ความเป็นมาทางเทคนิค
เครื่อง RTSP1200-PCB เป็นอุปกรณ์ที่ออกแบบและประดิษฐ์ขึ้นโดยเฉพาะสำหรับการชุบ PCBs โดยใช้เทคโนโลยีแมกนีตรอนสปัตเตอริงพอกพูน
ทุกคนที่เกี่ยวข้องกับอุตสาหกรรม PCB ทราบดีว่า PCB ที่มีพื้นผิวเป็นทองแดงจำเป็นต้องมีชั้นป้องกันเพื่อป้องกันการเกิดออกซิไดซ์และการเสื่อมสภาพ ในขณะเดียวกันฟิล์มต้องมีความแข็งและทนทานต่อการขีดข่วนสูงเพื่อรับประกันอายุการใช้งาน
Royal Technology ใช้เวลา 6 เดือนในการวิจัยและพัฒนา ทดลองมากกว่า 20 ครั้งเพื่อให้ได้กระบวนการเคลือบที่เหมาะสมสิ่งใหม่ที่น่าตื่นเต้นยิ่งกว่าคือในเดือนมีนาคม 2020 เราได้ส่งมอบเครื่องจักรการผลิตขนาดใหญ่ไปยังไซต์ของลูกค้าด้วยผลสำเร็จที่สูง
ฟีเจอร์หลัก
แคโทดสะสมหลายตัวเพื่ออัตราการสะสมที่รวดเร็ว
ระบบสูบน้ำสุญญากาศที่แข็งแกร่งสำหรับรอบสั้นๆ
แหล่งกำเนิดไอออนเชิงเส้นแอโนดเพื่อปรับปรุงการยึดเกาะและความหนาแน่นสูงของฟิล์มที่สะสม
หน้าแปลนติดตั้งแคโทดระนาบมาตรฐาน 6 ชิ้น
ใช้กระบวนการเคลือบที่ยืดหยุ่น
การออกแบบโครงสร้างแบบแยกส่วนเพื่อการแลกเปลี่ยนแคโทดและเป้าหมายอย่างรวดเร็ว
แคโทดระนาบสปัตเตอริง
ข้อกำหนดทางเทคนิค
| งคำอธิบาย | RTSP1200-PCB |
| ข้อดี |
กระบวนการที่เป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม ต้นทุนการผลิตที่ต่ำกว่ามากเมื่อเทียบกับกระบวนการชุบโลหะด้วยไฟฟ้าทั่วไป ทนต่อการกัดกร่อนและการสึกหรอได้ดีเยี่ยม ความหนาแน่นสูงและความสม่ำเสมอสูง ควบคุมความหนาของฟิล์มได้ดี |
| ฝากหนัง |
Au gold, Ag silver, Cu copper conductive family films; ตระกูลโลหะที่ต้านทานการกัดกร่อน: แทนทาลัม (Ta), นิเกิล (Ni), โครเมียม (Cr), เซอร์โคเนียม (Zr) เป็นต้น ฟิล์มผสม: ฟิล์มโลหะคาร์บอน, ฟิล์มโลหะไนไตรด์ |
| ห้องสะสม |
ห้องกระบอกสูบวางแนวตั้ง โครงสร้างประตูเดียวพร้อมวิธีเปิดด้านหน้า ขนาดห้องด้านใน: φ1200 * H1500mm
|
| ปริมาณการโหลด (สูงสุด) | ระบบชั้นวางกลางพร้อม Max.φ1000mm *H1100 |
| แหล่งที่มาของการสะสม | แคโทดสปัตเตอริงระนาบ 4 ตัว + หน้าแปลนสำหรับติดตั้ง 1 ตัวสำหรับการอัพเกรด |
| พลังการสะสมสปัตเตอร์ | สูงสุด30KW |
| พลังอคติพัลซิ่ง | สูงสุด30KW |
| รอยเท้า (L*W*H) | 5000*5000*4500มม |
| การใช้พลังงาน |
สูงสุด105KW เฉลี่ย:50KW |
| ระบบการทำงานและการควบคุม |
มาตรฐาน CE มิตซูบิชิ PLC+ หน้าจอสัมผัส โปรแกรมการทำงานพร้อมการสำรองข้อมูล |
การกำหนดค่าเหล่านี้เป็นมาตรฐานสำหรับตลาดที่กำลังพัฒนาเฉพาะและการเคลือบพิเศษใหม่ การกำหนดค่าและการแก้ไขแบบกำหนดเองมีให้ตามคำขอ
6-RT1200-PCB- อุปกรณ์สะสม Magnetron สปัตเตอร์...สำหรับรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดดาวน์โหลดแคตตาล็อกที่นี่
การฝึกอบรมการใช้งานและกระบวนการเคลือบสำหรับลูกค้า
