เครื่องวัดการแผ่รังสีแสง / เครื่องแก้วสูญญากาศหลอดแก้ว

กระจกสะท้อนแสง lighiting ระเหยความร้อนเครื่องคุณสมบัติสูงมีดังนี้:

1 เคลือบด้านบนสำหรับความสม่ำเสมอสูงของฟิล์มฝาก

2. อุปกรณ์ต้นกำเนิดไอออนเพื่อทำความสะอาดพลาสม่าด้วยก๊าซ Ar เพื่อเพิ่ม ionizatio เพื่อให้ฟิล์มมีความแข็งแรง

3. อุปกรณ์ Polycold สำหรับอุปกรณ์เสริม (cryopump device สามารถลดรอบการผลิตได้อย่างมาก) เพื่อตรวจจับโมเลกุลของน้ำและละอองน้ำมันสำหรับสภาวะสูญญากาศสูง

4. แหล่งการระเหยมีตัวเลือกหลายตัว: E-beam Gun / Tungsten filament / หรือทั้งสองแหล่ง มีความยืดหยุ่นสำหรับวัสดุสะท้อนแสงต่างๆ

สภาพสูญญากาศสูงเพื่อนำวัสดุระเหยออกจากผิว

คุณสมบัติการออกแบบ:

• การออกแบบโครงสร้างที่แข็งแรงและการกำหนดค่าที่มีคุณภาพสูง

• PLC + ระบบการทำงานของระบบสัมผัสหน้าจอ, การควบคุมอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
• ระบบอพยพสูญญากาศได้อย่างรวดเร็ว
• ออกแบบโครงสร้างหมุน Carousel แบบพิเศษเพื่อการโหลด / อัพโหลดได้ง่าย
• ง่ายต่อการเข้าถึงสภาพแวดล้อมในการทำงานสำหรับการบำรุงรักษา

ข้อกำหนดทางเทคนิค:

• ประสิทธิภาพ

1. แรงดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 5.0 × 10 ^{- 6} Torr

2. ใช้ความดันสูญญากาศ: 1.0 × 10-4 Torr.

3. สูบน้ำลงเวลา: ตั้งแต่ 1 atm ถึง 1.0 × 10 ^{- 4} Torr≤3นาที (อุณหภูมิห้องแห้งและสะอาดห้อง)

4. วัสดุที่ทำให้เกิดการระเหย (metaping): Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... เป็นต้น

5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง

เครื่องระเหยความร้อนแบบสะท้อนแสง

กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้มอบโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมด