เครื่องเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอริงฟิล์มบางทองคำ / ทองแดง / หน่วยเคลือบฟิล์มนำไฟฟ้า Cu สิ่งทอไนลอน
1.ทองแดงสิ่งทอไนลอนเครื่องเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนสปัตเตอร์
1) การควบคุมความหนาของฟิล์มและการทำซ้ำได้ดี สามารถเป็นระบบที่เชื่อถือได้ของความหนาก่อนเคลือบของฟิล์มและการสปัตเตอร์ในพื้นผิวขนาดใหญ่ของฟิล์มสม่ำเสมอ
2) การยึดเกาะของฟิล์มและพื้นผิวได้เป็นอย่างดีพลังงานสูงของอะตอมที่สปัตเตอร์บางส่วนทำให้เกิดปรากฏการณ์การฉีดในระดับต่างๆ ชั้น pseudo-diffusion เกิดขึ้นบนชั้นซับสเตรตของอะตอมที่สปัตเตอร์และอะตอมของสารตั้งต้นที่หลอมรวมเข้าด้วยกัน
3) การเตรียมวัสดุพิเศษของฟิล์ม คุณสามารถใช้วัสดุที่แตกต่างกันและฟิล์มไฮบริดสปัตเตอร์ ฟิล์มผสม นอกจากนี้ยังสามารถสปัตเตอร์ลงในฟิล์มทองเลียนแบบ TiN
2. ทองแดงสิ่งทอไนลอนข้อมูลจำเพาะของเครื่องเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนสปัตเตอร์
| เครื่องเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์ | ||||||
| ประสิทธิภาพ | RTSP-700 | RTSP-900 | RTSP-1000 | RTSP-1250 | RTSP-1400 | RTSP-1600 |
| ขนาดของห้องเคลือบ | 700 * H900mm | 900 * H1100mm | 1000 * H1200mm | 1250*H1350mm | 1400*H1600mm | 1600 * H1800mm |
| ประเภทแหล่งจ่ายไฟ | แหล่งจ่ายไฟแบบเส้นใย, แหล่งจ่ายไฟแบบอคติพัลส์, แหล่งจ่ายไฟ DC แมกนีตรอน, แหล่งจ่ายไฟแมกนีตรอนความถี่กลาง, แหล่งจ่ายไฟแมกนีตรอนความถี่วิทยุ, แหล่งไอออไนซ์เชิงเส้น | |||||
| โครงสร้างของห้องสุญญากาศ | ประตูบานคู่แนวตั้ง, โครงสร้างประตูหน้าแนวตั้ง, ระบบระบายอากาศด้านหลัง | |||||
| วัสดุของห้องสุญญากาศ | ช่องสแตนเลสคุณภาพสูง | |||||
| จำกัดสูญญากาศ | 6.0*10-4Pa | |||||
| เวลาปั๊มลง (ไม่มีโหลด) | ปั๊มบรรยากาศถึง 8.0*10-3>Pa ≤15 นาที | |||||
| ระบบดูดฝุ่น | ปั๊มกระจายหรือปั๊มโมเลกุล + ปั๊มรูต + ปั๊มกลไก + ปั๊มใบพัดหมุน (สามารถกำหนดค่ารุ่นเฉพาะได้ตามความต้องการของลูกค้า) | |||||
| โหมดการเคลือบ | การเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์ | |||||
| ประเภทฟิล์ม | ฟิล์มโลหะ ฟิล์มปฏิกิริยา ฟิล์มผสม ฟิล์มหลายชั้น และฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์ | |||||
| ประเภทเป้าหมายแมกนีตรอน | เป้าแมกนีตรอนสี่เหลี่ยม เป้าแมกนีตรอนทรงกระบอก และเป้าแมกนีตรอนคู่ | |||||
| แหล่งจ่ายแมกนีตรอนและจำนวนแมกนีตรอนเป้าหมาย | เลือกตามกระบวนการเคลือบที่แตกต่างกันและความต้องการของลูกค้า | |||||
| แหล่งจ่ายไฟอคติ | 10KW/1 ยูนิต | 20KW/1 ยูนิต | 20KW/1 ยูนิต | 30KW/1 ยูนิต | 40KW/1 ยูนิต | 50KW/1หน่วย |
| โหมดการหมุนของจานหมุนชิ้นงาน | การปฏิวัติดาวเคราะห์และการหมุนอัตโนมัติ การควบคุมความเร็วของความถี่ตัวแปร (ควบคุมและปรับได้) | |||||
| กระบวนการแก๊ส | ระบบแสดงและควบคุมการไหลของก๊าซแบบ 3 ทางหรือ 4 ทาง เลือกระบบแก๊สอัตโนมัติแบบเลือกได้ | |||||
| โหมดทำความเย็น | โหมดการระบายความร้อนด้วยน้ำ, หอน้ำหล่อเย็นหรือเครื่องทำน้ำเย็นอุตสาหกรรมหรือระบบทำความเย็นแบบลึก(จัดให้โดยลูกค้า) | |||||
| โหมดควบคุม | โหมดการรวมด้วยตนเอง/อัตโนมัติ การทำงานของหน้าจอสัมผัส PLC หรือการควบคุมคอมพิวเตอร์ | |||||
| พลังทั้งหมด | 30KW | 35KW | 40KW | 50KW | 65KW | 80KW |
| สัญญาณเตือนและการป้องกัน | สัญญาณเตือนการขาดแคลนน้ำ กระแสไฟเกินและแรงดันเกิน วงจรเปิด และสภาวะผิดปกติอื่นๆ ของปั๊ม เป้าหมาย และอื่นๆ และดำเนินมาตรการป้องกันที่เกี่ยวข้องและฟังก์ชันอินเตอร์ล็อคด้วยไฟฟ้า | |||||
| พื้นที่อุปกรณ์ | W2m*L3m | W2.5m*L3.5m | W3m*L4m | W4m*L5m | W4.5m*L6m | W5m*L7m |
| พารามิเตอร์ทางเทคนิคอื่นๆ | แรงดันน้ำ ≥0.2MPa อุณหภูมิของน้ำ ≤25°C แรงดันอากาศ: 0.5-0.8MPa | |||||
| หมายเหตุ | การกำหนดค่าเฉพาะของอุปกรณ์การเคลือบสามารถออกแบบตามความต้องการของกระบวนการของผลิตภัณฑ์เคลือบ | |||||
ทองแดงสิ่งทอไนลอนตัวอย่างการเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนสปัตเตอร์
โปรดติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติที่ได้นำเสนอโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจรแก่คุณ
