EMI Shielding Film Deposition Machine, มัลติฟังก์ชั่นการระเหยด้วยความร้อนและระบบเคลือบ DC Sputtering
สรุป:
RTEP1616-SPDC เครื่อง Metalizing สูญญากาศได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับ EMI ป้องกันการสะสมฟิล์มบาง ๆ ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์โทรคมนาคมคอมพิวเตอร์โน้ตบุ๊กอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภคเครื่องใช้ในบ้านการบินและอวกาศและการทหาร
ลูกค้าของเรา ได้แก่ Sumgsung, Apple, Lenovo, Huawei electronics ผลิต
ขนาดห้องเส้นผ่านศูนย์กลาง 1600 มม. และความสูง 1600 มม. สามารถรองรับผลิตภัณฑ์ได้หลากหลาย
คุณสมบัติฟิล์มป้องกัน EMI
1) ความหนาของฟิล์ม: 1.5 ~ 3 ไมครอนขึ้นอยู่กับความต้องการ
2) ความต้านทานฟิล์ม: (โอห์ม) ดีกว่า0.5Ω
3) การยึดเกาะ: เทป 3M810> 5B
กระบวนการเคลือบฟิล์มป้องกัน EMI
4) สแตนเลสสตีล DC Sputtering
5) การสะสมของทองแดงโดยการระเหยด้วยความร้อน
6) สแตนเลสสตีล DC Sputtering ฝาครอบแบบเต็มบนชั้นฟิล์ม Cu
คุณสมบัติ Electro Magnetic Interference Shielding Metalizer
1) โครงสร้าง 2 ประตูและความเร็วในการสูบน้ำที่รวดเร็วเพื่อให้ได้ผลผลิตสูง
2) แผงหน้าจอสัมผัสที่ใช้งานง่ายพร้อมการควบคุม PLC
3) การออกแบบโปรแกรมซอฟต์แวร์ที่เป็นมิตรกับมนุษย์เพื่อการผลิตที่มั่นคงและมีคุณภาพสูง
4) อัตราการใช้เป้าหมายสปัตเตอร์สูงช่วยให้ต้นทุนการผลิตต่ำ
5) ความสม่ำเสมอที่ดีและการยึดเกาะที่ดีเยี่ยม
6) แนวคิดการออกแบบขั้นสูงเพื่อประสิทธิภาพที่ดีขึ้นเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตและอัตราที่เหมาะสม
7) อุปกรณ์แหล่งกำเนิดไอออนสำหรับการทำความสะอาดพลาสม่าและการรักษาพื้นผิวเพื่อปรับปรุงการยึดเกาะ
ข้อดีของ PVD Vacuum Metallizing:
เสร็จสิ้นจะถูกฝากไว้โดยใช้กระบวนการสีเขียวที่เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมปราศจากมลภาวะ
ประสิทธิภาพสูงและความสม่ำเสมอที่ยอดเยี่ยม
การผลิตปริมาณมากต้นทุนต่ำเป็นทางออกที่ดีสำหรับความต้องการในการผลิตจำนวนมาก
ประสิทธิภาพการเคลือบ EMI
วัสดุเคลือบผิว: Ni, Cr, Cu, วัสดุสแตนเลส
ความหนาของฟิล์ม: 1.5 ~ 3 ไมครอนขึ้นอยู่กับความต้องการ
ความต้านทานฟิล์ม: (โอห์ม) ดีกว่า0.5Ω
การยึดเกาะ: เทป 3M810> 5B
ประเภท:
ข้อกำหนดทางเทคนิค:
1. แรงดันสุญญากาศขั้นสูงสุด: ดีกว่า 5.0 × 10-6 ทอร์.
2. แรงดันสูญญากาศในการทำงาน: 1.0 × 10-4 ทอร์
3. เวลาสูบน้ำ: จาก 1 atm ถึง 1.0 × 10-4 Torr≤5นาที (อุณหภูมิห้องห้องแห้งสะอาดและว่างเปล่า)
4. วัสดุ Metalizing (การระเหย): สแตนเลสทองแดง
5. รูปแบบการทำงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
เครื่องเคลือบสูญญากาศประกอบด้วยระบบที่สมบูรณ์แบบที่สำคัญตามรายการด้านล่าง:
1. ห้องสุญญากาศ
1.1 ขนาด: เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 1600 มม
ความสูงภายใน: 1600 มม
ความสูงที่เป็นประโยชน์: 1265 มม
ความสูงรวม: 1420 มม
1.2 วัสดุ: ห้องสุญญากาศ SUS304
ประตูและหน้าแปลน SUS304
โครงสร้างเสริมความแข็งแรงของห้อง: เหล็กอ่อน SS41 พร้อมการเคลือบผิวด้วยสี
แชสซีแชสซี SS41 เหล็กอ่อนพร้อมการเคลือบผิวตกแต่งสี
1.3 สปัตเตอริงและโล่การระเหย: SUS304
1.4 View Window: ที่ประตูห้อง
1.5 วาล์วระบายอากาศในห้องสุญญากาศ (รวมทั้งตัวเก็บเสียง)
1.6 ประตู: วัสดุ SUS304 เส้นผ่านศูนย์กลาง 1600 มม. ความสูงภายใน: 1600 มม
1.7 Deposition Driving System: การขับขี่กลางสูงสุด1400 มม. * 1265 มม
1.8 ขับมอเตอร์: 1 / 2HP
1.9 กำลังการระเหย: 1 ชุด / ประตู
DC Sputtering Power: 1 ชุด
ขนาดแคโทดสปัตเตอร์: 125 * 1400 มม
2. ระบบปั๊มสุญญากาศ Rouhging
2.1 ปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุนปิดผนึกด้วยน้ำมัน - Leybold
a: ความเร็วในการสูบน้ำ: 640 m³ / ชม
2.2 ปั๊มราก - เลย์โบลด์
a: ความเร็วในการสูบ: 4400 m³ / ชม
2.3 วาล์วสุญญากาศแบบหยาบ: รุ่นนิวเมติก
2.4 สายท่อสุญญากาศ: วัสดุ SUS304 ขนาด 6 นิ้วและ 8 นิ้ว
2.5 วาล์วระบายสูญญากาศ: รุ่นแม่เหล็กไฟฟ้า 3/8 นิ้ว
3. ระบบปั๊มสุญญากาศสูง
3.1 ปั๊มกระจายน้ำมัน: RTDP-36
ก.ความเร็วในการสูบน้ำ: 40000L / S
ข.แรงดันสุญญากาศขั้นสูงสุด: ดีกว่า 10-7 ทอร์.
