เครื่องเคลือบระเหยแบบเหนี่ยวนำ
สรุป:
Induction heating is widely used in different fields due to high process productivity and universality, cleanness and possibility of full automation. การเหนี่ยวนำความร้อนถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านที่แตกต่างกันเนื่องจากกระบวนการผลิตที่สูงและเป็นสากลความสะอาดและความเป็นไปได้ของระบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ As one method of PVD thermal evaporation technology, the process is friendly for environment. ด้วยวิธีการหนึ่งในเทคโนโลยีการระเหยด้วยความร้อน PVD กระบวนการนี้จึงเป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม Since the induction allows reaching temperature of 2000℃ and more, this method is very suitable for industrial production and scientific researches. เนื่องจากการเหนี่ยวนำทำให้อุณหภูมิสูงถึง 2,000 ℃และมากกว่าวิธีนี้จึงเหมาะสำหรับการผลิตภาคอุตสาหกรรมและการวิจัยทางวิทยาศาสตร์
The RTEP0404 Induction Evaporation Coating Machine is designed for C60 evaporating deposition on varies of materials. เครื่องเคลือบการระเหยแบบเหนี่ยวนำ RTEP0404 ได้รับการออกแบบสำหรับการระเหยของ C60 ในวัสดุต่าง ๆ C60 manufactures provides R&D and testing results for prospective. ผู้ผลิต C60 ให้บริการวิจัยและพัฒนาและผลการทดสอบตามความคาดหวัง A strong tool assisting them to expand new applied industries. เครื่องมือที่แข็งแกร่งช่วยให้พวกเขาเพื่อขยายอุตสาหกรรมที่ใช้ใหม่
The first set is produced for Shanghai University. ชุดแรกถูกสร้างขึ้นสำหรับมหาวิทยาลัยเซี่ยงไฮ้ Industrial production model is under processing. รูปแบบการผลิตทางอุตสาหกรรมอยู่ระหว่างการประมวลผล
การใช้งานหลัก:
เพื่อฝากชั้นฟิล์มบางและการเคลือบผิว
ประเภท:
การวางแนวตั้ง, โมเดล Bell Jar, การเปิดด้านบน
ออกแบบ คุณสมบัติ:
ข้อกำหนดทางเทคนิค:
1. ความดันสูญญากาศที่ดีที่สุด: ดีกว่า 9.0 * 10-5 ป่า;
ความดันสูญญากาศพื้นฐาน: 3.0 * 10-4 พ่อ
3. สูบน้ำเวลา: จาก 1 atm ถึง 2.0 × 10-3 Pa≤25นาที (อุณหภูมิห้องแห้งห้องสะอาดและว่างเปล่า)
4. การสะสมแหล่งที่มา: เครื่องระเหยแบบเหนี่ยวนำเบ้าหลอม
5. รูปแบบการดำเนินงาน: ด้วยตนเอง
6. Heating: from room temperature up to max. 6. เครื่องทำความร้อน: จากอุณหภูมิห้องสูงสุด 1000℃, 1000 ℃,
7. พลังงานการระเหย: ความถี่วิทยุ RF และแหล่งจ่ายไฟ
8. Working Gas: Ar
เครื่องเคลือบสูญญากาศมีระบบเสร็จสมบูรณ์ที่สำคัญด้านล่าง:
1. ห้องสูญญากาศ
1.1 ขนาด: เส้นผ่านศูนย์กลางด้านใน 400 มม
ความสูงด้านใน: 400 มม
1.2 วัสดุ: ห้องสูญญากาศ SUS304
โครงสร้างห้องเสริมสร้าง: เหล็กอ่อน SS41 ด้วยการรักษาพื้นผิวทาสี
แชสซีแชมเบอร์ SS41 เหล็กอ่อนพร้อมการทาสีผิวสำเร็จ
1.3 โล่การระเหย: SUS304
1.4 หน้าต่างดู: ที่ประตูห้อง
1.5 วาล์วสุญญากาศสำหรับระบายห้อง (รวมถึงตัวเก็บเสียง)
2. ระบบปั๊มสุญญากาศหยาบ:
ปั๊มโรตารี่ระบบน้ำมันสองขั้นตอน
3. ระบบปั๊มสูญญากาศสูง: ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ
4. ระบบควบคุมไฟฟ้าและระบบปฏิบัติการ- หน่วยปฏิบัติการ HMI
4.1 วงจรหลัก: สวิตช์เบรกเกอร์แบบไม่มีฟิวส์, สวิตช์แม่เหล็กไฟฟ้า, C / T เป็นชนิดอนุกรม
4.2 พลังการระเหย
4.3 ระบบควบคุมการระเหย
4.4 ระบบปฏิบัติการ: PLC
4.5 ระบบการวัด
ความดันสุญญากาศ: เกจสูญญากาศ: Pirani + เกจวัด
4.6 ระบบเตือนภัย: แรงดันอากาศอัด, ระบายความร้อนด้วยน้ำ, การทำงานที่ผิดพลาด
4.7 ตัวบ่งชี้กำลังไฟ: ไฟแสดงสถานะแรงดันไฟฟ้าและไฟกระแสโหลด
5. . Deposition System ระบบการสะสม
5.1 การสะสมแหล่งที่มา: เครื่องระเหยความร้อนเหนี่ยวนำ
5.2 วัสดุสะสม: C60
6 Sub-System
6.1 ระบบควบคุมวาล์วอัดอากาศ
6.2 ระบบน้ำหล่อเย็น: ท่อน้ำไหลและระบบสวิทช์วาล์ว
6.3 ก๊าซทำงาน: Ar (> 99.99%)
7. สภาพแวดล้อมการทำงาน
อัดอากาศ: 5 ~ 8kg / cm2
น้ำหล่อเย็น: อุณหภูมิของน้ำ: 20 ~ 25 ℃, 200 ลิตร / นาที
แรงดันน้ำ: 2 ~ 3 กก. / ซม. 2,
พลังงาน: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 8kVA, การใช้พลังงานเฉลี่ย: 3kVA
พื้นที่ติดตั้ง: (L * W * H) 2000 * 200 * 2000 มม
ไอเสีย: Vent สำหรับปั๊มเชิงกล
ดึงยูนิตอัพลงโดยอัตโนมัติเพื่อเปิด / ปิดห้อง
ระบบตู้ไฟฟ้า:
เคล็ดลับความปลอดภัย:
การป้องกันการสั่นสะเทือนจากรังสี RF
เราได้พยายามออกแบบและพัฒนาระบบการเคลือบที่เหมาะสมที่สุดซึ่งตรงกับความต้องการของลูกค้าในด้านประสิทธิภาพการผลิตสูงและการร้องขอคุณภาพการเคลือบ
หาก บริษัท ของคุณต้องการระบบเคลือบที่กำหนดเองโปรดแบ่งปันความคิดความคิดของคุณกับทีมงานของเราและส่งข้อมูลจำเพาะผลิตภัณฑ์ของคุณเราจะทำงานร่วมกันเพื่อแยกแยะทางออกที่ดีที่สุด