ระบบการทับถมแทนทาลัมสปัตเตอร์ต้านทานการกัดกร่อนสูง
1 ชุด
MOQ
negotiable
ราคา
High Corrosion Resistance Tantalum Sputtering Deposition System
คุณสมบัติ คลังภาพ รายละเอียดสินค้า ขออ้าง
คุณสมบัติ
ข้อมูลพื้นฐาน
สถานที่กำเนิด: ผลิตในประเทศจีน
ชื่อแบรนด์: ROYAL
ได้รับการรับรอง: CE
หมายเลขรุ่น: RTAS1000
แสงสูง:

vacuum coating plant

,

high vacuum coating machine

การชำระเงิน
รายละเอียดการบรรจุ: มาตรฐานการส่งออก บรรจุในกล่อง/กล่องใหม่ เหมาะสำหรับการขนส่งทางไกลทางทะเล/ทางอากาศ และทางบก
เวลาการส่งมอบ: 8 ถึง 12 สัปดาห์
เงื่อนไขการชำระเงิน: แอล/C, ที/ที
สามารถในการผลิต: 5 ชุดต่อเดือน
ข้อมูลจำเพาะ
ชื่อ: เครื่องทับถมแทนทาลัม PVD สปัตเตอร์
สารเคลือบ: แทนทาลัม ทอง เงิน ฯลฯ
เทคโนโลยี: สปัตเตอร์ DC แบบพัลส์
แอปพลิเคชัน: อุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์, เครื่องมือแพทย์ , สารเคลือบบนชิ้นส่วนที่ทนต่อการกัดกร่อน,,
คุณสมบัติฟิล์มตา: แทนทาลัมใช้มากที่สุดในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เป็นสารเคลือบป้องกัน เนื่องจากมีความทนทานต่อการสึกกร่อ
ที่ตั้งโรงงาน: เมืองเซี่ยงไฮ้ ประเทศจีน
บริการทั่วโลก: Poland - Europe; โปแลนด์ - ยุโรป; Iran- West Asia & Middle East, Turkey, India,
บริการฝึกอบรม: การทำงานของเครื่องจักร บำรุงรักษา กระบวนการเคลือบ สูตร โปรแกรม
บริการฝึกอบรม: การทำงานของเครื่องจักร บำรุงรักษา กระบวนการเคลือบ สูตร โปรแกรม
การรับประกัน: การรับประกันแบบจำกัด 1 ปี ฟรีตลอดอายุการใช้งานสำหรับเครื่อง
OEM & ODM: พร้อมให้บริการ เราสนับสนุนการออกแบบและการผลิตตามสั่ง
รายละเอียดสินค้า

แมกนีตรอนสปัตเตอริงใช้กันอย่างแพร่หลายในการฝากโลหะทนไฟ เช่น แทนทาลัม ไททาเนียม ทังสเตน, ไนโอเบียมซึ่งจะต้องมีอุณหภูมิสะสมสูงมากและโลหะมีค่า: ทองและเงิน และยังใช้สำหรับการสะสมของโลหะที่มีจุดหลอมเหลวที่ต่ำกว่า เช่น ทองแดง อะลูมิเนียม นิกเกิล โครเมียม เป็นต้น

แทนทาลัมมักใช้ในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ อุตสาหกรรม เป็นสารเคลือบป้องกันเนื่องจากทนต่อการกัดเซาะได้ดี.

การใช้ฟิล์มบางแทนทาลัมสปัตเตอร์:
1. อุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิคส์เนื่องจากฟิล์มสามารถสปัตเตอร์แบบรีแอกทีฟ จึงสามารถควบคุมค่าความต้านทานและค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิของความต้านทานได้

  1. เครื่องมือทางการแพทย์ เช่น การปลูกถ่ายร่างกาย เนื่องจากมีคุณสมบัติความเข้ากันได้ทางชีวภาพสูง
  2. การเคลือบบนชิ้นส่วนที่ทนต่อการกัดกร่อน เช่น เทอร์โมเวล ตัววาล์ว และตัวยึด
  3. แทนทาลัมแบบสปัตเตอร์ยังสามารถใช้เป็นเกราะป้องกันการกัดกร่อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ หากการเคลือบต่อเนื่อง มีข้อบกพร่อง และยึดติดกับพื้นผิวโดยมีจุดประสงค์เพื่อปกป้อง.

ระบบการทับถมแทนทาลัมสปัตเตอร์ต้านทานการกัดกร่อนสูง 0ระบบการทับถมแทนทาลัมสปัตเตอร์ต้านทานการกัดกร่อนสูง 1

 

ข้อดีทางเทคนิค

  1. ใช้รถเข็นมาตรฐานซึ่งช่วยให้โหลด/ขนถ่ายตัวยึดวัสดุพิมพ์และชิ้นงานเข้า/ออกจากห้องสะสมได้ง่ายและปลอดภัย
  2. ระบบเชื่อมต่อกันอย่างปลอดภัยเพื่อป้องกันการทำงานที่ไม่ถูกต้องหรือการปฏิบัติที่ไม่ปลอดภัย
  3. มีตัวทำความร้อนสำหรับพื้นผิวซึ่งติดตั้งอยู่ตรงกลางห้อง เทอร์โมคัปเปิลควบคุมด้วย PID เพื่อความแม่นยำสูง เพื่อเพิ่มการยึดเกาะของฟิล์มควบแน่น
  4. การกำหนดค่าปั๊มสุญญากาศที่แข็งแกร่งด้วยปั๊มโมเลกุลแขวนลอยด้วยแม่เหล็กผ่านวาล์วประตูที่เชื่อมต่อกับห้องสนับสนุนด้วยปั๊มรากของเลย์โบลด์และปั๊มใบพัดหมุนสองขั้นตอน ปั๊มเชิงกล
  5. ระบบนี้ใช้แหล่งพลาสม่าไอออนไนซ์ที่มีพลังงานสูงเพื่อรับประกันความสม่ำเสมอและความหนาแน่น


    ระบบการทับถมแทนทาลัมสปัตเตอร์ต้านทานการกัดกร่อนสูง 2ระบบการทับถมแทนทาลัมสปัตเตอร์ต้านทานการกัดกร่อนสูง 3

 

ระบบการทับถมแทนทาลัมสปัตเตอร์ที่ได้มาตรฐานของ Royal Technology:

การกำหนดค่าหลัก
แบบอย่าง RTAS1000
เทคโนโลยี

การสปัตเตอร์แมกนีตรอน DC แบบพัลส์

การชุบอาร์คแบบ Cathodic (สำหรับตัวเลือกที่กำหนดโดยกระบวนการเคลือบ)

วัสดุห้อง สแตนเลส (S304)
ขนาดห้อง Φ1000*1000มม. (ส)
ประเภทห้อง รูปตัว D ห้องทรงกระบอก
แร็คหมุน & ระบบจิ๊ก ระบบขับเคลื่อนด้วยดาวเทียมหรือระบบขับเคลื่อนส่วนกลาง
พาวเวอร์ซัพพลาย

แหล่งจ่ายไฟ DC Sputtering: 2~4 ชุด
อคติแหล่งจ่ายไฟ: 1 ชุด

แหล่งที่มาของไอออน: 1 ชุด

เอกสารการฝากเงิน Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu เป็นต้น
แหล่งเงินฝาก แคโทดสปัตเตอร์ระนาบ + แคโทดอาร์ควงกลม
ควบคุม PLC (คอนโทรลเลอร์ลอจิกที่ตั้งโปรแกรมได้) + IPC
(รุ่นการทำงานแบบแมนนวล+ อัตโนมัติ+ กึ่งอัตโนมัติ)
ระบบปั๊ม ปั๊มใบพัดหมุน: SV300B – 1 ชุด (เลย์โบลด์)
Roots Pump: WAU1001 – 1 ชุด (เลย์โบลด์)
ปั๊มหอยโข่ง D60C – 1 ชุด (เลย์โบลด์)
ปั๊มโมเลกุลแม่เหล็กแขวนลอย:
MAG2200 – 2 เซ็ต (เลย์โบลด์)
ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซ 2 ช่อง Ar และ N2
เกจวัดสูญญากาศ Inficon หรือ Leybold
ระบบความปลอดภัย อินเตอร์ล็อคเพื่อความปลอดภัยจำนวนมากเพื่อปกป้องผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์
เครื่องทำความร้อน เครื่องทำความร้อน: 20KW.แม็กซ์อุณหภูมิ: 450℃
คูลลิ่ง ตู้แช่อุตสาหกรรม (น้ำเย็น)
เพาเวอร์แม็กซ์ 100KW (โดยประมาณ)
การใช้พลังงานเฉลี่ย 45 กิโลวัตต์ (โดยประมาณ)
น้ำหนักรวม ที (โดยประมาณ)
รอยเท้า (L*W*H) 4000*4000 *3600 มม
พลังงานไฟฟ้า

AC 380V/3 เฟส/50HZ / 5 สาย

 

ภายใน:

 

สร้างเวลา: 2018

ที่ตั้ง: ประเทศจีน

 

 

โปรดติดต่อเราสำหรับแอปพลิเคชันและข้อกำหนดเพิ่มเติม

แนะนำผลิตภัณฑ์
ติดต่อกับพวกเรา
ผู้ติดต่อ : ZHOU XIN
แฟกซ์ : 86-21-67740022
อักขระที่เหลืออยู่(20/3000)