ITO Roll to Roll เครื่องเคลือบเว็บสูญญากาศสปัตเตอร์ / ฟิล์ม PET PVD เครื่องสปัตเตอร์
เรายินดีที่จะเสนอ Web Coater แบบโรลทูโรลแบบโรลทูโรลแบบโรลทูโรล เพื่อตอบสนองความต้องการการทับถมแบบหลายชั้นของคุณ
MultiWeb Coater มีคุณสมบัติที่สำคัญดังต่อไปนี้:
A. ห้องหนึ่งแบ่งออกเป็นโซนหลายแรงดันเพื่อรองรับแหล่งสะสมต่างๆ
B. ความสามารถในการสะสมหลายแหล่งพร้อมกันในเว็บพาสเดียวสำหรับการเคลือบหลายชั้น
C. ทิศทางการม้วนของรางแบบพลิกกลับได้ช่วยให้สามารถสะสมชั้นได้ไม่จำกัดโดยไม่ทำให้สูญญากาศเสียหาย
D. กลไกการจัดการรางที่แม่นยำพร้อมไกด์ขอบเพื่อให้สามารถผ่านได้หลายครั้งโดยไม่สูญเสียการจัดตำแหน่ง(ไม่จำเป็น)
E. ระบบขับเคลื่อนเว็บแบบ AC Invert เพื่อการควบคุมความเร็วของเว็บที่หลากหลายอย่างแม่นยำ
F. ระบบตรวจสอบความหนาของแสงและ/หรือความต้านทานแบบอินไลน์ เพื่อควบคุมความหนาและความสม่ำเสมอของการสะสมที่แม่นยำ(ไม่จำเป็น)
G. Chamber สร้างขึ้นจาก SUS304L Stainless โดยมีส่วนประกอบของแก๊สต่ำเพื่อประกันสูญญากาศที่ลึกกว่า
H. ปั๊มสุญญากาศโดยการผสมผสานระหว่างปั๊มโมเลกุลเทอร์โบและไครโอเจนิกส์ที่อุณหภูมิต่ำ เพื่อให้สุญญากาศสะอาดปราศจากความชื้นหรือน้ำมันปนเปื้อน
ITO Roll to Roll เครื่องเคลือบเว็บสูญญากาศสปัตเตอร์ DEPOSITION FILMS
1. วัสดุพื้นผิว: PET, PEN, PES, PI, PC, PA,... Films
2. ความหนาของพื้นผิว: 15 ~ 300μm
3. วิธีการสะสม: AC Reactive สำหรับ SiO2 (ไดอิเล็กทริก);Pulsed DC สำหรับ ITO (โลหะและตัวนำ)
4. TCO ตัวนำออกไซด์: ITO, AZO, IZO...
5. ตัวนำโลหะ: Al, Cu, Mo, Ag...
6. ฟิล์มออปติคัล: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2...
7. เซมิคอนดักเตอร์: ZnO, InGaZnO...
8. ฉนวน: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx...
9. ความสม่ำเสมอ: ±5% ทั่วทั้งเว็บ
ITO Roll to Roll เครื่องเคลือบเว็บสูญญากาศ Sputtering Description
ข้อมูลจำเพาะทั่วไป | |||||||
ตัวเครื่อง Vacum: โซนความดันหลายช่องห้องเดียว | |||||||
รถม้าเคลื่อนย้ายได้: Web Carriage | |||||||
โซน Deposion: 2 X โซนสปัตเตอร์ (ตัวเลือก: 3 โซนสปัตเตอร์) | |||||||
แหล่งสปัตเตอร์: แหล่งสปัตเตอร์แคโทดคู่ 2 แหล่ง (ตัวเลือก: แหล่งสปัตเตอร์แคโทดคู่ 3 แหล่ง) | |||||||
พรีทรีเตอร์พื้นผิว: แหล่งกำเนิดไอออนเชิงเส้น | |||||||
ความกว้างของเว็บ: 1300mm | |||||||
เส้นผ่านศูนย์กลางของขดลวด: Φ600mm Max | |||||||
ทิศทางคดเคี้ยว: แบบสองทิศทาง | |||||||
ความหนาของพื้นผิว: 15 ~ 300μm | |||||||
ความเร็วของสายเว็บ:0.5~10M/นาที | |||||||
ความตึงเครียดของเว็บ: 5.0PLI สูงสุด 0.5PLI ขั้นต่ำ | |||||||
การจัดตำแหน่งเว็บ: ±3mm (หนึ่งรอบ) | |||||||
ปั๊มสูญญากาศสูง: ปั๊มเทอร์โบ | |||||||
ปั๊มสุญญากาศแบบหยาบ: ปั๊มแบบแห้งและแบบผสมโบลเวอร์ | |||||||
ปั๊มความชื้น: Polycold Cryogenic | |||||||
การควบคุมความหนาของการสะสม: การตรวจสอบ (ตัวเลือก) | |||||||
ก: ส่งแสง;b: ความต้านทานกระแสน้ำวน | |||||||
การทำงานของระบบ: การทำงานของระบบคอมพิวเตอร์โดยใช้ PLC |
โปรดติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติที่ได้นำเสนอโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจรแก่คุณ