Multi950- Shanghai University- สำหรับ R&D ของ DLC โปร่งใส, การเคลือบแบบแข็ง

R&D อุปกรณ์เคลือบหลายฟังก์ชั่น

รุ่นเครื่อง:Multi950-R&D

เทคโนโลยี:PVD+PECVD

สร้างเวลา:2015
ที่ตั้ง:เซียงไฮ้ประเทศจีน

การติดตั้งและทดสอบ:5 วัน

การว่าจ้างและการฝึกอบรม:3 วัน

คุณสมบัติการออกแบบ

1. ความยืดหยุ่น: อาร์คและสปัตเตอร์แคโทด, หน้าแปลนติดตั้งแหล่งกำเนิดไอออนเป็นมาตรฐานสำหรับการแลกเปลี่ยนที่ยืดหยุ่น

2. ความเก่งกาจ: สามารถฝากโลหะฐานและโลหะผสมที่หลากหลายการเคลือบด้วยแสง การเคลือบแข็ง การเคลือบแบบอ่อน ฟิล์มผสม และฟิล์มหล่อลื่นที่เป็นของแข็งบนพื้นผิววัสดุที่เป็นโลหะและอโลหะ

3. การออกแบบตรงไปข้างหน้า: โครงสร้าง 2 ประตูด้านหน้าและด้านหลังเปิดเพื่อบำรุงรักษาง่าย
 

เครื่อง Multi950 เป็นระบบสะสมสุญญากาศแบบหลายฟังก์ชันที่ปรับแต่งได้สำหรับการวิจัยและพัฒนาด้วยการพูดคุยกับทีมของมหาวิทยาลัยเซี่ยงไฮ้ที่นำโดยศาสตราจารย์ Chen เป็นเวลาครึ่งปี ในที่สุดเราก็ยืนยันการออกแบบและการกำหนดค่าเพื่อเติมเต็มแอปพลิเคชัน R&D ของพวกเขาระบบนี้สามารถฝากฟิล์ม DLC โปร่งใสด้วยกระบวนการ PECVD เคลือบแข็งบนเครื่องมือ และฟิล์มออปติกที่มีแคโทดสปัตเตอร์จากแนวคิดการออกแบบเครื่องจักรนำร่องนี้ เราได้พัฒนาระบบการเคลือบอื่นๆ อีก 3 ระบบหลังจากนั้น:

1. การเคลือบเพลทแบบไบโพลาร์สำหรับรถยนต์ไฟฟ้าเซลล์เชื้อเพลิง-RT1200-FCEV

2. ทองแดงชุบเซรามิกโดยตรง - RT1200-DPC

3. ระบบสปัตเตอร์แบบยืดหยุ่น - RTSP1200-PCB

เครื่องจักรทั้ง 4 รุ่นนี้มีห้อง Octal ทั้งหมด การแสดงที่ยืดหยุ่นและเชื่อถือได้ถูกนำมาใช้อย่างกว้างขวางในการใช้งานที่หลากหลายเป็นไปตามกระบวนการเคลือบที่ต้องการชั้นโลหะหลายชั้น: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS และโลหะอื่นๆบวกกับหน่วยแหล่งกำเนิดไอออน เพิ่มประสิทธิภาพการยึดเกาะของฟิล์มบนวัสดุซับสเตรตต่างๆ ได้อย่างมีประสิทธิภาพด้วยประสิทธิภาพการกัดกรดในพลาสมา และกระบวนการ PECVD ในการฝากชั้นที่มีคาร์บอนเป็นบางส่วน

 
RT1200-PCB

RT1200-DPC (คูเปอร์ชุบโดยตรงบนเซรามิก/ Al2O3, AlN)

RT1200-FCEV

Multi950 เป็นก้าวสำคัญของระบบการเคลือบการออกแบบขั้นสูงสำหรับ Royal Techเราขอขอบคุณนักศึกษามหาวิทยาลัยเซี่ยงไฮ้และโดยเฉพาะอย่างยิ่ง Process Yigang Chen การอุทิศตนอย่างสร้างสรรค์และเสียสละของเขาเป็นค่านิยมที่ไร้ขีดจำกัดและเป็นแรงบันดาลใจให้ทีมงานของเรา

ในปี 2018 เรามีความร่วมมือโครงการอื่นกับ Pressor Chen การสะสมวัสดุ C-60 โดยวิธีการระเหยด้วยความร้อนแบบเหนี่ยวนำเราขอขอบคุณที่คุณ Yimou Yang และอาจารย์ Chen เป็นผู้นำและให้คำแนะนำในทุกโครงการที่เป็นนวัตกรรมใหม่

ติดต่อเราสำหรับข้อมูลเพิ่มเติม