เครื่องเคลือบ PVD Magnetron Sputtering
1. แมกนีตรอนสปัตเตอริง เป็นกระบวนการเคลือบพลาสม่าโดย สปัตเตอร์วัสดุถูกขับออกมาเนื่องจากการทิ้งไอออนไปยังพื้นผิวเป้าหมายห้องสุญญากาศของเครื่องเคลือบ PVD เต็มไปด้วยก๊าซเฉื่อยเช่นอาร์กอน
2. อุปกรณ์เคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์ - ประเภทแบทช์ประกอบด้วยส่วนประกอบสำคัญดังนี้
แมกนีตรอนสปัตเตอริงแคโทด: ทรงกระบอกหรือระนาบ;
แหล่งจ่ายไฟ: Pulse DC, MF, RF
แหล่งไอออน: โดยทั่วไปสำหรับชิ้นส่วนพลาสติก / แก้ว / เซรามิก / โลหะสำหรับการปล่อยสารเรืองแสงการทำความสะอาดพลาสม่า
ไบแอสพาวเวอร์ซัพพลาย: ใช้ได้กับชิ้นงานที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าเท่านั้น: เหล็กเหล็กโลหะผสมเหล็กซามัคอลูมิเนียมอัลลอยทองเหลืองเป็นต้น
แพคเกจปั๊มสุญญากาศ: ปั๊มใบพัดหมุน, ปั๊มลูกสูบโรตารี, ปั๊มราก, ปั๊มกระจาย / ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ, ปั๊มจับ ฯลฯ
อื่น ๆ : ร่องประตู / เกจสูญญากาศ, MFC, อุปกรณ์สูญญากาศและสายท่อสูญญากาศ, ป้อนผ่าน,
3. RTSP อุปกรณ์เคลือบชุดใช้สำหรับการผลิตสารเคลือบหน้าที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าและไม่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าเพื่อความสวยงาม
A. การใช้งาน: การเคลือบ ITO บนกระจกสำหรับหน้าจอสัมผัสจอแสดงผลกระจกสถาปัตยกรรมอุตสาหกรรมยานยนต์: ล้อและขอบล้อรถยนต์กระจกรถโคมไฟหน้าไฟท้ายพลาสติกภายในและภายนอกเครื่องใช้บนโต๊ะอาหารและเครื่องครัวเครื่องประดับกีฬาและของเล่นการเปลี่ยนชุบด้วยไฟฟ้า
B. วัสดุเคลือบผิว:
โลหะ: Ti (ไทเทเนียม), Cr โครเมียม), Zr (เซอร์โคเนียม), Cu (ทองแดง), Al (อลูมิเนียม), Ni (นิกเกิล),
SUS316 (สแตนเลส) ...
โลหะผสม: โลหะผสม Ti-Al, โลหะผสม Ni-Ca (นิกเกิล - แคดเมียม), ITO (อินเดียมดีบุกออกไซด์)
C. วิธีการสปัตเตอร์: DC / MF / RF
D. คุณสมบัติ: การสะสมที่อุณหภูมิต่ำ
4. รุ่นเครื่องเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์
| รุ่น | ขนาด (มม.) | จำนวนแท่งดาวเคราะห์ | กำลังสปัตเตอร์ (kVA) | แคโทดสปัตเตอร์ (จำนวน) | เทคโนโลยี Magnetron Sputtering | MFC | ข้อสังเกต |
| RTSP-1250 | 1250xH1250 | 6 | 2 * 30 DC / MF | 2 | สมดุลไม่สมดุล | 1 ถึง 4 | เคลือบตกแต่งคุณภาพสูง |
| RTSP-1400 | 1400xH1250 | 6, 8 | 2 * 36 DC / MF | 2 | |||
| RTSP-1600 | 1600xH1250 | 6,8,12 | 2 * 48 DC / MF | 2 | |||
|
แอปพลิเคชันอุตสาหกรรมพิเศษ
|
|||||||
| RTSP-900 | 900xH900 | 1 | 1 * 12 DC | 1 | เป้าหมายระนาบ | 1 ถึง 4 | ขอบล้อรถยนต์ขอบภายในและภายนอก |
| RTSP-1315 | 1300xH1500 | 1 | 1 * 48 DC | 1 | เป้าหมายระนาบ | ||
| RTSP-1618 | 1600xH1800 | 2 | 2 * 72 DC | 2 | เป้าหมายระนาบ | ||
| RTSP-800 | 800xH800 | 1 | 2 * 50 DC | 4 | ทรงกระบอกหรือระนาบ | ITO, AR | |
| RTSP-1616 | 1600xH1600 | 6,8 | 2 * 36 DC | 2 | เป้าหมายระนาบ | 2 ประตู | |
5. เครื่องเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอริง
สร้างเวลา: 2016
ตำแหน่ง: จีน
อุตสาหกรรม: เคลือบฟิล์มนำไฟฟ้า Cu บนแผ่นเซรามิก
6. ตัวอย่างการเคลือบซิลเวอร์สปัตเตอร์
โปรดติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้จัดหาโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมดให้กับคุณ
