เครื่องเคลือบสารระเหยด้วยความร้อนแบบทดลองขนาดเล็ก / อุปกรณ์ระเหยสูญญากาศในห้องปฏิบัติการแบบพกพา
หน่วยการระเหยการระเหยด้วยความร้อนขนาดเล็กทดลอง ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับห้องปฏิบัติการของมหาวิทยาลัย, การเรียนการสอนการเคลือบสูญญากาศ PVD, การวิจัยและพัฒนากระบวนการเคลือบสูญญากาศ, การวิจัยทางวิทยาศาสตร์, ผู้ผลิตวัสดุจิตรกรรม UV
หน่วยการเคลือบสารระเหยประกอบด้วยเรือทังสเตน, ไส้หลอดทังสเตน, เบ้าหลอมโมบิลโมซึ่งสามารถระเหยและฝากวัสดุเช่น: อลูมิเนียม, โครเมียม, สายไฟ Ni-Cr, เงิน, ทอง, ทองแดง, ใน, Sn โลหะส่วนใหญ่ที่มีจุดหลอมเหลวต่ำ กว่าแหล่งระเหย
หน่วยเคลือบผิวการระเหยด้วยความร้อนขนาดเล็กทดลองฝากฟิล์มส่วนใหญ่บนชิ้นส่วนพลาสติก, PE, PVC, PC, ABS, PP, PC + ABS; แก้วเรซิ่น, หินเรซิ่นและงานฝีมือ, เซรามิก, ผ้าและสิ่งทอ, โลหะผสม ...
| ข้อมูลจำเพาะหน่วยเคลือบผิวการระเหยด้วยความร้อนแบบทดลอง | |
| MODEL | RTEP0606 |
| เทคโนโลยี | การระเหยการสะสมที่ทน |
| วัสดุห้อง | สแตนเลส (S304) |
| ขนาดห้อง | Φ600 * 600 มม. (H) |
| ประเภทห้อง | ทรงกระบอกแนวตั้งประตูเดียว |
| ระบบการระเหย | 10 * Φ120mm (ประมาณ) ระบบโรตารี่ของดาวเคราะห์พร้อมด้วยแหล่งการระเหยไส้หลอดทังสเตน 5 แหล่ง |
| ระบบทำความสะอาดพลาสม่า | แหล่งจ่ายไฟและอุปกรณ์ทำความสะอาดพลาสม่า * 1 ชุด (สำหรับอุปกรณ์เสริม) |
| แหล่งจ่ายไฟการระเหย | 5kVA * 1 |
| วัสดุการฝาก | อลูมิเนียม, เงิน, ทองแดง, โครเมี่ยม, ไทเทเนียม, สแตนเลส, Sn, Au ฯลฯ |
| ควบคุม | PLC (Programmable Logic Controller) + หน้าจอสัมผัส (แบบแมนนวล + อัตโนมัติ + โมเดลการทำงานกึ่งอัตโนมัติ) |
| ระบบปั๊ม | ปั๊มใบพัดหมุน TRP 90 * 1 |
| ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ FF2000 / 250LF * 1 | |
| ปั๊มราก ZJP70 * 1 | |
| สูญญากาศวัด | รุ่น: ZDF-X-LE |
| ระบบความปลอดภัย | ความปลอดภัยเชื่อมต่อกันมากมายเพื่อปกป้องผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์ |
| COOLING | Industrial Chiller (Cooling Water) หรือ Air Cooling สำหรับอุปกรณ์เสริม |
| POWER MAX | 8 กิโลวัตต์ (ประมาณ) |
| การใช้พลังงานเฉลี่ย | 5 กิโลวัตต์ (ประมาณ) |
| น้ำหนักรวม | 0.8T (ประมาณ.) |
| พิมพ์เท้า | (L * W * H) 2000 * 2000 * 2000 MM |
| พลังงานไฟฟ้า | AC 380V / 3 เฟส / 50HZ / 4 บรรทัด |
หน่วยการเคลือบการระเหยด้วยความร้อนขนาดเล็ก เป็นไปได้ที่จะรวมแคโทดสปัตเตอร์ของแมกนีตรอนกับแหล่งอาร์แคโทดอาร์ค
กรุณาติดต่อเราสำหรับรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology ได้รับเกียรติให้บริการโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจร
