เครื่องเคลือบฟิล์มบาง ๆ Magnetron Sputtering Coating Machine / เครื่องเคลือบฟิล์มบางแบบแบบทึบ
Royal Technology ได้ออกแบบและจัดหาระบบเคลือบสูญญากาศ Ultra-High-Vacuum สำหรับการเรียนการสอนและการวิจัยทางวิทยาศาสตร์และการพัฒนาเพื่อการศึกษาการเติบโตของฟิล์มที่แตกต่างกันสร้างฟิล์มบางนาโนที่มีนวัตกรรมมากขึ้นในอุตสาหกรรมการค้าของเรา ลูกค้าของเราชอบ: มหาวิทยาลัยเซี่ยงไฮ้ประเทศจีนมหาวิทยาลัย Machanster ของสหราชอาณาจักรมหาวิทยาลัยวิทยาศาสตร์ปักกิ่งเซมิคอนดักเตอร์เซลล์แสงอาทิตย์เซลล์เชื้อเพลิงการวิจัยด้านอวกาศขององค์กรทางวิทยาศาสตร์และแผนกฟิสิกส์พลังงานสูงเป็นต้น
เครื่องเคลือบฟิล์มบาง ๆ Magnetron Sputtering Coating Machine: DC, MF, RF sputtering cathodes สำหรับวัตถุประสงค์ในการวิจัยและพัฒนาสามารถรับฟิล์มชั้นเดียวฟิล์มอิเล็กทริกฟิล์มสารประกอบเซมิคอนดักเตอร์หลายชั้นฟิล์มคอมโพสิตและฟิล์มอิเล็กทริกเป็นต้น
เครื่องทดสอบฟิล์มบาง Thermo Film เครื่องเจ็ททอลเน่อร์ประสิทธิภาพทางเทคนิค:
1 แรงดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 5.0 × 10-6 Torr
2. ใช้ความดันสุญญากาศ: 1.0 × 10-4 Torr.
3. เวลาในการสูบน้ำ: ตั้งแต่ 1 atm ถึง 1.0 x 10-4 Torr≤ 3 นาที (อุณหภูมิห้องแห้งและสะอาด)
4. Metalizing วัสดุ (สปัตเตอร์) Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... ฯลฯ
5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
โครงสร้างเครื่องเคลือบแม็กเน็ท
1. ห้องสุญญากาศ
2. ปั๊มสูญญากาศแบบรูจิ่ง (ชุดปั๊มสำรอง)
3. เครื่องสูบน้ำสูญญากาศสูง (Diffusion Pump)
4. ระบบควบคุมและการใช้ไฟฟ้า
5. ระบบสิ่งอำนวยความสะดวก Auxiliarry (ระบบย่อย)
6. ระบบการสะสม
ระบบการเคลือบผิวด้วยฟิล์มแม่เหล็ก Magnetron Thin Film สามารถรวมกับ cathod arc และแหล่งระเหยเพื่อใช้ในการศึกษาได้มากขึ้น
