เครื่องเคลือบแทนทาลัม PVD สปัตเตอร์, ฟิล์มแทนทาลัมฝากโดย DC แมกนีตรอนสปัตเตอร์, การชุบแทนทาลัม PVD
แทนทาลัมใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และเป็นสารเคลือบป้องกันในหลายอุตสาหกรรม เนื่องจากมีความทนทานต่อการสึกกร่อน
ฟิล์มแทนทาลัมสปัตเตอร์ใช้กันอย่างแพร่หลายใน
1. อุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิคส์เนื่องจากฟิล์มสามารถสปัตเตอร์แบบรีแอกทีฟ จึงสามารถควบคุมค่าความต้านทานและค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิของความต้านทานได้
2. เครื่องมือทางการแพทย์ เช่น การปลูกถ่ายร่างกาย เนื่องจากมีคุณสมบัติความเข้ากันได้ทางชีวภาพสูง
3. การเคลือบผิวชิ้นส่วนที่ทนต่อการกัดกร่อน เช่น เทอร์โมเวล ตัววาล์ว และตัวยึด
แทนทาลัมสปัตเตอร์ยังสามารถใช้เป็นเกราะป้องกันการกัดกร่อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ หากการเคลือบต่อเนื่อง มีตำหนิ และยึดติดกับพื้นผิวโดยมีจุดประสงค์เพื่อปกป้อง.
RTAS1000 ข้อได้เปรียบทางเทคนิค
1. ระบบออกแบบ Plug-in Integrated เพื่อการติดตั้งที่รวดเร็ว
2. ซีเมนส์ PLC, ซีพียู;ด้วยการทำงานของพีซีอุตสาหกรรมและฮาร์ดแวร์ควบคุม
3. มีให้สำหรับการตรวจสอบและวินิจฉัยจากระยะไกล
4. คล่องตัว พร้อมอัพเกรด
5. แคโทดหลายตัวเพื่อความเร็วในการสะสมที่รวดเร็ว
ประโยชน์เพิ่มเติมจากเครื่อง:
การออกแบบที่แข็งแกร่ง, คุณภาพคงที่, รอบเร็ว, รอบเวลาเร็ว, ความเร็วในการสะสมสูง
| การกำหนดค่าหลัก | |
| แบบอย่าง | RTAS1000 |
| เทคโนโลยี | DC แมกนีตรอนสปัตเตอร์ + การชุบอาร์ค Cathodic |
| วัสดุห้อง | สแตนเลส (S304) |
| ขนาดห้อง | Φ1000*1000มม. (ส) |
| ประเภทห้อง | รูปตัว D ห้องทรงกระบอก |
| แร็คหมุน & ระบบจิ๊ก | ระบบขับเคลื่อนด้วยดาวเทียมหรือระบบขับเคลื่อนส่วนกลาง |
| พาวเวอร์ซัพพลาย | แหล่งจ่ายไฟ DC Sputtering: 2~4 ชุด แหล่งจ่ายไฟแบบไบแอส: 1 ชุด แหล่งจ่ายไฟอาร์ค: 11 ชุด |
| เอกสารการฝากเงิน | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu เป็นต้น |
| แหล่งเงินฝาก |
แคโทดสปัตเตอร์ระนาบ + แคโทดอาร์ควงกลม หมายเหตุ: กระบอกสูบ DC sputter สามารถใช้ได้ |
| ควบคุม | PLC (Programmable Logic Controller) + หน้าจอสัมผัส (รุ่นการทำงานแบบ manual+ auto+ semi-auto) |
| ระบบปั๊ม | ปั๊มใบพัดหมุน: SV300B - 1 ชุด (เลย์โบลด์) |
| Roots Pump: WAU1001 - 1 ชุด (เลย์โบลด์) | |
| ปั๊มหอยโข่ง : D60C - 1 ชุด (เลย์โบลด์) | |
| Magnetic Suspension Molecular Pump: MAG2200 - 2 เซ็ต (เลย์โบลด์) | |
| ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซ | 4 ช่อง Made in China Seven Star (ซีรีส์ CS, ) รุ่นดิจิตอล (Ar, N2, O2, C2H2) |
| เกจวัดสูญญากาศ | รุ่น: ZDF-X-LE ผลิตในประเทศจีน |
| ระบบความปลอดภัย | อินเตอร์ล็อคเพื่อความปลอดภัยจำนวนมากเพื่อปกป้องผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์ |
| เครื่องทำความร้อน | เครื่องทำความร้อน: 20KW.แม็กซ์อุณหภูมิ: 450℃ |
| คูลลิ่ง | ตู้แช่อุตสาหกรรม (น้ำเย็น) |
| เพาเวอร์แม็กซ์ | 100KW (โดยประมาณ) |
| การใช้พลังงานเฉลี่ย | 45 กิโลวัตต์ (โดยประมาณ) |
| น้ำหนักรวม | ที (โดยประมาณ) |
| รอยเท้า | (L*W*H) 4000*4000 *3600 มม |
| พลังงานไฟฟ้า | AC 380V/3 เฟส/50HZ / 5 สาย |
แคโทดสปัตเตอร์ทรงกระบอก แคโทดสปัตเตอร์ระนาบ
โปรดติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติที่ได้นำเสนอโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจรแก่คุณ
ดาวน์โหลดโบรชัวร์คลิกที่นี่:Magnetron Sputtering Deposition System.pdf
การประยุกต์ใช้ระบบการสะสมแมกนีตรอนสปัตเตอร์...
