การเคลือบอินเดียม - ทิน - ออกไซด์,การเคลือบ ITO บนพื้นผิว PET คุณภาพสูง ITO Think Film Vacuum Coating Equipment
อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศฟิล์มบาง PET ITO ใช้เทคโนโลยี magentron sputtering เพื่อสร้างฟิล์ม ITO ที่มีความโปร่งใสสูงบนแก้วและวัสดุ PET
PET ITO อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศฟิล์มบาง การใช้งานมาตรฐาน: PET พื้นผิวกระจกคุณภาพสูงเช่นเดียวกับจอแสดงผลอิเล็คทรอนิคส์, สไลด์กล้องจุลทรรศน์เคลือบ ITO, กระจกป้องกันโปร่งใส, แก้วนำไฟฟ้า, ฟิล์มละลายน้ำแข็ง, การเคลือบฟิล์มขจัดน้ำแข็ง,
PET ITO เคลือบสูญญากาศฟิล์มบางการกำหนดค่าอุปกรณ์:
1) แหล่งสปัตเตอร์ DC: Cu, Al, ITO
2) แหล่งสปัตเตอร์ MF
3) ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ + กลุ่มปั๊มสำรอง
4) สนามแม่เหล็กความเข้มสูงเพื่อปรับปรุงคุณภาพของฟิล์ม ITO อัตราการใช้เป้าหมาย >30%
5) Cu, Al, Si กำหนดเป้าหมายอัตราการใช้> 35%
6) อัตราการสะสม: 30nm m / นาที ~ 40nm m / min
7) พื้นที่สม่ำเสมอของสปัตเตอร์: 350mm
PET ITO เคลือบสูญญากาศฟิล์มบางอุปกรณ์ข้อกำหนดมาตรฐาน
แบบอย่าง | ขนาด (มม.) | จิ๊กพื้นผิว (จำนวน) |
สปัตเตอร์ กำลัง (kVA) |
สปัตเตอร์ เป้าหมาย (จำนวน) |
สปัตเตอร์ แคโทด |
MFC | ข้อสังเกต |
MSC800 | Φ800xH800 | 1 | 2*50 DC | 4 | กระบอก | 3 | การเคลือบ ITO |
MSC1616 | Φ1600xH1600 | 6,8 | 2*36 DC | 2 | สี่เหลี่ยม | 2 | 2 ประตู |
PET ITO เคลือบสูญญากาศฟิล์มบางอุปกรณ์ตัวอย่างการเคลือบ
โปรดติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติที่ได้นำเสนอโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจรแก่คุณ