ซีรีส์ RTAS เป็นเครื่องที่รวมแหล่งกำเนิดหลาย ๆ อันเข้ากับสีกราไฟต์ทั่วไป เจ็ทแบล็ค น้ำเงิน ทองแดง และบรอนซ์บนชิ้นส่วนโลหะ วัตถุสแตนเลสใช้สำหรับชิ้นส่วนหรูหราระดับไฮเอนด์โดยเฉพาะ
มาตรฐาน แอปพลิเคชัน
เครื่องประดับ สายนาฬิกาและตัวเรือน กีฬาสแตนเลส เครื่องเขียน
เครื่องใช้ไฟฟ้า: โทรศัพท์มือถือ แล็ปท็อป กล้อง โดรน
เครื่อง RTAS มาพร้อมกับแหล่งกำเนิดอาร์กแบบวงกลมและกระบอกสูบสปัตเตอร์การผสมผสานที่หลากหลายของ DC sputtering, MF sputtering, arc evaporation และ Ion source เป็นต้น ทั้งหมดนี้มีอยู่ในเครื่องเดียว เพื่อความยืดหยุ่นสูงในการกำหนดค่าเพื่อตอบสนองการใช้งานที่หลากหลายโดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับชิ้นส่วนขนาดเล็ก การเคลือบเพื่อความสวยงาม: สีเจ็ทแบล็ค, ทองแดง, ทองเหลืองและโครเมียม
MF Sputtering คืออะไร?
เมื่อเทียบกับ DC และ RF sputtering การสปัตเตอร์ความถี่กลางได้กลายเป็นเทคนิคการสปัตเตอร์ฟิล์มบางหลักสำหรับการผลิตจำนวนมากของการเคลือบ โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการสะสมฟิล์มของสารเคลือบฟิล์มไดอิเล็กทริกและไม่นำไฟฟ้าบนพื้นผิวเช่นการเคลือบแสง แผงเซลล์แสงอาทิตย์ หลายชั้น , ฟิล์มวัสดุคอมโพสิต ฯลฯ
มันกำลังแทนที่การสปัตเตอร์ RF เนื่องจากทำงานด้วย kHz มากกว่า MHz สำหรับอัตราการสะสมที่เร็วขึ้นมาก และยังสามารถหลีกเลี่ยงพิษเป้าหมายในระหว่างการสะสมฟิล์มบางแบบผสม เช่น DC
เป้าหมายการสปัตเตอร์ MF มีอยู่สองชุดเสมอแคโทดสองตัวถูกใช้โดยกระแสไฟ AC สลับไปมาระหว่างกัน ซึ่งจะทำความสะอาดพื้นผิวเป้าหมายด้วยการพลิกกลับแต่ละครั้ง เพื่อลดประจุที่สร้างขึ้นบนไดอิเล็กทริกที่นำไปสู่การเกิดประกายไฟ ซึ่งสามารถพ่นละอองเข้าไปในพลาสมาและป้องกันการเติบโตของฟิล์มบางที่สม่ำเสมอ ซึ่งก็คือ ที่เราเรียกว่าเป้าหมายการวางยาพิษ
ข้อกำหนดทางเทคนิค
| ไม่. | ชื่อ |
| 1 | ระบบปั๊มสุญญากาศ : ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ + ปั๊มรูต+ ปั๊มกลไก + ปั๊มจับ |
| 2 | ระบบวัดสุญญากาศ: Pirani + Penning Gauges |
| 3 | ระบบทำความร้อน: เครื่องทำความร้อนสำหรับพื้นผิวที่ร้อนขึ้นเพื่อปรับปรุงการยึดเกาะ |
| 4 | ระบบจำหน่ายน้ำ/อากาศอัด: การออกแบบโมดูลาร์และประดิษฐ์ |
| 5 | แคโทดสปัตเตอร์กระบอกสูบ: 2/4/6/8 คู่เป้าหมายแฝดสำหรับตัวเลือก |
| 6 | วาล์วประตูสุญญากาศ (ตามตัวเลือก) |
| 7 | ตู้ไฟฟ้า (มาตรฐาน CE) |
| 8 | ห้องสุญญากาศ (SS304/316L ตามที่ร้องขอ) |
| 9 | Cathodic Arc Source (แคโทดอาร์คธรรมดา) |
| 10 | View Port ( 2 บานที่ประตูสำหรับตรวจสอบภายในห้องเก็บกัก ) |
| 11 | ระบบจ่ายแก๊ส (Meter Flow Controller 4 ช่อง) |
| 12 | ระบบขับเคลื่อนแร็ค (รุ่นขับเคลื่อนดาวเคราะห์) |
| 13 | ม้าหมุน |
| คำอธิบาย | RTAS1250 | RTAS1612 |
| ห้องสะสม (มม.) | φ1250 * H1250 | φ1600 * H1250 |
|
การขับรถดาวเคราะห์ พื้นที่เคลือบที่มีประสิทธิภาพ (มม.) |
8: φ270*H850 10: φ230*H850 |
10: φ300*H850 16: φ200*H850 |
| อาร์คแคโทดแบบวงกลม (ชุด) | 7 | 12 |
| แคโทดสปัตเตอร์ทรงกระบอก (คู่) | 3 /4 | 4 / 6 |
|
พลังอคติแบบพัลส์ (กิโลวัตต์) |
36 | 48 |
| DC / MF กำลังสปัตเตอร์ (KW) | 36 | 4*36 |
| อาร์คพาวเวอร์ (KW) | 7*5 | 12*5 |
| ปั๊มสุญญากาศ |
2* ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ 1*SV300B 1*WAU1001 1*TRP60 |
3* ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ 2*SV300B 1*WAU2001 1*TRP90 |
| แม็กซ์การใช้พลังงาน (KW) | 200 | 245 |
| การใช้พลังงานเฉลี่ย (KW) | <75 | <100 |
| พื้นที่ใช้งาน (L*W*H) mm | 4300*3700*2800 | 5000*4000*2800 |
การกำหนดค่าที่ยืดหยุ่น: เครื่องถูกตั้งค่าตามกระบวนการเคลือบและความต้องการของลูกค้า
Insite