ค.พลังงานความร้อน: 3 เฟส 21KW.
ง.ปริมาณการใช้น้ำมัน: 9 ลิตร
3.2 กับดักเย็น: 36”, ระบายความร้อนด้วยน้ำจากกระแสน้ำมันไหลกลับ
3.3 วาล์วสุญญากาศสูง: นิวเมติก
3.4 วาล์วด้านหน้า: นิวเมติก
4. ระบบควบคุมและปฏิบัติการไฟฟ้า
4.1 วงจรหลัก: สวิตช์เบรกเกอร์ไม่มีฟิวส์สวิตช์แม่เหล็กไฟฟ้า
C / T ในประเภทซีรีส์
4.2 พลังการระเหย
4.3 ระบบควบคุมการระเหย
4.4 Sputtering Power รุ่น DC
4.5 ระบบควบคุม: PLC + หน้าจอสัมผัสอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
4.6 ระบบปฏิบัติการ: หน้าจอสัมผัส + จอแสดงผล
4.7 ระบบวัดความดันสุญญากาศ
เกจวัดสุญญากาศ: Leybold Center Two - 1 set
เกจเต็มช่วง: 760 Torr ~ 10-7 Torr - 1 ชุด
4.8 ระบบเตือนภัย:
ความดันอากาศอัดต่ำกว่า: เสียงปลุก
การไหลของน้ำหล่อเย็นต่ำลง: เสียงปลุก
การทำงานผิดพลาด: เสียงปลุก
4.9 ไฟแสดงสถานะโหลด: ตัวบ่งชี้แรงดันและตัวบ่งชี้กระแสโหลด
5. ระบบย่อย
5.1 ระบบควบคุมวาล์วอัดอากาศ
5.2 ระบบน้ำหล่อเย็น: ท่อน้ำไหลและระบบวาล์วสวิตช์
5.3 Polycold (-120 ~ -145 ℃) Cryopump - 1 ชุด
รุ่น: MaxCool- 2500L
โหลดสูงสุด :: 2500W
ความเร็วในการสูบน้ำ: 14000L / S
6. ระบบการสะสม
6.1 แหล่งสปัตเตอร์
ก.Sputtering Target” 125mm * 1400mm * 12 ~ 14mm - 1 ชุด
ข.ชัตเตอร์ - 1 ชุด
ค.Mass Flow Controller: Ar gas - 1 ชุด
ง.แหล่งจ่ายไฟสปัตเตอร์: DC 60KW - 1 ชุด
6.2 แหล่งที่มาของการระเหย
ก.แหล่งการระเหยของทังสเตน
ข.แหล่งจ่ายไฟการระเหย: 20kVA
ค.อุปกรณ์แหล่งกำเนิดไอออนและแหล่งจ่ายไฟ
เครื่องอัดอากาศ: 5 ~ 8kg / cm2
น้ำหล่อเย็น: อุณหภูมิน้ำเข้า: 20 ~ 25 ℃, 200 ลิตร / นาที,
แรงดันน้ำเข้า: 2 ~ 3 กก. / ซม2
กำลังไฟ: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 160kVA
พื้นที่ติดตั้ง: (L * W * H) 6500 * 5500 * 2700 มม
ไอเสีย: ช่องระบายอากาศสำหรับปั๊มเชิงกล
เราพยายามอย่างเต็มที่ในการออกแบบและพัฒนากระบวนการเคลือบที่เหมาะสมที่สุดสำหรับชิ้นส่วน 3D ต่างๆซึ่งตรงตามความต้องการในการผลิตของลูกค้าดังนั้นเราจึงนำเสนอโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมดสำหรับการเคลือบ EMI
หากจำเป็นต้องใช้ระบบการเคลือบแบบกำหนดเองโปรดแบ่งปันความคิดและแนวคิดของคุณกับทีมของเราและส่งข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์ของคุณเราจะทำงานร่วมกันเพื่อหาแนวทางแก้ไขปัญหา
มีบริการเคลือบ EMI เครื่องเคลือบ EMI
โปรดติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้จัดหาโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมดให้กับคุณ