําหน่าย: | 15 ชุดต่อเดือน |
เครื่องรุ่น PVD: RTSP1215-MF ได้รับการออกแบบและพัฒนาเพื่อฝากทองเคลือบ ดีบุก บนแผงวงจรทองแดง ฟิล์มบาง ดีบุก สร้างขึ้นในสภาพสูญญากาศสูงซึ่งช่วยเพิ่มความสม่ำเสมอและความบริสุทธิ์
แผงวงจรทองแดง ดีบุก PVD Coaดีบุกg เครื่อง คุณสมบัติการออกแบบ:
1. ห้อง 8 ด้านมีปลอกยึดขนาดเท่ากันซึ่งสามารถประกอบและแลกเปลี่ยนไอออนแหล่งกำเนิดและคาปาซิเตอร์สเปรย์หรือแค็ทตะแลงได้อย่างยืดหยุ่นตามความต้องการของกระบวนการเคลือบผิว
2 การออกแบบที่กะทัดรัดซึ่งใช้เวลาเพียง 20sqm;
3. แหล่งไอออนสำหรับการทำความสะอาดพลาสม่าก่อนการอบและการสะสมไอออนจากลำแสงไอออนเพื่อเพิ่มการยึดเกาะของฟิล์ม
4. แพคเกจความเร็วสูงปั๊มและการตั้งค่าที่มีเสถียรภาพเครื่องสูบน้ำแม่เหล็กระงับแม่เหล็กสามารถติดตั้งได้ในทุกทิศทาง
เครื่องเคลือบผิวทองแดง ดีบุก PVD Coaดีบุกg เครื่อง
ประสิทธิภาพ
1. แรงดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 5.0 × 10 - 6 Torr
2. ใช้ความดันสูญญากาศ: 1.0 × 10-4 Torr.
3. ระยะเวลาในการสูบน้ำ: ตั้งแต่ 1 atm ถึง 1.0 x 10-4 Torr≤ 3 นาที (อุณหภูมิห้องแห้งและสะอาด)
4. Metalizing วัสดุ (สปัตเตอร์ + เส้นโค้ง ระเหย): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr ฯลฯ
5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
โครงสร้าง
เครื่องเคลือบสูญญากาศประกอบด้วยระบบที่สมบูรณ์แบบที่ระบุด้านล่าง:
1. ห้องสุญญากาศ
2. ปั๊มสูญญากาศแบบรูจิ่ง (ชุดปั๊มสำรอง)
3. เครื่องสูบน้ำสูญญากาศสูง (Magnetically Suspensไอออน Molecular Pump)
4. ระบบควบคุมและการใช้ไฟฟ้า
5. ระบบสิ่งอำนวยความสะดวก Auxiliarry (ระบบย่อย)
6. ระบบการสะสม
| RTSP1215-MF ข้อมูลทางเทคนิค | |||||||
| MODEL | RTSP1215-MF | ||||||
| เทคโนโลยี | Magnetron สปัตเตอร์ (MF) | ||||||
| วัสดุ | สแตนเลส (S304) | ||||||
| ขนาดห้อง | Φ1200 * H1500mm | ||||||
| ประเภทของห้อง | 8 ด้าน, แนวตั้ง, 1 ประตู | ||||||
| ระบบ สปัตเตอร์ | 4 ชุด Planar สปัตเตอร์ Cathodes | ||||||
| วัสดุที่ใช้ในการปันส่วน | อลูมิเนียมซิลเวอร์ทองแดงโครเมียมสเตนเลสนิกเกิลไทเทเนียมไทเทเนียม | ||||||
| แหล่งข้อมูลการหักล้าง | 4 เครื่องพ่นไอน้ำแบบพลาสม่า (Planar สปัตเตอร์ Cathodes) + แหล่งไอออนสำหรับทำความสะอาดพลาสม่า | ||||||
| แก๊ส | MFC - 2 วิธี, Ar, N2 | ||||||
| ควบคุม | PLC (โปรแกรมควบคุม Logic Controller) + หน้าจอสัมผัส | ||||||
| PUMP SYSTEM | SV300B - 1 ชุด (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 ชุด (Leybold) | |||||||
| D60T- 1 ชุด (Leybold) | |||||||
| MGK3304 - 2 ชุด (โอซาก้า) | |||||||
| การรักษาก่อน | แหล่งจ่ายไฟอคติ: 1 * 36 KW | ||||||
| ระบบความปลอดภัย | interlocks ความปลอดภัยจำนวนมากเพื่อปกป้องผู้ประกอบการ และอุปกรณ์ | ||||||
| COOLING | น้ำเย็น | ||||||
| POWER ELECTRICAL | 480V / 3 เฟส / 60HZ (ตามมาตรฐาน USA) | ||||||
| 460V / 3 เฟส / 50HZ (ตามมาตรฐาน Asia) | |||||||
| 380V / 3 เฟส / 50HZ (สอดคล้องกับ EU-CE) | |||||||
| รอยเท้า | L3000 * * * * * * * * W3000 H2000mm | ||||||
| น้ำหนักรวม | 7.0 T | ||||||
| รอยเท้า | (L * W * H) 5000 * 4000 * 4000 MM | ||||||
| CYCLE TIME | 30 ~ 40 นาที (ขึ้นอยู่กับวัสดุรองพื้น, เรขาคณิตพื้นผิวและสภาวะแวดล้อม) | ||||||
| POWER MAX .. | 110kw | ||||||
| ประหยัดค่าใช้จ่ายโดยรวม (APPROX.) | 50 กิโลวัตต์ | ||||||
แผ่นวงจรเคลือบทองแดงตัวอย่าง ดีบุก PVD Coaดีบุกg
กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้มอบโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมด
