เครื่องเคลือบ DLC แข็ง / DLC PECVD อุปกรณ์เคลือบ / เพชรเช่นระบบดูดฝุ่นคาร์บอน PVD
เคลือบด้วยเพชรคล้ายคาร์บอนใช้สำหรับการขัดผิววัสดุและวัสดุที่ไม่เป็นเหล็กและสภาพแวดล้อมทางวิศวกรรมที่พื้นผิวของชิ้นส่วนต้องได้รับความดันสัมผัสสูงการหล่อลื่นแบบไม่ต่อเนื่องหรือสภาวะการสึกหรอแบบแห้งซึ่งเป็นสภาวะการกัดกร่อนและการสึกหรอที่รุนแรง เคลือบ DLC ยังใช้กันทั่วไปในเครื่องมือทางการแพทย์และทันตกรรมต่างๆและรากฟันเทียมเพื่อให้พื้นผิวสีดำเข้มป้องกันแสงสะท้อนและชีวภาพที่มีคุณสมบัติป้องกันการ tribological เพิ่ม
เครื่องนี้เหมาะสมกับระบบการเคลือบสูญญากาศในอุตสาหกรรมการผลิต เป็นวัสดุที่ช่วยในการระเหยไอออนแบบอะลูมิเนียมไอออนขนาดใหญ่และสามารถนำเอาฟิล์มโลหะหนักที่มีประสิทธิภาพสูงมาใช้กับเทคโนโลยีการระเหยของรังสีเช่น TiN, TiCN, AlTiN และฟิล์มพิเศษทุกชนิดตามความต้องการของลูกค้า
เคลือบ DLC (คาร์บอนเหมือนเพชร) คือการรวมกันของเพชร (SP3) และแกรไฟต์ (SP2) สมบัติทางฟิสิกส์และเคมีของ DLC อยู่ในระดับปานกลางกับเพชรและแกรไฟต์
คุณสมบัติของ DLC coatings
เครื่องเคลือบฟิล์มบาง DLC ข้อมูลจำเพาะ
MODEL | RTSP1010 | |||||||
เทคโนโลยี | กระบวนการ PECVD - การอัดไอออน magnetron + แหล่งไอออน | |||||||
วัสดุห้อง | สแตนเลส (S304) | |||||||
ขนาดห้อง | Φ 1000 * 1000 มม. (H) | |||||||
ประเภทของห้อง | ห้อง octahedron ปกติ 2 ประตู | |||||||
ระบบ ROTATION RACK และ JIG | 6 (8) ดาวเทียมสูงสุด น้ำหนัก: 400 กิโลกรัม | |||||||
แหล่งจ่ายไฟ | จำนวน ของ Sputtering: 2 * 24 KW ความผันผวนของแหล่งจ่ายไฟ: 1 * 24W AE แหล่งจ่ายไฟสำหรับตัวเลือกแหล่งไอออนแหล่งจ่ายไฟ 2 ชุดแหล่งจ่ายไฟ AE สำหรับตัวเลือก | |||||||
วัสดุที่ใช้ในการปันส่วน | Cr / C | |||||||
แหล่งข้อมูลการหักล้าง | 2 คู่ (4 ชิ้น) Sputtering Cathodes + 2 แหล่งกำเนิดไอออนพื้นที่: Dia800mm * H550mm; พื้นที่ความเท่าเทียมกัน: ± 10 ~ 15% | |||||||
ควบคุม | PLC (Programmable Logic Controller) + หน้าจอระบบสัมผัส (คู่มือ + auto + semi-auto models) | |||||||
PUMP SYSTEM | ใบพัดโรตารี่: SV300B - 1 ชุด (Leybold) | |||||||
ปั๊มราก: WAU1001 - 1 ชุด (Leybold) | ||||||||
ปั๊มโฮลดิ้ง: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
ระงับการระเหยของโมเลกุลแม่เหล็ก: MAG2200 - 2 ชุด (Leybold) | ||||||||
ตัวควบคุมการไหลของก๊าซหุงต้ม | 3 ช่อง, Made in America (แบรนด์ MKS) | |||||||
VARUUM GAUGE | แบบ: ZDF-X-LE ผลิตในประเทศจีน | |||||||
แหล่งไอออนเชิงเส้น | 2 ชิ้นการเตรียมการทำความสะอาดพลาสม่า + ช่วยพยุงตัว | |||||||
ระบบความปลอดภัย | interlocks ความปลอดภัยจำนวนมากเพื่อป้องกันผู้ประกอบการและอุปกรณ์ | |||||||
ร้อน | เครื่องทำความร้อน: 20 กิโลวัตต์ แม็กซ์ อุณหภูมิ: 400 ℃ | |||||||
COOLING | เครื่องทำน้ำเย็นอุตสาหกรรม (Cold Water) | |||||||
POWER MAX | 100KW (ประมาณ) | |||||||
ประหยัดค่าใช้จ่าย | 45 กิโลวัตต์ (ประมาณ) | |||||||
น้ำหนัก GROSS | T (ประมาณ) | |||||||
FOOT PRINT | (L * W * H) 4000 * 4000 * 4000 MM | |||||||
POWER ELECTRICAL | AC 380V / 3 เฟส / 50HZ |
กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้มอบโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมด