|
| ชื่อแบรนด์: | ROYAL |
| เลขรุ่น: | RTSP1000 |
| ขั้นต่ำ: | 1 ชุด |
| ความสามารถในการจําหน่าย: | 10 ชุดต่อเดือน |
ระบบการตกสะสมแมกนีตรอนสปัตเตอร์แบบไม่สมดุลสนามปิด การชุบไอออนแมกนีตรอนสปัตเตอร์ไม่สมดุล
กระบวนการแมกนีตรอนแบบสนามที่ไม่สมดุลและแบบปิดมีข้อดีทั้งหมดของแมกนีตรอนแบบระนาบข้อดีและข้อเสียเพิ่มเติมคือ:
แมกนีตรอนสปัตเตอร์สนามปิดที่ไม่สมดุลและปิดได้ปฏิวัติคุณสมบัติที่ทำได้โดยกระบวนการแมกนีตรอนสปัตเตอร์เมื่อประสบความสำเร็จในการปรับปรุงคุณสมบัติทางไตรโบโลยีของฟิล์มบาง ความต้านทานการกัดกร่อน และคุณสมบัติทางแสงเช่นเดียวกับเทคโนโลยีนี้ การปรับปรุงเทคโนโลยีแมกนีตรอนก็เพิ่งเริ่มต้นขึ้นบล็อกถัดไป เราจะเข้าสู่กระบวนการแมกนีตรอนแบบหมุนและทรงกระบอกและทำให้เกิดฟิล์มบาง
--- เหนือบทความจากพีท อาร์ มาร์ติน
เทคโนโลยีของราชวงศ์ได้พัฒนาแคโทดสปัตเตอร์สำหรับการสปัตเตอร์ที่ให้ผลผลิตสูงและเป้าหมายสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการสปัตเตอร์โลหะหายากและมีราคาแพง: Au Gold, Ta Tantalum, Ag การสะสมฟิล์มโลหะเงินระบบการทับถมของฟิล์มที่มีความสม่ำเสมอสูงได้ให้บริการในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ ส่วนประกอบเครื่องมือแพทย์ที่ต้องการความสม่ำเสมอของฟิล์มสูง การทับถมหลายชั้น
เครื่อง RTSP1000 เป็นเครื่องมาตรฐานที่พัฒนาโดยเทคโนโลยี Royalนำไปใช้อย่างกว้างขวางกับเครื่องมือตัด/ขึ้นรูป แม่พิมพ์ เครื่องมือแพทย์ ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ อุตสาหกรรมยานยนต์
| RTSP1000 การกำหนดค่าหลักและพารามิเตอร์ทางเทคนิค | ||||||||
| แบบอย่าง | RTSP1000 | |||||||
| เทคโนโลยี | MF แมกนีตรอนสปัตเตอร์ + การทำความสะอาดพลาสม่าที่มาของไอออน | |||||||
| วัสดุห้อง | สแตนเลส (S304) | |||||||
| ขนาดห้อง | Φ1000*800มม. (ส) | |||||||
| ประเภทห้อง | รูปร่าง D | |||||||
| แร็คหมุน & ระบบจิ๊ก | ดาวเทียมสูงสุด 6 ดวงน้ำหนัก: 500kgs | |||||||
| พาวเวอร์ซัพพลาย |
จำนวนของสปัตเตอร์: 2*24 KW อคติของแหล่งจ่ายไฟ: 1*20W Ion Source Power supply 1*5KW |
|||||||
| เอกสารการฝากเงิน | Ti/Cr/TiAl /Ta/Cu/Au/คาร์บอนเป็นต้น | |||||||
| แหล่งเงินฝาก | 2 คู่ (4 ชิ้น) Planar Sputtering Cathodes + 1 แหล่งกำเนิดไอออนเชิงเส้น ความสม่ำเสมอของพื้นที่: ±10~15% |
|||||||
| ควบคุม | PLC (Programmable Logic Controller) + หน้าจอสัมผัส (รุ่นการทำงานแบบ manual+ auto+ semi-auto) | |||||||
| ระบบปั๊ม | ปั๊มใบพัดหมุน: SV300B - 1 ชุด (เลย์โบลด์) | |||||||
| Roots Pump: WAU1001- 1 ชุด (เลย์โบลด์) | ||||||||
| ปั๊มหอยโข่ง : D60C-1 ชุด (เลย์โบลด์) | ||||||||
| Magnetic Suspension Molecular Pump - 1 ชุด (เลย์โบลด์) | ||||||||
| ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซ | 4 ช่อง Made in China Seven Star (ซีรีส์ CS, ) รุ่นดิจิตอล | |||||||
| เกจวัดสูญญากาศ | รุ่น: ZDF-X-LE ผลิตในประเทศจีน: ZDF-X-LE | |||||||
| แหล่งไอออนเชิงเส้น | 1 ชิ้น Pre-treating, ทำความสะอาดพลาสม่า + ช่วยสะสม | |||||||
| ระบบความปลอดภัย | อินเตอร์ล็อคเพื่อความปลอดภัยจำนวนมากเพื่อปกป้องผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์ | |||||||
| เครื่องทำความร้อน | เครื่องทำความร้อน: 30KW.แม็กซ์อุณหภูมิ: 450℃ | |||||||
| คูลลิ่ง | ตู้แช่อุตสาหกรรม (น้ำเย็น) | |||||||
| เพาเวอร์แม็กซ์ | 100KW (โดยประมาณ) | |||||||
| การใช้พลังงานเฉลี่ย | 45 กิโลวัตต์ (โดยประมาณ) | |||||||
| น้ำหนักรวม | ที (โดยประมาณ) | |||||||
| รอยเท้า | (L*W*H) 4000*4000 *3200 มม. | |||||||
| พลังงานไฟฟ้า | AC 380V/3 เฟส/50HZ / 5 เส้น | |||||||
การใช้ประโยชน์เป้าหมายสูงการสะสมสปัตเตอร์ระนาบ: ได้โปรด คลิกที่นี่ เพื่อดูวิดีโอ
การทำความสะอาดพลาสม่าจากแหล่งกำเนิดไอออนเชิงเส้นและการสะสมตัวช่วย: โปรด คลิกที่นี่ ดูวิดีโอ
โปรดติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติที่ได้นำเสนอโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจรแก่คุณ
