Ni PVD Sputtering Coating Plant, Cr Vacuum Metallizing System, อุปกรณ์ชุบสูญญากาศ Sn / Ag, โรงงานชุบทองแดง
โครงสร้างอุปกรณ์:
เครื่อง RTAC1215-SP เป็นประเภทแปดส่วน ซึ่งประกอบด้วยปั๊มสุญญากาศ ห้องสุญญากาศซึ่งติดตั้งอาร์คแคโทด 8 อาร์ค แหล่งกำเนิดไอออนเชิงเส้น 1 แหล่ง แคโทด DC สปัตเตอร์ 2 ชุด และแคโทดสปัตเตอร์ MF 1 คู่แหล่งที่มาของไอออน หน้าแปลนติดตั้งแคโทดแบบสปัตเตอร์เป็นแบบสแตนด์ไลซ์ ซึ่งสามารถแลกเปลี่ยนได้อย่างยืดหยุ่นตามความต้องการของกระบวนการเคลือบจริงๆ
การใช้งาน:
1. อุตสาหกรรม DPC สำหรับชิ้นส่วนปิดผนึกเซรามิก, กระบวนการ DPC, ระบบสปัตเตอร์ทองแดง PVD, ชิปเซรามิก LED พร้อมชุบคูเปอร์, อัล2โอ3, แผงวงจรเซรามิก AlN, แผ่น Al2O3 บน LED, เซมิคอนดักเตอร์
2. ฟิล์มโลหะเงิน Ni, Chrome, ทอง, อลูมิเนียม, In, Sn เป็นต้นและ TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN เป็นต้น
ข้อดี:
1. การผลิตที่ประหยัดต้นทุน
2. Humanization ของสถานีงาน (การออกแบบตามหลักสรีรศาสตร์ของสถานีงาน การลดพื้นที่ เสียงรบกวน และอันตรายจากอุบัติเหตุ)
3. ผลผลิตคุณภาพสูง
4. การยึดเกาะที่แข็งแรงด้วยอุปกรณ์ทำความร้อนที่มีประสิทธิภาพและการทำความสะอาดแหล่งพลาสม่า
5. การออกแบบที่กะทัดรัดและง่ายต่อการอัพเกรดและบำรุงรักษา
6. ระบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ PLC + หน้าจอสัมผัสระบบควบคุมแบบสัมผัสเดียว
7. ประสิทธิภาพสูงโดยใช้พลังงานน้อย สูงสุดประหยัดต้นทุนการผลิต 50%
ข้อกำหนดทางเทคนิค:
1. แรงดันสุญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 9.0*10-5ป่า;
3. ปั๊มลงเวลา: จาก atm ถึง 1.0×10-3Pa≤15นาที (อุณหภูมิห้อง, ห้องแห้ง, ห้องสะอาดและว่างเปล่า)
4. แหล่งที่มาของการสะสม: Gencoa แมกนีตรอนสปัตเตอร์แคโทด, แคโทดอาร์ค, แหล่งกำเนิดไอออน
5. รุ่นการทำงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
6. เครื่องทำความร้อน: จากอุณหภูมิห้องถึงสูงสุด500 ℃,
9. แหล่งไอออนสำหรับกระบวนการ PECVD และ PA PVD
เครื่องเคลือบสูญญากาศประกอบด้วยระบบคีย์ที่สมบูรณ์ตามรายการด้านล่าง:
1. ห้องสุญญากาศ
1.1 ขนาด: เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน: 1200mm
ความสูงภายใน: 1500mm
1.2 วัสดุ: ห้องสุญญากาศ SUS304
ประตูและหน้าแปลน SUS304
โครงสร้างเสริมความแข็งแกร่งของหอการค้า: เหล็กอ่อน SS41 พร้อมการเคลือบผิวสำเร็จด้วยสี
แชสซีแชมเบอร์ SS41 เหล็กอ่อนพร้อมการเคลือบผิวสำเร็จทาสี
1.3 แชมเบอร์ชิลด์ : SUS304
1.4 ดูหน้าต่าง: 2 ที่ประตู
1.5 วาล์วระบายห้องสุญญากาศ (รวมตัวเก็บเสียง)
1.6 ประตู: วัสดุ SUS304
2. ระบบปั๊มสุญญากาศแบบหยาบ:
ปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุนน้ำมัน + ปั๊มโฮลดิ้ง
ปั๊มโมเลกุลแขวนลอยแม่เหล็ก - 2 ชุด
4. ระบบควบคุมและใช้งานไฟฟ้า- ระบบปฏิบัติการ PLC+ ทัชสกรีน:
ซัพพลายเออร์:
PLC: Mitsubishi + Touch Screen (ผลิตในจีน)
ส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์: ชไนเดอร์, ออมรอน
ระบบป้องกันความปลอดภัย:อินเตอร์ล็อคเพื่อความปลอดภัยจำนวนมากเพื่อปกป้องผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์ (น้ำ ก๊าซปัจจุบัน อุณหภูมิ ฯลฯ)
ระบบกระบวนการเคลือบ: กระบวนการอัตโนมัติและการควบคุม
4.1 วงจรหลัก: สวิตช์เบรกเกอร์ไม่มีฟิวส์, สวิตช์แม่เหล็กไฟฟ้า, C/T ในชุดประเภท
4.2 พาวเวอร์ซัพพลาย: DC/MF sputtering power + DC Arc power + Bias Power Supply
4.3 ระบบควบคุมการตกตะกอน
4.4 ระบบปฏิบัติการ: หน้าจอสัมผัส + PLC, การควบคุมสูตรและการบันทึกข้อมูล, การปิดเครื่องอัตโนมัติ, การอพยพอัตโนมัติ, การเคลือบอัตโนมัติ
4.5 ระบบการวัด
แรงดันสุญญากาศ : เกจสุญญากาศ: ปิรานี + เกจเพนนิ่ง + เกจสุญญากาศแบบเต็มช่วง - แบรนด์ยุโรป
เครื่องวัดอุณหภูมิ: เทอร์โมคัปเปิล
MFC: Mass Flow Controller ( 4 วิธี ),
4.6 ระบบเตือนภัย: แรงดันอากาศอัด , การไหลของน้ำหล่อเย็น, การทำงานผิดพลาด
4.7 ไฟแสดงสถานะโหลด: ไฟแสดงสถานะแรงดันและไฟแสดงสถานะโหลด
5.ระบบการสะสม
5.1 แหล่งที่มาของการสะสม: แคโทดสปัตเตอร์ + แหล่งกำเนิดอาร์ค + แหล่งกำเนิดไอออน
5.2 วัสดุสะสม: ทองแดง อลูมิเนียม โครเมียม เงิน ทอง SS ไทเทเนียมเป็นต้น
6.ระบบย่อย
6.1 ระบบควบคุมวาล์วอัดอากาศ
6.2 ระบบน้ำหล่อเย็น:ท่อน้ำไหลและระบบวาล์วสวิตซ์
อัดอากาศ: 5~8kg/cm2
น้ำหล่อเย็น: อุณหภูมิในน้ำ: 20~25℃, 200 ลิตร/นาที,
แรงดันน้ำ: 2 ~ 3 กก./cm2,
กำลังไฟ: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 130kVA การใช้พลังงานเฉลี่ย: 60KW
พื้นที่ติดตั้ง: (L*W*H)4400*3200*2950mm
ท่อไอเสีย: ช่องระบายอากาศสำหรับปั๊มกล
โปรดติดต่อเราสำหรับข้อมูลจำเพาะเพิ่มเติม Royal Technology สนับสนุนคุณด้วยโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจร