สรุป:
RTEP1616-SP เครื่องวัดสุญญากาศได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับอีเอ็มซีป้องกันฟิล์มบางและวัสดุฝังตัวของ NCVM fillm ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์สื่อสารคอมพิวเตอร์โน้ตบุ๊คอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภคอุปกรณ์ภายในบ้านอุปกรณ์การบินและอวกาศและสินค้าทางทหาร
ลูกค้าของเรา ได้แก่ ซัมซุงแอ็ปเปิ้ลเลโนโวผู้ผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ของหัวเว่ย
ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางของห้องมีขนาด 1600 มม. และสูง 1600 มม. สามารถรองรับความหลากหลายของผลิตภัณฑ์
คุณสมบัติฉายภาพยนตร์ของ EMI
1) ความหนาของฟิล์ม: 1.5 ~ 3 ไมครอนขึ้นอยู่กับความต้องการ
2) ความต้านทานฟิล์ม: (โอห์ม) ดีกว่า0.5Ω
3) การยึดเกาะ: เทป 3M810> 5B
EMI ป้องกันกระบวนการเคลือบฟิล์ม
4) DC Sputtering สแตนเลส
5) การสะสมของทองแดงโดยการระเหยความร้อน
6) DC Sputtering สแตนเลสฝาครอบเต็มรูปแบบบนชั้นฟิล์ม Cu
คุณสมบัติของ Metalizer ป้องกันด้วยคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้า
1) โครงสร้างแบบ 2 ประตูและความเร็วการสูบน้ำที่รวดเร็วสำหรับการผลิตที่มีประสิทธิภาพสูง
2) แผงควบคุมหน้าจอสัมผัสที่ใช้งานง่ายพร้อมปุ่มควบคุม PLC
3) การออกแบบโปรแกรมซอฟต์แวร์ที่เป็นมิตรกับมนุษยชาติเพื่อการผลิตที่มั่นคงและมีคุณภาพสูง
4) อัตราการใช้กำลังการผลิตสูงมากทำให้ต้นทุนการผลิตต่ำ
5) ความสม่ำเสมอที่ดีและการยึดเกาะที่ดีเยี่ยม
6) แนวคิดการออกแบบขั้นสูงเพื่อประสิทธิภาพที่ดีขึ้นเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตและอัตราที่มีคุณภาพ
7) อุปกรณ์ต้นกำเนิดไอออนสำหรับการทำความสะอาดพลาสมาและการรักษาพื้นผิวเพื่อปรับปรุงการยึดเกาะ
ข้อดีของ PVD Vacuum Metallizing:
เสร็จสิ้นการฝากโดยใช้กระบวนการสีเขียวเป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมปราศจากมลภาวะ
ประสิทธิภาพสูงและความสม่ำเสมอที่ยอดเยี่ยม
ผลิตปริมาณมากต้นทุนต่ำโซลูชันที่เหมาะสำหรับความต้องการในการผลิตขนาดใหญ่
ประเภท:
ข้อกำหนดทางเทคนิค:
1. แรงดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 5.0 × 10 -6 Torr
2. ใช้ความดันสูญญากาศ: 1.0 × 10 -4 Torr
3. สูบน้ำลงเวลา: ตั้งแต่ 1 atm ไปจนถึง 1.0 x 10 -4 Torr≤5นาที (อุณหภูมิห้องแห้งและสะอาด)
4. Metalizing วัสดุ (evaporation): สแตนเลส, ทองแดง
5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
เครื่องเคลือบสูญญากาศประกอบด้วยระบบที่สมบูรณ์แบบที่ระบุด้านล่าง:
1. ห้องสุญญากาศ
1.1 ขนาด: เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 1600 มม
ความสูงภายใน: 1600 มม
ความสูงที่เป็นประโยชน์: 1265mm
ความสูงทั้งหมด: 1420 มม
1.2 วัสดุ: ห้องสุญญากาศ SUS304
ประตูและครีบ SUS304
หอเสริมโครงสร้าง: เหล็กกล้าไร้สนิม SS41 มีการทาสีผิวเคลือบ
แชสซีแชสซีเหล็กกล้าไร้สนิม SS41 ที่มีการทาสีผิวเคลือบ
1.3 การฉีดพ่นและการระเหยของตัวทำละลาย: SUS304
1.4 หน้าต่างดู: บนประตูห้อง
1.5 วาล์วระบายอากาศสูญญากาศ (รวมทั้งตัวกั้น)
1.6 บานตู้: SUS304 วัสดุเส้นผ่านศูนย์กลาง 1600mm ความสูงภายใน: 1600mm
