1. ระบบสเปรย์ UHV ติดตั้ง
2. การใช้ UHV สปัตเตอร์ system ของ
การนำวัสดุเคลือบที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าบนแก้วเซรามิคและวัสดุอื่น ๆ ที่เป็นฉนวน
3. ประสิทธิภาพทางเทคนิค:
3 แรงดันสูญญากาศที่ 1: ดีกว่า 5.0 × 10 - 6 Torr
3. 2. ความดันสูญญากาศในการใช้งาน: 1.0 × 10 - 4 Torr.
3. ระยะเวลาในการสูบน้ำ: ตั้งแต่ 1 atm ถึง 1.0 x 10-4 Torr≤ 3 นาที (อุณหภูมิห้องแห้งและสะอาด)
3. Metalizing วัสดุ (สปัตเตอร์) Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... ฯลฯ
3. รูปแบบการดำเนินงาน: แบบอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
4. โครงสร้าง
เครื่องเคลือบสูญญากาศ UHV สปัตเตอร์ มีระบบที่สมบูรณ์แบบที่ระบุไว้ด้านล่าง:
1. ห้องสุญญากาศ
2. ปั๊มสูญญากาศแบบรูจิ่ง (ชุดปั๊มสำรอง)
3. เครื่องสูบน้ำสูญญากาศสูง (Diffusไอออน Pump)
4. ระบบควบคุมและการใช้ไฟฟ้า
5. ระบบสิ่งอำนวยความสะดวก Auxiliarry (ระบบย่อย)
6. ระบบการสะสม
สำหรับข้อกำหนดเพิ่มเติมโปรดติดต่อเรา สอบถามรายละเอียดเพิ่มเติมได้รับการต้อนรับ