เครื่องเคลือบ PVD แมกนีตรอนสปัตเตอร์
1. แมกนีตรอนสปัตเตอร์ เป็นกระบวนการเคลือบด้วยพลาสม่าโดย สปัตเตอร์วัสดุถูกขับออกเนื่องจากการทิ้งระเบิดของไอออนไปยังพื้นผิวเป้าหมายห้องสุญญากาศของเครื่องเคลือบ PVD นั้นเต็มไปด้วยก๊าซเฉื่อย เช่น อาร์กอน
2. อุปกรณ์เคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์ - ประเภทแบทช์ประกอบด้วยส่วนประกอบหลักดังต่อไปนี้:
แมกนีตรอนสปัตเตอร์แคโทด: ชนิดทรงกระบอกหรือระนาบ;
แหล่งจ่ายไฟ: พัลส์ DC, MF, RF
แหล่งกำเนิดไอออน: โดยทั่วไปสำหรับชิ้นส่วนพลาสติก/แก้ว/เซรามิก/โลหะสำหรับการคายประจุเรืองแสง การทำความสะอาดพลาสม่า
อคติพาวเวอร์ซัพพลาย: ใช้งานได้เฉพาะกับชิ้นงานที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้า: เหล็ก, เหล็ก, โลหะผสมเหล็ก, zamak, โลหะผสมอลูมิเนียม, ทองเหลือง ฯลฯ
แพ็คเกจปั๊มสุญญากาศ: ปั๊มใบพัดหมุน, ปั๊มลูกสูบโรตารี, ปั๊มรูต, ปั๊มกระจาย/ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ, ปั๊มจับ ฯลฯ
อื่นๆ : Gate vales/vacuum gauges, MFC, vacuum fittings and vacuumpiping line, feed through,
3. RTSP อุปกรณ์เคลือบแบบซีรีส์ใช้สำหรับการผลิตสารเคลือบที่มีลักษณะเป็นสื่อกระแสไฟฟ้า ไม่นำไฟฟ้า เพื่อความสวยงาม
A. การใช้งาน: การเคลือบ ITO บนกระจกสำหรับหน้าจอสัมผัส จอแสดงผล;กระจกสถาปัตยกรรมอุตสาหกรรมยานยนต์: ล้อและขอบล้อรถยนต์ กระจกรถยนต์ ไฟหน้า ไฟท้าย พลาสติกภายในและภายนอกเครื่องใช้บนโต๊ะอาหารและเครื่องครัว, เครื่องประดับ, กีฬาและของเล่น, ทดแทนการชุบด้วยไฟฟ้าด้วยน้ำ
B. วัสดุเคลือบ:
โลหะ: Ti (ไทเทเนียม), Cr Chromium), Zr (เซอร์โคเนียม), Cu (ทองแดง), Al (อะลูมิเนียม), Ni (นิกเกิล),
SUS316 (สแตนเลส) ...
โลหะผสม: โลหะผสม Ti-Al, โลหะผสม Ni-Ca (นิกเกิล - แคดเมียม), ITO (อินเดียมดีบุกออกไซด์)
C. วิธีการสปัตเตอร์: DC/MF/RF
D. คุณสมบัติ: การสะสมที่อุณหภูมิต่ำ
4. รุ่นเครื่องเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์
| แบบอย่าง | ขนาด (มม.) | จำนวนแท่งดาวเคราะห์ | กำลังสปัตเตอร์ (kVA) | แคโทดสปัตเตอร์ (จำนวน) | เทคโนโลยีแมกนีตรอนสปัตเตอร์ | MFC | ข้อสังเกต |
| RTSP-1250 | 1250xH1250 | 6 | 2* 30 DC/MF | 2 | สมดุล ไม่สมดุล | 1 ถึง 4 | เคลือบตกแต่งคุณภาพสูง |
| RTSP-1400 | 1400xH1250 | 6, 8 | 2*36 DC/MF | 2 | |||
| RTSP-1600 | 1600xH1250 | 6,8,12 | 2*48 DC/MF | 2 | |||
|
แอปพลิเคชันอุตสาหกรรมพิเศษ
|
|||||||
| RTSP-900 | 900xH900 | 1 | 1*12 DC | 1 | เป้าหมายระนาบ | 1 ถึง 4 | ขอบล้อรถยนต์ คิ้วล้อภายในและภายนอก |
| RTSP-1315 | 1300xH1500 | 1 | 1*48 DC | 1 | เป้าหมายระนาบ | ||
| RTSP-1618 | 1600xH1800 | 2 | 2*72 ดีซี | 2 | เป้าหมายระนาบ | ||
| RTSP-800 | 800xH800 | 1 | 2*50 DC | 4 | ทรงกระบอกหรือระนาบ | อิโตะ AR | |
| RTSP-1616 | 1600xH1600 | 6,8 | 2*36 DC | 2 | เป้าหมายระนาบ | 2 ประตู | |
5. เครื่องเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์
สร้างเวลา: 2016
ที่ตั้ง: ประเทศจีน
อุตสาหกรรม: การเคลือบฟิล์มนำไฟฟ้า Cu บนแผ่นเซรามิก
6. ตัวอย่างการเคลือบสีเงินสปัตเตอร์
โปรดติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติที่ได้มอบโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจรแก่คุณ
