พื้นผิวการแผ่รังสีเซรามิก คูเปอร์แมกนีตรอนสปัตเตอริงโรงงานเคลือบ / ชิปเซรามิกชุบทองแดงโดยตรงอุปกรณ์สปัตเตอร์
โรงงานเคลือบคูเปอร์แมกนีตรอนสปัตเตอร์บนพื้นผิวการแผ่รังสีเซรามิก
กระบวนการ DPC - ทองแดงชุบโดยตรงเป็นเทคโนโลยีการเคลือบขั้นสูงที่ใช้กับอุตสาหกรรม LED / เซมิคอนดักเตอร์ / อิเล็กทรอนิกส์การใช้งานทั่วไปอย่างหนึ่งคือ Ceramic Radiating Substrate
การสะสมฟิล์มนำไฟฟ้าของคูเปอร์บน Al2O3, AlN, Si, พื้นผิวแก้วโดยเทคโนโลยีสปัตเตอร์สูญญากาศ PVD เมื่อเทียบกับวิธีการผลิตแบบดั้งเดิม: DBC LTCC HTCC คุณสมบัติ:
1. ต้นทุนการผลิตที่ต่ำกว่ามาก
2. การจัดการความร้อนและประสิทธิภาพการถ่ายเทความร้อนที่โดดเด่น
3. การจัดตำแหน่งและการออกแบบลวดลายที่แม่นยำ
4. ความหนาแน่นของวงจรสูง
5. การยึดเกาะที่ดีและความสามารถในการบัดกรี
ทีมเทคโนโลยีของ Royal ช่วยลูกค้าของเราในการพัฒนากระบวนการ DPC ให้ประสบความสำเร็จด้วยเทคโนโลยี PVD sputtering
เนื่องจากประสิทธิภาพขั้นสูง พื้นผิว DPC จึงถูกใช้อย่างกว้างขวางในการใช้งานที่หลากหลาย:
LED ความสว่างสูงเพื่อเพิ่มอายุการใช้งานยาวนานเนื่องจากมีค่าสูงการแผ่รังสีความร้อนประสิทธิภาพ, อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์, การสื่อสารไร้สายด้วยไมโครเวฟ, อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ทางทหาร, พื้นผิวเซ็นเซอร์ต่างๆ, การบินและอวกาศ, การขนส่งทางรถไฟ, พลังงานไฟฟ้า ฯลฯ
อุปกรณ์ RTAC1215-SP ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการ DPC ซึ่งรับชั้น cooper บนพื้นผิวอุปกรณ์นี้ใช้หลักการสะสมไอทางกายภาพแบบ PVD ด้วยการชุบไอออนแบบหลายอาร์คและเทคนิคการสปัตเตอร์ด้วยแมกนีตรอนเพื่อให้ได้ฟิล์มในอุดมคติที่มีความหนาแน่นสูง ทนต่อการเสียดสีสูง ความแข็งสูง และการยึดเกาะที่แข็งแรงในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงเป็นขั้นตอนสำคัญสำหรับกระบวนการ DPC ที่เหลือ
คุณสมบัติหลักของเครื่องเคลือบทองแดงสปัตเตอร์
1. พร้อมกับแคโทดอาร์ค 8 ตัวและ DC Sputtering Cathodes, MF Sputtering Cathodes, Ion source unit
2. มีการเคลือบหลายชั้นและเคลือบร่วม
3. แหล่งไอออนสำหรับการเตรียมการทำความสะอาดด้วยพลาสมาและการทับถมด้วยไอออนบีมเพื่อเพิ่มการยึดเกาะของฟิล์ม
4. พื้นผิวเซรามิก / Al2O3 / AlN เครื่องทำความร้อน;
5. ระบบการหมุนและหมุนพื้นผิวสำหรับการเคลือบ 1 ด้านและการเคลือบ 2 ด้าน
ข้อมูลจำเพาะของเครื่องเคลือบทองแดงสปัตเตอร์
ประสิทธิภาพ
1. แรงดันสุญญากาศขั้นสูงสุด: ดีกว่า 5.0×10-6ธอร์.
2. แรงดันสุญญากาศในการทำงาน: 1.0×10-4ธอร์.
3. เวลาสูบน้ำ: ตั้งแต่ 1 atm ถึง 1.0×10-4Torr≤ 3 นาที (อุณหภูมิห้อง, แห้ง, ห้องสะอาดและว่างเปล่า)
4. วัสดุที่เป็นโลหะ (สปัตเตอร์ + การระเหยอาร์ค): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr เป็นต้น
5. รุ่นการทำงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
โครงสร้าง
เครื่องเคลือบสูญญากาศประกอบด้วยระบบคีย์ที่สมบูรณ์ตามรายการด้านล่าง:
1. ห้องสุญญากาศ
2. ระบบปั๊มสุญญากาศ Rouhging (แพ็คเกจปั๊มสำรอง)
3. ระบบปั๊มสุญญากาศสูง (ปั๊มโมเลกุลแขวนลอยด้วยแม่เหล็ก)
4. ระบบควบคุมและใช้งานไฟฟ้า
5. ระบบสิ่งอำนวยความสะดวกเสริม (ระบบย่อย)
6. ระบบการสะสม
ตัวอย่าง
โปรดติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติที่ได้นำเสนอโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจรแก่คุณ