1.7 ระบบการขับขี่แบบ Deposition: ขับตรงกลางได้สูงสุด 1400mm * 1265mm
1.8 มอเตอร์ขับ: 1 / 2HP
1.9 พลังการระเหย: 1 ชุด / ประตู
DC Sputtering Power: 1 ชุด
สเปตัทแคโทดขนาด: 125 * 1400 มม
2. ระบบสูบจ่ายสุญญากาศ
2.1 ปั๊มสูญญากาศโรตารีโรตารีที่ปิดสนิทน้ำมัน - Leybold
a: ความเร็วในการสูบน้ำ: 640 m³ / ชม
2.2 รากปั๊ม - Leybold
a: ความเร็วในการสูบน้ำ: 4400 m³ / ชม
2.3 Roughing Valve Valve: รุ่นลม
2.4 สายท่อสูญญากาศ: วัสดุ SUS304 ขนาด 6 "และ 8"
2.5 วาล์วระบายอากาศสูญญากาศ: 3/8 "แบบแม่เหล็กไฟฟ้า
3. ระบบสูบน้ำสูญญากาศสูง
3.1 เครื่องกระจายน้ำมัน: RTDP-36
ความเร็วในการสูบน้ำ: 40000 ลิตร / เอ
ข แรงดันสูญญากาศสูงสุด: ดีกว่า 10 - 7 แรงม้า
ค กำลังทำความร้อน: 3 เฟส, 21 กิโลวัตต์
d ปริมาณน้ำมัน: 9 ลิตร
3.2 ดักเย็น: 36 "ระบายความร้อนด้วยน้ำหลังการไหลของน้ำมัน
3.3 วาล์วสูญญากาศสูง: นิวแมติก
3.4 วาล์ว Fore-line: นิวแมติก
4. ระบบควบคุมและการใช้ไฟฟ้า
4.1 วงจรหลัก: ไม่มีสวิตช์เครื่องฟิวส์, สวิทช์แม่เหล็กไฟฟ้า,
C / T ในชุดข้อมูล
4.2 Power ระเหย
4.3 ระบบควบคุมการระเหย
4.4 การสปัตเตอร์ไฟฟ้าแบบ DC
4.5 ระบบควบคุม: PLC + หน้าจอสัมผัสอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
4.6 ระบบปฏิบัติการ: หน้าจอสัมผัส + จอแสดงผล
4.7 ระบบวัดแรงดันสูญญากาศ
เครื่องวัดสุญญากาศ: Leybold Center Two - 1 set
เครื่องวัดระยะเต็ม: 760 Torr ~ 10 - 7 Torr - 1 ชุด
4.8 ระบบเตือนภัย:
แรงดันลมอัดลดลง: เสียงปลุก
การไหลของน้ำเย็นลดลง: เสียงปลุก
การทำงานผิดพลาด: เสียงปลุก
4.9 ตัวบ่งชี้กระแสไฟ: ตัวบ่งชี้แรงดันและตัวบ่งชี้กระแสโหลด
5. ระบบย่อย
ระบบควบคุมแรงดันลมอัดแบบ 5.1 Air Compressed Valve Control System
5.2 ระบบน้ำหล่อเย็น: ท่อน้ำไหลและระบบวาล์วสวิตช์
5.3 Polycold (-120 ~ -145 ℃) Cryopump - 1 ชุด
รุ่น: MaxCool - 2500L
กำลังรับน้ำหนักสูงสุด :: 2500W
ความเร็วในการสูบน้ำ: 14000 ลิตร / เอ
6. ระบบการสะสม
6.1 แหล่งกำเนิดสปัตเตอร์
Sputtering Target "125mm * 1400mm * 12 ~ 14 มม. - 1 ชุด
ข ชัตเตอร์ - 1 ชุด
ค ตัวควบคุมการไหลของมวล: แก๊ส Ar - 1 ชุด
d แหล่งจ่ายไฟสำหรับสปัตเตอร์: DC 60KW - 1 ชุด
6.2 แหล่งการระเหย
แหล่งการระเหยของทังสเตน
ข แหล่งจ่ายการระเหย: 20kVA
ค อุปกรณ์ต้นกำเนิดไอออนและแหล่งจ่ายไฟ
7. สภาพแวดล้อมในการทำงาน
เครื่องอัดอากาศ: 5 ~ 8 กก. / เซนติเมตร 2
น้ำหล่อเย็น: น้ำในอุณหภูมิ: 20 ~ 25 ℃, 200 ลิตร / นาที,
ความดันน้ำ: 2 ~ 3 กก. / ซม. 2
กำลังไฟ: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 160kVA
พื้นที่ติดตั้ง: (L * W * H) 6500 * 5500 * 2700 มม
ท่อไอเสีย: ระบายอากาศสำหรับปั๊มกล
เราได้พยายามออกแบบและพัฒนากระบวนการเคลือบที่เหมาะสมที่สุดสำหรับชิ้นส่วน 3D ต่างๆซึ่งตรงตามข้อกำหนดการผลิตของลูกค้าของเรา ดังนั้นเราจึงนำเสนอโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมดสำหรับการเคลือบอีเอ็มไอ
หากต้องการระบบเคลือบแบบกำหนดเองโปรดแบ่งปันความคิดและความคิดของคุณกับทีมของเราและส่งข้อกำหนดผลิตภัณฑ์ของคุณเราจะทำงานร่วมกันเพื่อค้นหาแนวทางที่ดีที่สุด
กรุณาติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติอย่างยิ่งที่ได้มอบโซลูชั่นการเคลือบทั้งหมด