PVD MF / DC Magnetron เครื่องสปัตเตอร์บน Flatware, สแตนเลสสตีลชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์
MF / DC Magnetron วางจำหน่ายอุปกรณ์ปะทุ, PVD สปัตเตอร์บน Flatware ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์สแตนเลส
สรุป: การระเหยแบบ PVD arc อย่างสมบูรณ์แบบร่วมกับเทคโนโลยี MF sputtering ทำให้เกิดการเคลือบผิวที่มีคุณภาพสูงและการเคลือบผิวด้านสุนทรียรสบนพื้นผิวของผลิตภัณฑ์
ทำไมต้อง MF Sputtering?
เมื่อเทียบกับ DC และ RF sputtering การสปัตเตอร์ความถี่ปานกลางได้กลายเป็นเทคนิคการสปิตเตอร์แบบฟิล์มบาง ๆ ที่สำคัญสำหรับการผลิตแผ่นเคลือบโดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการเคลือบแผ่นฟิล์มและวัสดุเคลือบผิวที่ไม่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าบนพื้นผิวเช่นการฉายแสงแผงเซลล์แสงอาทิตย์หลายชั้น , วัสดุฟิล์มคอมโพสิต ฯลฯ
มีการแทนที่ RF sputtering เนื่องจากทำงานด้วยความถี่ kHz มากกว่า MHz เพื่อให้อัตราการสะสมตัวเร็วขึ้นและยังสามารถหลีกเลี่ยงการวางยาพิษในระหว่างการสะสมฟิล์มบาง ๆ เช่น DC ได้อีกด้วย
เป้าหมายการปะทุของ MF มีอยู่ 2 ชุด สอง cathodes ใช้กับ AC ปัจจุบันสลับไปมาระหว่างพวกเขาที่ทำความสะอาดพื้นผิวเป้าหมายกับแต่ละ reversal เพื่อลดค่าใช้จ่ายสร้างขึ้นบน dielectrics ที่นำไปสู่การ arcing ซึ่งสามารถ spew ละอองในพลาสม่าและป้องกันการเติบโตของฟิล์มบางสม่ำเสมอ --- ซึ่งเป็นสิ่งที่เราเรียกว่า Target Poisoning
ด้วยระบบ MF sputtering เราจะได้รับสีของแกรไฟต์ข้อมูล LAB: (L: 30 ~ 35) ตอบ: -0.04, B: 08
คำสำคัญ: เครื่องใช้ไฟฟ้า PVD เคลือบตกแต่ง, สแตนเลส Flatware PVD ตกแต่ง,
เพิร์ลอภิธานศัพท์สูงเคลือบ PVD, แหวนนิ้วชุบดำ, เครื่องดนตรีเคลือบ DLC,
ฟิล์ม PVD ทนต่อการกัดกร่อนและสึกหรอ, เครื่องวัดความสูญเสียสุญญากาศสูง
Royal Technology ได้ พัฒนา เครื่องมาตรฐาน 3 เครื่องเพื่อตอบสนอง ความต้องการและการใช้งานของลูกค้า
| เครื่องชุบ PVD แบบสแตนเลส | |||
| แบบ | RTAC1008-SPMF | RTAC1250-SPMF | RTAC1612-SPMF |
| ขนาดห้องที่มีประสิทธิภาพ | Φ1000 x H800mm | Φ1250 x H1250mm | Φ1600 x H1200mm |
| Deposition Sources | Cylinder Arc (ทางโค้งวงกลมสำหรับตัวเลือก) + MF Sputtering Cathode + แหล่งไอออนเชิงเส้น | ||
ระบบสูบน้ำสูญญากาศ (Leybold Pumps + Turbo Molecular Pump) | SV300B - 1 ชุด (300 ม³ / ชม.) | SV300B - 1 ชุด (300 ม³ / ชม.) | SV300B - 2 ชุด (300 ม³ / ชม.) |
WAU1001-1set (1000m³ / ชม) | WAU1001-1set (1000m³ / ชม) | WAU2001-1set (1000m³ / ชม) | |
| D60T- 1 ชุด (60m³ / hr) | D60T- 1 ชุด (60m³ / hr) | D60T- 1 ชุด (60m³ / hr) | |
ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ: 2 ชุด (3500 ลิตร / เอส) | ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ: 2 ชุด (3500 ลิตร / เอส) | ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ: 3 ชุด (3500 ลิตร / เอส) | |
| แหล่งจ่ายไฟสำหรับสปัตเตอร์ | 1 * 24KW (MF) | 2 * 36KW (MF) | 3 * 36KW (MF) |
| แหล่งจ่ายไฟ Arc | 6 * 5KW | 7 * 5KW | 8 * 5KW |
| แหล่งจ่ายไฟอคติ | 1 * 24kW | 1 * 36KW | 1 * 36KW |
| ดาวเคราะห์ Rods | 6/8 | 12/16 | 20 |
| เครื่องทำความร้อน | 6 * 2.5KW | 8 * 2.5KW | 9 * 2.5KW |
| สูญญากาศที่ดีที่สุด | 9.0 * 10-4Pa (ว่างเปล่าสะอาดอุณหภูมิห้อง) | 9.0 * 10-4Pa (ว่างเปล่าสะอาดอุณหภูมิห้อง) | 9.0 * 10-4Pa (ว่างเปล่าสะอาดอุณหภูมิห้อง) |
| รอบเวลา (ขึ้นอยู่กับปั๊ม) | 40 '~ 50' ขึ้นอยู่กับวัสดุรองพื้นและสูตรการเคลือบ | ||
| ความต้องการกำลังทำงาน | 3 สาย 4 สาย AC380V, 50HZ, 35KW | 3 สาย 4 สาย, AC380V, 50HZ, 120KW | 3 สาย 4 สาย AC380V, 50HZ, 150KW |
| น้ำเย็น | YES, เครื่องทำน้ำเย็นอุตสาหกรรม | ||
| ก๊าซแปรรูป (99.99%) | 4 วิธี | 4 วิธี | 4 วิธี |
| รอยนิ้ว (มม.) | 2000 * 2000 * 2300 | 4000 * 4500 * 3200 | 5500 * 5000 * 3600 |
| น้ำหนักรวม (KGS) | 4500 | 7000 | 9000 |
| กำลังไฟรวม (ประมาณ) | 50KW | 110kw | 170kW |
| การใช้พลังงานจริง (ประมาณ) | 30KW | 60KW | 80KW |
Royal Technology ขอสงวนสิทธิ์ในการผลิตขั้นสุดท้ายตามการใช้งานที่ระบุ เราให้คุณไม่เพียง แต่เครื่องเคลือบผิวเท่านั้น แต่ยังมีโซลูชันการเคลือบผิวรวมอยู่ด้วย
ตัวอย่างการเคลือบผิว:
กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้มอบโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมด
