เครื่องชุบ PVD อลูมิเนียมออกไซด์ทองแดง, ชุบทองแดง PVD บนแผ่นเซรามิก, ระบบการสะสมทองแดง

คำสำคัญ: ทองแดงเคลือบโดยตรง DPC เคลือบทองแดงเซรามิค เคลือบผิว PVD, กระบวนการ PECVD, ฟิล์ม DLC, เพชรเช่นเดียวกับฟิล์มคาร์บอน, ฟิล์ม Sputtering Optical, Gencoa Magnetron Sputtering Cathode, แหล่งไอออน, PA PVD

RTAC950-SP คุณสมบัติการออกแบบ:

• ความยืดหยุ่น: แหล่งจ่ายไฟแบบสไลด์และสเปตัทอุปกรณ์เสริมสำหรับยึดสายไอออนแบบเส้นตรงเป็นมาตรฐานสำหรับการแลกเปลี่ยนแบบยืดหยุ่น
• ความคล่องตัว: ใช้ได้สำหรับโลหะอัลลอยด์และโลหะผสมหลายชนิดเคลือบผิวและเคลือบแข็งเคลือบอ่อน ฟิล์มผสมและฟิล์มหล่อลื่นที่เป็นของแข็งบนวัสดุพื้นผิวโลหะและที่ไม่ใช่โลหะ
• การออกแบบด้านหน้าตรง: โครงสร้างแบบ 2 ประตูด้านหน้าและด้านหลังเพื่อการบำรุงรักษาง่าย

ข้อกำหนดทางเทคนิค

• ประสิทธิภาพ

1. ความดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 8.0 * 10 ^{- 4} Pa;

• ฐานความดันสูญญากาศ: 3.0 * 10 ^{- 2} Pa

3. สูบน้ำลงเวลา: ตั้งแต่ atm ถึง 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15นาที (อุณหภูมิห้อง, แห้ง, ห้องที่สะอาดและว่างเปล่า)

4. แหล่งที่มาของการสะสม: cathode magnetron spuntering Gencoa, cathode arcelled, แหล่งกำเนิดไอออน

5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง

6. การทำความร้อน: ตั้งแต่อุณหภูมิห้องจนถึงสูงสุด 500 ℃,

9. แหล่งไอออนสำหรับกระบวนการ PECVD และ PA PVD

• โครงสร้าง

เครื่องเคลือบสูญญากาศประกอบด้วยระบบที่สมบูรณ์แบบที่ระบุด้านล่าง:

1. ห้องสุญญากาศ
1.1 ขนาด: ลึก 950 มม

ความสูงภายใน: 1350 มม

1.2 วัสดุ: ช่องสูญญากาศ SUS304

ประตูและครีบ SUS304

หอเสริมโครงสร้าง: เหล็กกล้าไร้สนิม SS41 มีการทาสีผิวเคลือบ

แชสซีแชสซีเหล็กกล้าไร้สนิม SS41 ที่มีการทาสีผิวเคลือบ

1.3 Chamber Shield: SUS304

1.4 หน้าต่างดู: บนประตูห้อง -2

1.5 วาล์วระบายอากาศสูญญากาศ (รวมทั้งตัวกั้น)

1.6 ประตู: 2 ชุดด้านหน้าและด้านหลังวัสดุ SUS304

2. เครื่องสูบน้ำสูญญากาศหยาบ:
น้ำมันปั๊มสูญญากาศโรตารี่ใบพัด + โฮลดิ้งปั๊ม

3. เครื่องสูบน้ำสูญญากาศสูง:

Turbo Molecular Pump - 2 ชุด

4. ระบบควบคุมและปฏิบัติการไฟฟ้า - PLC + ระบบสัมผัสหน้าจอ:

ซัพพลายเออร์:

PLC: มิตซูบิชิ, รุ่น: FX-IN60MR-001 SERIES

ส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์: SCHNEIDER, OMRON

ระบบป้องกันความปลอดภัย: interlocks ความปลอดภัยจำนวนมากเพื่อป้องกันผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์ (น้ำก๊าซปัจจุบันอุณหภูมิ ฯลฯ )

ระบบกระบวนการเคลือบผิว : กระบวนการอัตโนมัติและการควบคุม บันทึกไว้ในหน่วยความจำอัตโนมัติเป็นเวลา 3 เดือน ข้อมูลการเคลือบสูตรพิเศษ: การทำงานของกระแส / แรงดันไฟฟ้าเป้าหมาย, การไหลของมวล, ความดันสูญญากาศ, อุณหภูมิ, เวลาในการเคลือบจะถูกบันทึกไว้เพื่อการวิเคราะห์เพื่อเพิ่มคุณภาพของการเคลือบ

4.1 วงจรหลัก: ไม่มีสวิตช์เครื่องฟิวส์, สวิทช์แม่เหล็กไฟฟ้า, C / T ในชุดข้อมูล

4.2 แหล่งจ่ายไฟ: กำลังสปิตเซอร์แบบ MF + กำลังไฟ DC Arc + แหล่งจ่ายไฟแบบ Bias

4.3 ระบบควบคุมการสะสม

4.4 ระบบปฏิบัติการ: Touch Screen + PLC, ควบคุมสูตรและบันทึกข้อมูล, ปิดอัตโนมัติ, การอพยพอัตโนมัติ, เคลือบด้วยระบบอัตโนมัติ

4.5 ระบบการวัด

เครื่องวัดสุญญากาศ: Pirani + Penning gauge + เครื่องวัดสูญญากาศแบบครบวงจร - แบรนด์ในยุโรป

อุปกรณ์วัดอุณหภูมิ: เทอร์โมคัปเปิ้ล
MFC: ตัวควบคุมการไหลของมวล (4 วิธี),

4.6 ระบบเตือนภัย: แรงดันลมอัด, การไหลของน้ำหล่อเย็น, การทำงานผิดพลาด

4.7 ตัวบ่งชี้กระแสไฟ: ไฟแสดงสถานะแรงดันและตัวบ่งชี้กระแสโหลด

5 . Deposition System

5.1 แหล่งที่มาของการสะสม: สปัตเตอร์แคโทด + แหล่งที่มาของ Arc + แหล่งไอออน

5.2 วัสดุการสะสม: ITO, ไทเทเนียม, โครเมี่ยม, อลูมิเนียม, สเตนเลส, ไทเทเนียมเป็นต้น

6. ระบบย่อย

6.1 ระบบควบคุมแรงดันลมแบบกดลม

6.2 ระบบน้ำหล่อเย็น: ท่อน้ำไหลและระบบวาล์วสวิตช์

7. สภาพแวดล้อมในการทำงาน

เครื่องอัดอากาศ: 5 ~ 8kg / cm2

น้ำหล่อเย็น: น้ำในอุณหภูมิ: 20 ~ 25 ℃, 200 ลิตร / นาที,
ความดันน้ำ: 2 ~ 3 กก. / ซม.

กำลังไฟ: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, การใช้พลังงานเฉลี่ย: 60KW

พื้นที่ติดตั้ง: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950 มม

ท่อไอเสีย: ระบายอากาศสำหรับปั๊มกล

การประยุกต์ใช้งาน

กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้มอบโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมด